单晶硅棒出炉及运输装置的制作方法

文档序号:11496432阅读:541来源:国知局
单晶硅棒出炉及运输装置的制造方法

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域,具体而言,涉及一种单晶硅棒出炉及运输装置。



背景技术:

单晶硅棒成品的直径约190mm、长度2800mm、重量约180kg。通常的出料方式为人工抬棒,每次取出需5~6人配合,操作不便,单晶硅棒出炉时温度较高,约200℃左右,人工出炉存在安全隐患。另外,采取由人工的方式出炉,造成对单晶硅棒的污染,增加后续清洗难度,会影响产品的品质。

现有技术的单晶硅棒的出炉装置不能进行运输,运输装置不能进行出炉,操作不便,影响工作效率。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅棒出炉及运输装置,能够方便地对单晶硅棒进行出炉和运输,提高单晶硅棒的出炉及运输的工作效率,避免单晶硅棒造成污染。

本实用新型是采用以下技术方案实现的:

一种单晶硅棒出炉及运输装置,包括用于固定单晶硅棒的固定架、升降装置、旋转支架、旋转装置、车体和控制装置,升降装置与固定架连接,固定架滑动设置于旋转支架,旋转支架与旋转装置转动连接,旋转装置的远离旋转支架的一端设置于车体,旋转支架转动连接于车体,升降装置和旋转装置均与控制装置连接。

本实用新型提供的单晶硅棒出炉及运输装置的有益效果为:先通过控制装置控制升降装置使固定架向下降,然后将单晶硅棒固定在固定架上,通过控制装置控制升降装置使固定架向上升,再通过控制装置控制旋转装置,使旋转支架旋转至车体上,从而使固定架上的单晶硅棒横放在车体上,通过启动车体对单晶硅棒进行运输,其能够方便地对单晶硅棒进行出炉和运输,提高单晶硅棒的出炉及运输的工作效率,避免单晶硅棒造成污染。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图也属于本实用新型的保护范围。

图1为本实用新型实施例提供的单晶硅棒出炉及运输装置的结构示意图;

图2为本实用新型实施例提供的单晶硅棒出炉及运输装置中固定架的结构示意图;

图3为本实用新型实施例提供的单晶硅棒出炉及运输装置的运输状态下的结构示意图;

图4为本实用新型实施例提供的单晶硅棒出炉及运输装置中车体的结构示意图。

图标:100-单晶硅棒出炉及运输装置;110-固定架;120-升降装置;130-旋转支架;140-旋转装置;150-车体;160-人机交互界面;101-单晶硅棒;111-托板;112-托架;113-防护罩;114-定位机构;115-弹簧锁扣;151-架体;152-手柄;153-第一横板;154-第一竖板;155-第二横板;156-第二竖板;157-固定车轮;158-转向车轮;159-定位块;161-限位件。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接连接,也可以通过中间媒介间接连接,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

实施例

图1为本实施例提供的单晶硅棒出炉及运输装置100的结构示意图。请参阅图1,本实施例中,单晶硅棒出炉及运输装置100包括用于固定单晶硅棒101的固定架110、升降装置120、旋转支架130、旋转装置140、车体150、控制装置(图未示)和人机交互界面160。

升降装置120与固定架110连接,固定架110滑动设置于旋转支架130,升降装置120与控制装置连接,在单晶硅棒101进行出炉的时候,单晶硅棒101挂在单晶炉的盖体上,单晶硅棒101竖直放置,通过控制装置控制升降装置120使固定架110上下移动,调整好位置后,将单晶硅棒101的下端固定在固定架110上,再通过控制装置控制升降装置120使固定架110高度合适,使单晶硅棒101完全固定在固定架110上。

优选地,升降装置120为升降液压缸,其动力较大,使用方便。升降液压缸的两端通过固定铰链固定在旋转支架130上并控制固定架110的升降。同时,旋转支架130上还设置了两个限位开关,限定升降液压缸的升降距离,避免固定架110发生损坏,安全可靠。

图2为本实施例提供的固定架110的结构示意图。请一并参阅图1和图2,本实施例中,固定架110包括托板111、托架112和防护罩113,托板111的一端与托架112的端部连接,另一端朝向远离托架112的方向延伸,防护罩113安装于托架112,托架112滑动设置于旋转支架130。在单晶硅棒101出炉的时候,托板111横向设置,托架112、防护罩113和旋转支架130均竖向设置,在固定单晶硅棒101的时候,可以取下防护罩113使单晶硅棒101的下端放置在托板111上,再装上防护罩113,托架112通过滑动导轨滑动设置在旋转支架130上,调节单晶硅棒101的高度。设置防护罩113的可以避免工作人员接触单晶硅棒101,避免工作人员烫伤,也避免单晶硅棒101发生破裂或工作人员与其接触造成单晶硅棒101的二次污染。本实施例中,防护罩113可以快速安装或取下,操作更加方便。

优选地,托板111的朝向托架112的一面设置有定位机构114,即在单晶硅棒101出炉的时候,托板111的上表面设置有定位机构114,将单晶硅棒101放置在定位机构114上,避免单晶硅棒101的固定发生偏差,使单晶硅棒101的固定更加牢固,避免发生损坏。

优选地,托板111与托架112垂直,即托板111与防护罩113的轴线垂直,单晶硅棒101的下端面能够完全与托板111接触,并进行竖直放置,使单晶硅棒101的固定效果更好,不易造成损坏。

托架112上设置有弹簧锁扣115,当单晶硅棒101设置在托板111上的时候,弹簧锁扣115将单晶硅棒101进行牢牢固定在托架112上,进一步提高单晶硅棒101的固定效果。

图3位本实施例提供的单晶硅棒出炉及运输装置100的运输状态下的结构示意图。请继续一并参阅图1和图3,本实施例中,旋转支架130与旋转装置140转动连接,旋转装置140的远离旋转支架130的一端设置于车体150,旋转支架130转动连接于车体150,旋转装置140与控制装置连接。在单晶硅棒101出炉以后,通过控制装置控制旋转装置140使旋转支架130发生旋转,旋转支架130由竖向设置变成横向设置,则旋转支架130横向设置在车体150上,从而使固定架110上的单晶硅棒101横放在车体150上,通过启动车体150对单晶硅棒101进行运输。运输的时候单晶硅棒101横向设置,单晶硅棒101的重心低,运输更加方便。

优选地,旋转装置140为旋转液压缸,其动力较大,使用方便。旋转液压缸的一端与旋转支架130转动连接,另一端与转动设置于车体150,更加方便旋转支架130的旋转。

图4为本实施例提供的车体150的结构示意图。一并参阅图1和图4,本实施例中,车体150包括架体151和手柄152,架体151与旋转支架130转动连接,手柄152设置于架体151,旋转液压缸的一端与旋转支架130转动连接,另一端与架体151连接。通过手柄152控制架体151的运动和转向,方便单晶硅棒101的运输。

架体151包括依次首尾连接的第一横板153、第一竖板154、第二横板155和第二竖板156,第一横板153与第二横板155平行间隔设置且第一横板153位于第二横板155的上方,第一竖板154与第二竖板156平行间隔设置,使其形成一个支撑框架,并且,第一竖板154上设置有平衡装置,可以保证车体150的平衡,避免在运输或取出单晶硅棒101的过程中发生侧翻。

手柄152设置于第一横板153与第一竖板154的连接处,用于控制车体150的运动方向,第二横板155的两端分别设置固定车轮157和转向车轮158,即第二横板155的靠近第二竖板156的一端的两侧设置两个固定车轮157,第二横板155的远离第二竖板156的一端的两侧设置两个转向车轮158,使车体150保持稳定性,并使车体150能够稳定转向。

旋转液压缸的一端与旋转支架130转动连接,另一端与第一竖板154和第二横板155的连接处连接,第一横板153与第二竖板156的连接处与旋转支架130转动连接。使竖向设置的旋转支架130在旋转液压缸的作用下横向设置在第一横板153上。

本实施例中,旋转支架130与第一横板153和第二竖板156的连接处通过转动铰链连接,旋转液压缸与旋转支架130也通过转动铰链连接,使旋转支架130与车体150和旋转液压缸的连接更加牢固,同时,也方便旋转支架130从竖直设置转动为水平设置,从而方便单晶硅棒101的运输。

第一横板153的远离第二竖板156的一端的上表面设置有定位块159,设置定位块159,使旋转支架130转至定位块159处,从而使旋转支架130上的单晶硅棒101平稳地放置在车体150上,避免车体150发生侧翻。

第二竖板156与第二横板155的连接处设置有限位件161。限位件161的一端与第二竖板156与第二横板155的连接处连接,另一端朝向旋转支架130的方向延伸,可以限制旋转支架130的偏移,在旋转支架130的远离车体150的一端朝向远离车体150的方向旋转的时候,当旋转支架130竖向设置的时候即与限位件161抵靠,避免旋转支架130旋转过多而发生偏移。

本实施例中,升降液压缸和旋转液压缸的动力均来自于电动机,其液压油通过邮箱提供,使升降液压缸和旋转液压缸顺利工作。

人机交互界面160与控制装置电连接,操作人员通过操作人机交互界面160,控制控制装置,从而控制升降液压缸和旋转液压缸的工作状态,达到对单晶炉内的单晶硅棒101进行出炉和运输的作用,提高工作效率,降低工作人员的劳动强度,减少成本的消耗。

本实用新型提供的单晶硅棒出炉及运输装置100的原理为:操作人员操作人机交互界面160,使控制装置控制升降液压缸使托架112相对于旋转支架130在旋转支架130的滑动导轨上向下滑动,调整单晶硅棒101与托板111的位置,使单晶硅棒101的下端放置在托板111上的定位机构114处,通过弹簧锁扣115将单晶硅棒101固定在托架112上,安装好防护罩113,操作人机交互界面160,使控制装置控制升降液压缸使托架112相对于旋转支架130在旋转支架130的活动导轨上向上滑动,此时,旋转支架130竖向设置。操作人机交互界面160,使控制装置控制旋转液压缸,使旋转支架130旋转放置至第一横板153上,从而使单晶硅棒101横放在车体150上,通过启动车体150对单晶硅棒101进行运输,同时还可以操作手柄152,调节车体150的运输方向,其能够方便地对单晶硅棒101进行出炉和运输,提高单晶硅棒101的出炉及运输的工作效率,降低工作人员的劳动强度,避免单晶硅棒101造成污染。同时,使用该单晶硅棒出炉及运输装置100进行出炉,可以在单晶硅棒101较高温度的情况下直接出炉,提高单晶炉的利用率。其升降和旋转均由液压缸控制,安全可靠。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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