1.合成石英玻璃基板的制备方法,包括下述步骤:
提供合成石英玻璃块体,
用液体涂布该块体的任意表面和相对的表面,该液体在双折射测定的波长下具有至少99.0%/mm的透射率,
通过使光进入一涂布表面并且从另一涂布表面离开,从而测定该块体上的双折射分布,和
基于测定的双折射分布,将该块体分类为可接受的组或不可接受的组。
2.权利要求1的方法,其中该分类步骤中,当该块体具有双折射分布以使得其在对应于得到的合成石英玻璃基板上的有效区域的该块体上的有效区域内不具有最大双折射时,将其分类为可接受的组。
3.权利要求1的方法,其中该分类步骤中,在合成石英玻璃基板的双折射规格为至多αnm/cm的情形下,当该块体在对应于得到的合成石英玻璃基板上的有效区域的区域中具有至多2.0αnm/cm的最大双折射值时,将该块体分类为可接受的组。
4.权利要求1的方法,其中在该分类步骤中将该块体分类为可接受的组后,所述方法还包括下述步骤:将该块体切割为合成石英玻璃板;磨削或研磨、粗抛光、和最终精抛光该玻璃板。
5.合成石英玻璃基板的制备方法,包括下述步骤:
提供合成石英玻璃块体,
将该块体切割为合成石英玻璃板,
用液体涂布该板的任意表面和相对的表面,该液体在双折射测定的波长下具有至少99.0%/mm的透射率,
通过使光进入一涂布表面并且从另一涂布表面离开,从而测定该板上的双折射分布,和
基于测定的双折射分布,将该板分类为可接受的组或不可接受的组。
6.权利要求5的方法,其中在该分类步骤中,当该板具有双折射分布以使得其在对应于得到的合成石英玻璃基板上的有效区域的该板上的有效区域内不具有最大双折射时,将其分类为可接受的组。
7.权利要求5的方法,其中在该分类步骤中,在合成石英玻璃基板的双折射规格为至多αnm/cm的情形下,当该板在对应于得到的合成石英玻璃基板上的有效区域的区域中具有至多1.5αnm/cm的最大双折射值时,将该板分类为可接受的组。
8.权利要求5的方法,其中在该分类步骤中将该合成石英玻璃板分类为可接受的组后,所述方法还包括下述步骤:磨削或研磨、粗抛光、和最终精抛光该玻璃板。
9.权利要求1的方法,其中待用该液体涂布的表面具有至多1mm的粗糙度(Sa)。
10.权利要求1的方法,其中该液体的折射率与该合成石英玻璃的折射率之差在±0.15内。
11.权利要求1的方法,其中该液体选自由水、一元醇、多元醇、醚、醛、酮、羧酸、烃及其水溶液组成的组。
12.权利要求1的方法,其中该液体为具有至少200的分子量的多元醇。
13.权利要求1的方法,其中该液体在25℃和101.3kPa下具有低于3.2kPa的蒸气压。