技术总结
本发明公开了一种三氯化硼纯化装置，属于三氯化硼纯化技术领域。它包括依次连接的原料钢瓶、一级吸附器、反应脱除器、二级吸附器、中间罐、一级精馏塔、二级精馏塔、冷凝器、产品罐，所述一级吸附器为双路并联结构，所述反应脱除器为双路并联结构，所述中间罐的罐体外围安装有冷热盘管夹套，所述中间罐、一级精馏塔、二级精馏塔的残留废液排出口连接有废液罐。通过以上成套设备和工艺步骤逐步吸附、分解、反应、蒸馏、冷凝，能够使得三氯化硼原料中的有害杂质降低到0.5ppm以下，完全满足LED行业及芯片行业的要求。 1
技术研发人员：王绍峻;梁永强;于青玉
受保护的技术使用者：和立气体（上海）有限公司
技术研发日：2017.12.29
技术公布日：2018.06.15