本实用新型涉及一种制造装置，特别涉及一种多晶硅制造装置。
背景技术：
作为多晶硅的制造方法，已知有根据西门子法的制造方法。在该多晶硅的制造方法中，在反应炉内竖立设置许多成为晶种棒的硅芯棒并预先进行通电加热，对该反应炉供给包含氯硅烷气体和氢气的原料气体，使原料气体和加热后的硅芯棒接触。在加热后的硅芯棒的表面，通过原料气体的热分解或氢还原而析出多晶硅，生长为棒状。
多晶硅制作过程中，炉内气体过多容易产生雾化现象，又不可直接在炉内加快搅拌，这样不利于多晶硅的析出，单层炉在制造多晶硅过程中，炉内温度容易流失，不利于保证炉内温度的稳定。
技术实现要素：
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种多晶硅制造装置。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
本实用新型一种多晶硅制造装置，包括基台、外炉和内炉，所述外炉的顶部内设置有搅拌叶，所述搅拌叶的底部设置有内炉壁，所述内炉壁的内侧设置有内炉，所述内炉的内部设置有石墨棒，所述石墨棒的外侧设置有硅芯棒，所述石墨棒的底部设置有石墨加热器。所述硅芯棒的底部设置有电极，所述电极的外侧设置有喷气口，所述喷气口的底部设置有基台，所述基台的两端设置有出气口，所述基台的底部设置有气体分流器，所述气体分流器的底部设置有原料气体供给 源，所述基台的一侧设置有加热器。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述外炉的一侧设置有电动机。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述电动机与搅拌叶传动连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述石墨加热器、电极均与基台固定连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述原料气体供给源、气体分流器和喷气口通过管道气密连接，所述外炉与加热器通过管道气密连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
本实用新型通过基台上设置有内炉和外炉，可减少炉内温度流失的速度，外炉的顶部内设置有搅拌叶，引导外炉内的热空气，外炉内的热空气温度差作用在内炉壁上，可稍微影响内炉内原料气体的流速，减弱原料气体的雾化程度，有利于多晶体的析出，安全方便，实用性强。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型的整体结构示意图；
图中：1、基台；2、外炉；3、内炉；4、搅拌叶；5、石墨棒；6、硅芯棒；7、电极；8、喷气口；9、出气口；10、气体分流器；11、原料气体供给源；12、加热器；13、电动机；14、管道；15、石墨加热器；16、内炉壁。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例1
如图1所示，本实用新型提供一种多晶硅制造装置，包括基台1、外炉2和内炉3，外炉2的顶部内设置有搅拌叶4，搅拌叶4的底部设置有内炉壁16，所述内炉壁16的内侧设置有内炉3，内炉3的内部设置有石墨棒5，石墨棒5的外侧设置有硅芯棒6，石墨棒5的底部设置有石墨加热器15。硅芯棒6的底部设置有电极7，电极7的外侧设置有喷气口8，喷气口8的底部设置有基台1，基台1的两端设置有出气口9，基台1的底部设置有气体分流器10，气体分流器10的底部设置有原料气体供给源11，基台1的一侧设置有加热器12。
进一步的，外炉2的一侧设置有电动机13，便于电动机13进行维修与检查。
电动机13与搅拌叶4传动连接，电动机13为搅拌叶4搅拌提供动力，搅拌叶4搅拌外炉2内的热空气，搅拌的热空气具有一定的温差，温差作用在内炉3的外壁，影响内炉3气体的流动。
石墨加热器15、电极7均与基台1固定连接，维持石墨加热器15、电极7、喷气口8、出气口9的稳定，石墨加热器15为石墨棒5加热，然后相四周辐射热量，电极7上硅芯棒6固定后不会因为析出多晶硅重量不均匀而倾倒。
原料气体供给源11、气体分流器10和喷气口8通过管道14气密连接，外炉2与加热器12通过管道14气密连接，保证装置气密性良好，氯硅烷气体毒性较大，如果泄露会危害人体。
具体的，加热器12通过管道14加热外炉2空气，使外炉2内温度升高，达到接近1000摄氏度，石墨加热器15加热石墨棒5，然后相四周辐射热量，使内炉3温度达到生产要求1080摄氏度以上，外炉2和内炉3同时加热，加热效果更好，内炉3内温度也更加稳定，原料气体供给源11管道14由气体分流器10均匀分配给喷气口8，由喷气口8喷出，原料气体喷出过多则容易产生雾化现象，电动机13带动搅拌叶4搅拌，搅拌叶4搅拌外炉2内的热空气，搅拌的热空气具有一定的温差，温差作用在内炉壁16，内炉壁16可用氧化铝陶瓷，导热性能良好耐高温，影响内炉3气体的流动，稍微加快内炉3内原料气体流速，减弱原 料气体的雾化程度。
本实用新型通过基台1上设置有内炉3和外炉2，可减少炉内温度流失的速度，外炉2的顶部内设置有搅拌叶4，引导外炉2内的热空气，外炉2内的热空气温度差作用在内炉壁16上，可稍微影响内炉3内原料气体的流速，减弱原料气体的雾化程度，有利于多晶体的析出，安全方便，实用性强。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。