技术特征：
技术总结
本发明提供一种HVPE用气体传输装置、反应腔及HVPE设备，其中，所述HVPE用气体传输装置至少包括：含金属前驱物气体通路管道，屏蔽气体通路管道，以及含氮前驱物气体通路管道；其中：所述屏蔽气体通路管道套设于所述含金属前驱物气体通路管道外，形成双套管结构；所述含氮前驱物气体通路管道位于所述双套管结构的上方或者一侧。本发明避免了混合后的前驱物气体附着在气体传输装置的外壁上而导致其发生破裂，提高了含氮前驱物气体与含金属前驱物气体混合的均匀性，并提高了气流均匀性，从而提高了在衬底表面生长的外延层厚度及其组分的均匀性。
技术研发人员：特洛伊·乔纳森·贝克;王颖慧;罗晓菊;谢宇
受保护的技术使用者：镓特半导体科技（上海）有限公司
技术研发日：2017.06.01
技术公布日：2017.08.04