技术特征：
技术总结
本发明提供了一种六氯乙硅烷的回收方法。该回收方法包括：步骤S1，对多晶硅残液进行过滤，得到滤液和含固体颗粒和金属聚合物杂质的滤渣；步骤S2，对滤液进行第一次精馏，去除含无定形硅和金属的杂质，得到第一塔顶精馏液；步骤S3，对第一塔顶精馏液进行第二次精馏，去除含三氯氢硅和四氯化硅的低沸物，得到第二塔釜精馏液；步骤S4，对第二塔釜精馏液进行第三次精馏，去除四氯化硅和六氯二硅氧烷，得到以六氯乙硅烷为主的第三塔釜精馏液。对多晶硅残液进行过滤，能够去除其中的固体颗粒和金属聚合物杂质；然后，对过滤得到的滤液进行三次精馏，在塔顶得到四氯化硅和六氯二硅氧烷以及以六氯乙硅烷为主的第三塔釜精馏液。
技术研发人员：郭树虎;赵雄;万烨;严大洲;刘见华;李云昊;杨典
受保护的技术使用者：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
技术研发日：2017.04.06
技术公布日：2017.07.21