一种表面喷砂石墨的制作方法

本实用新型涉及石墨加工技术领域，特别涉及一种表面喷砂石墨。

背景技术：

近年来国内半导体晶圆厂，国家出台了4000亿国家集成电路的产业大基金来支持国内的半导体行业。离子注入机是目前半导体晶圆厂内的最精密的关键设备，石墨类的耗材需求量很大，对石墨类的零部件不但要求高纯度无污染，还要求同一套石墨保护组件能最大限度提升使用寿面，延长机台俩次保养的间隔时段，这样石墨喷砂就有了应用市场，为此，我们提出一种表面喷砂石墨。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的在于提供一种表面喷砂石墨，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种表面喷砂石墨，包括石墨件和砂料，所述石墨件表层经喷砂处理有砂料，所述砂料均匀分布在石墨件表层，且经过喷砂处理后的石墨件表层粗糙度Ra大于6.4，所述砂料为铜矿砂、石英砂、金刚砂、铁砂和海南砂其中的一种。

进一步的，所述石墨件采用高纯石墨材料制成。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：该实用新型由于采用石墨喷砂处理，使得石墨件表层均匀附着有砂料，能够增大石墨件的表面粗糙度，可以有效增强表面附着污染物的能力，延长石墨件使用寿命，有效延长机台两次保养的间隔时段。

【附图说明】

图1为石墨件表面无喷砂处理的表面效果；

图2为本实用新型表面喷砂石墨喷砂处理后效果示意图。

图中：1、石墨件；2、砂料。

【具体实施方式】

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-2所示，一种表面喷砂石墨，包括石墨件1和砂料2，所述石墨件1表层经喷砂处理有砂料2，所述砂料2均匀分布在石墨件1表层，且经过喷砂处理后的石墨件1表层粗糙度Ra大于6.4，所述砂料2为铜矿砂、石英砂、金刚砂、铁砂和海南砂其中的一种。

其中，所述石墨件1采用高纯石墨材料制成。

应说明的是，该实用新型由于采用石墨喷砂处理，使得石墨件1表层均匀附着有砂料2，能够增大石墨件1的表面粗糙度，可以有效增强表面附着污染物的能力，延长石墨件1使用寿命，有效延长机台两次保养的间隔时段。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。