技术总结
本发明涉及一种降低多晶硅晶锭头部碳含量的排气装置，包括隔热笼，隔热笼顶部设有顶板，顶板上设有排气管组件，排气管组件包括主排气管、第一连接管、第二连接管和OT连接管，主排气管包括主通气管、环扣和伸缩管，第一连接管包括一级管、二级管和套管，第一连接管和第二连接管与主排气管之间均设有直角弯头，两个第一连接管与主排气管之间设有三通弯头，第一连接管和第二连接管之间设有聚气盒，聚气盒包括盒体和盒盖，盒盖上设有若干定位孔，定位孔内设有固定螺栓；本发明能够很好的将晶锭上部的碳杂质排除，解决原来只能依靠侧部排气排杂、二期排杂效果差的情况。
技术研发人员：司荣进;陆继波
受保护的技术使用者：镇江环太硅科技有限公司
文档号码：201610981663
技术研发日：2016.11.09
技术公布日：2017.02.22