一种利用四效耦合精馏提纯三氯氢硅的系统及其处理方法与流程

文档序号:12338906阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种利用四效耦合精馏提纯三氯氢硅的系统,其特征在于,所述第一脱轻塔(1)、第一脱重塔(2)、第二脱轻塔(3)、第二脱重塔(4)、进料预热器(5)、第一脱轻塔再沸器(6)、第一脱重塔再沸器(7)、第二脱轻塔再沸器(8)、第二脱重塔再沸器(9)和热泵压缩机(10);其中,第一脱轻塔(1)的塔顶蒸汽出口依次经热泵压缩机(10)和第二脱重塔再沸器(9)与轻杂储罐相连,第一脱轻塔(1)的塔底物料出口与第一脱重塔(2)的进料口相连;第一脱重塔(2)的塔顶蒸汽出口经第一脱轻塔再沸器(6)与第二脱轻塔(3)的进料口相连;第二脱轻塔(3)的塔顶蒸汽出口经第一脱重塔再沸器(7)与第一脱轻塔(1)的进料口相连,第二脱轻塔(3)的塔底物料出口与第二脱重塔(4)的进料口相连;第二脱重塔(4)的塔顶蒸汽出口依次经第二脱轻塔再沸器(8)和进料预热器(5)与产品储罐相连,第二脱重塔(4)的塔底物料出口与第一脱重塔(2)的进料口相连。

2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述第一脱轻塔(1)的塔底物料出口经第一脱轻塔再沸器(6)与第一脱轻塔(1)塔底再沸气入口相连;

优选地,所述第一脱重塔(2)的塔底物料出口经第一脱重塔再沸器(7)与第一脱重塔(2)塔底再沸气入口相连;所述第一脱重塔(2)的塔底物料出口与重杂储罐相连;

优选地,所述第二脱轻塔(3)的塔底物料出口经第二脱轻塔再沸器(8)与第二脱轻塔(3)塔底再沸气入口相连;

优选地,第二脱重塔(4)的塔底物料出口经第二脱重塔再沸器(9)与第二脱重塔(4)塔底再沸气入口相连。

3.一种利用四效耦合精馏提纯三氯氢硅的方法,其特征在于,所述方法为:

待处理原料经第一脱轻塔(1)进行第一次脱轻处理,得到的塔顶轻组分依次经热泵压缩机(10)加热升温,并在第二脱重塔再沸器(9)与第二脱重塔(4)塔底物料换热后作为轻杂采出,得到的重组分一部分作为再沸气返回,一部分进入第一脱重塔(2)进行第一次脱重处理;

第一次脱重处理得到的塔顶轻组分作为第一脱轻塔再沸器(6)的热源换热后进入第二脱轻塔(3)进行第二次脱轻处理,第一次脱重处理得到的塔底重组分一部分作为再沸气返回,一部分作为重杂采出;

第二脱轻塔(3)中的物料经第二次脱轻处理采出的塔顶轻组分经第二脱轻塔再沸器(8)降温后作为原料返回第一脱轻塔(1),第二次脱轻处理采出的塔釜重组分一部分作为再沸气返回,一部分进入第二脱重塔(4)进行第二次脱重处理;

第二脱重塔(4)中的物料经第二次脱重处理采出的塔顶轻组组分经第二脱轻塔再沸器(8)降温后作为热源为进料预热器(5)供热后作为三氯氢硅产品采出,第二脱重塔(4)中的塔底物料一部分作为再沸气返回,一部分返回第一脱轻塔(1)作为进料参与反应。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述第一脱轻塔(1)的塔顶温度为40~50℃,进一步优选为43~45℃;

优选地,所述第一脱轻塔(1)的塔釜温度为55~65℃,进一步优选为57~60℃。

5.根据权利要求3或4所述的方法,其特征在于,所述第一脱轻塔(1)的塔顶压力为200~400kPa,进一步优选为250~300kPa;

优选地,所述第一脱轻塔(1)全塔的压力降小于30kPa;

优选地,所述第一脱轻塔(1)的塔顶轻组分一部分返回塔顶回流,其回流进料比为1.0~5.0,进一步优选为3.0~4.0。

6.根据权利要求3-5任一项所述的方法,其特征在于,所述第一脱重塔(2)的塔顶温度为60~70℃,进一步优选为63~65℃;

优选地,所述第一脱重塔(2)的塔釜温度为70~80℃,进一步优选为73~75℃。

7.根据权利要求3-6任一项所述的方法,其特征在于,所述第一脱重塔(2)的塔顶压力为300~500kPa,进一步优选为350~400kPa;

优选地,所述第一脱重塔(2)全塔的压力降小于30kPa;

优选地,所述第一脱重塔(2)的塔顶轻组分一部分返回塔顶回流,其回流进料比为1.0~5.0,进一步优选为3.0~4.0。

8.根据权利要求4-7任一项所述的方法,其特征在于,所述第二脱轻塔(3)的塔顶温度为75~85℃,进一步优选为77~80℃;

优选地,所述第二脱轻塔(3)的塔釜温度为85~100℃,进一步优选为90~95℃;

优选地,所述第二脱轻塔(3)的塔顶压力为400~600kPa,进一步优选为450~500kPa;

优选地,所述第二脱轻塔(3)全塔的压力降小于50kPa;

优选地,所述第二脱轻塔(3)的塔顶轻组分一部分返回塔顶回流,其回流进料比为5.0~10.0,进一步优选为7.0~8.0。

9.根据权利要求4-8任一项所述的方法,其特征在于,所述第二脱重塔(4)的塔顶温度为90~110℃,进一步优选为95~100℃;

优选地,所述第二脱重塔(4)的塔釜温度为100~120℃,进一步优选为105~110℃;

优选地,所述第二脱重塔(4)的塔顶压力为700~900kPa,进一步优选为750~800kPa;

优选地,所述第二脱重塔(4)的全塔压力降小于50kPa;

优选地,所述第二脱重塔(4)的塔顶轻组分一部分返回塔顶回流,其回流进料比为5.0~10.0,进一步优选为7.0~8.0。

10.根据权利要求4-9任一项所述的方法,其特征在于,所述三氯氢硅产品为电子级三氯氢硅,其产品纯度为9N以上,硼磷杂质含量低于1ppb(wt)。

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