一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构的制作方法

文档序号:13100691阅读:590来源:国知局

本实用新型属于蓝宝石晶体生长技术领域,具体涉及一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构。



背景技术:

泡生法蓝宝石晶体生长设备包括炉体、控制系统、真空系统、水冷系统及动力系统,目前的泡生法蓝宝石设备都是双电极结构生长圆柱形的蓝宝石材料,这种结构对于手机面板等方形用途产生大量的浪费,因此有了四电极结构生长矩形的蓝宝石材料,但是现在的结构要么只能生产矩形,要么只能生产近似于圆柱形的蓝宝石晶体,因此,当既需要矩形,又需要圆柱形两种结构时,必须要用到两种不同结构的钨合金发热体结构,才能实现这种生产目的,而且现有的用于生长蓝宝石晶体的钨合金发热体结构对于蓝宝石晶体的结构只有圆柱和矩形两种。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构,克服上述缺陷,通过对钨杆和电极座结构的改进,来解决根据蓝宝石要求需更换钨合金发热体结构等的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构,包括钨杆和电极座,所述钨杆包括多个第一钨杆,多个第二钨杆、多个第三钨杆和多个第四钨杆,所述第一钨杆、第二钨杆、第三钨杆和第四钨杆形成一鸟笼状结构,所述电极座包括第一子电极座和第二子电极座,所述第一钨杆的一端连接第一子电极座,所述第一钨杆的另一端连接第二子电极座,所述第二钨杆的一端连接第一子电极座,所述第二钨杆的另一端连接第二子电极座,所述第三钨杆的一端连接第一子电极座,所述第三钨杆的另一端连接第二子电极座,所述第四钨杆的一端连接第一子电极座,所述第四钨杆的另一端连接第二子电极座,所述第一钨杆的侧杆与所述第二钨杆的侧杆、第三钨杆的侧杆、第四钨杆的侧杆平行,所述第一钨杆的顶杆与所述第二钨杆的顶杆平行,所述第三钨杆的顶杆与所述第四钨杆的顶杆平行,所述第一钨杆的顶杆与所述第三钨杆的顶杆垂直,所述第三钨杆设置在所述第一钨杆的下方,所述第二钨杆设置在所述第三钨杆的下方,所述第四钨杆设置在所述第二钨杆的下方,所述第一子电极座呈半环形,所述第二子电极座也呈半环形,所述第一子电极座与所述第二子电极座对称并构成一圆环形的电极座。

作为本实用新型所述一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构的一种优选方案,所述钨杆还包括钨环,所述第一钨杆的顶杆、第二钨杆的顶杆、第三钨杆的顶杆和第四钨杆的顶杆构成一四层平面网状结构,所述钨环设置在所述四层平面网状结构的中心,所述钨环贯穿所述四层平面网状结构。

作为本实用新型所述一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构的一种优选方案,所述第一子电极座的侧面设置有第一通孔,所述第一通孔自所述第一子电极座的外侧壁贯穿所述第一子电极座的内侧壁,所述第二子电极座的侧面设置有第二通孔,所述第二通孔自所述第二子电极座的外侧壁贯穿所述第二子电极座的内侧壁。

作为本实用新型所述一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构的一种优选方案,所述钨杆还包括第一活动钨杆和第二活动钨杆,所述第一活动钨杆自所述第一通孔伸入所述鸟笼状结构中,所述第二活动钨杆自所述第二通孔伸入所述鸟笼状结构中,所述第一活动钨杆的一端伸出所述第一通孔,并与所述第一子电极座的外侧壁连接,另一端与四层平面网状结构活动连接,第二活动钨杆的一端伸出所述第二通孔,并与所述第二子电极座的外侧壁连接,另一端与所述四层平面网状结构活动连接。

作为本实用新型所述一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构的一种优选方案,所述第一活动钨杆和第二活动钨杆均呈L形。

作为本实用新型所述一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构的一种优选方案,所述第一活动钨杆和第二活动钨杆的直径相同,所述第一钨杆、第二钨杆、第三钨杆和第四钨杆的直径相同。

作为本实用新型所述一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构的一种优选方案,所述第一活动钨杆的直径大于所述第一钨杆的直径。

作为本实用新型所述一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构的一种优选方案,所述第一活动钨杆的直径是所述第一钨杆的直径的3~5倍。

作为本实用新型所述一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构的一种优选方案,所述电极座上设有多个固定孔。

与现有技术相比,本实用新型提出的一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构,将钨杆的顶杆分成四层,又设置有活动钨杆,根据不同的需要,可以选择不同的钨杆层进行生长反应,此种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构具有装配便捷,结构简单、性能可靠、成本低廉的优点,满足了生产的需要。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。其中,

图1为本实用新型的一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构的结构示意图。

其中:1为第一钨杆、2为第二钨杆、3为第三钨杆、4为第四钨杆、5为第二子电极座、6为第一子电极座、7为固定孔、8为第一通孔、9为钨环。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

首先,此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本实用新型至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例,也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。

其次,本实用新型利用结构示意图等进行详细描述,在详述本实用新型实施例时,为便于说明,表示用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构的示意图会不依一般比例作局部放大,而且所述示意图只是实例,其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外,在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间。

实施例一

请参阅图1,图1为本实用新型的一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构的结构示意图。如图1所示,其包括钨杆(未图示)和电极座(未图示),钨杆可分成多个第一钨杆,多个第二钨杆、多个第三钨杆和多个第四钨杆,上述四种钨杆交替设置,第一钨杆1、第二钨杆2、第三钨杆3和第四钨杆4形成一鸟笼状结构(未图示),第一钨杆1的侧杆与第二钨杆2的侧杆、第三钨杆3的侧杆、第四钨杆4的侧杆平行,第一钨杆1的顶杆与第二钨杆2的顶杆平行,第三钨杆3的顶杆与第四钨杆4的顶杆平行,第一钨杆1的顶杆与第三钨杆3的顶杆垂直,第三钨杆3的顶杆设置在第一钨杆1的顶杆的下方,第二钨杆2的顶杆设置在第三钨杆3的顶杆的下方,第四钨杆4的顶杆设置在第二钨杆2 的顶杆的下方,电极座分成第一子电极座6和第二子电极座(未图示),第一钨杆1的一端连接第一子电极座6,第一钨杆1的另一端连接第二子电极座,第二钨杆2的一端连接第一子电极座6,第二钨杆2的另一端连接第二子电极座,第三钨杆3的一端连接第一子电极座6,第三钨杆3的另一端连接第二子电极座5,第四钨杆4的一端连接第一子电极座6,第四钨杆4的另一端连接第二子电极座,第一子电极座6呈半环形,第二子电极座也呈半环形,第一子电极座6与第二子电极座对称并构成一圆环形的电极座。根据所需要蓝宝石晶体的形状要求,可以加热第一钨杆1、第二钨杆2、第三钨杆3和第四钨杆4中的任意两种以上钨杆。当四种钨杆均加热时,能够快速的生成近似于圆柱状的蓝宝石晶体,当任意同向钨杆打开,异向钨杆不打开时,能够快速的生成长方体形的圆柱状的蓝宝石晶体。

蓝宝石晶体在生长的过程中,还需要有一个引杆引导蓝宝石晶体反应,而引杆需要伸入至鸟笼结构中,所以设置一个用于伸入引杆的钨环9结构,第一钨杆1的顶杆、第二钨杆2的顶杆、第三钨杆3的顶杆和第四钨杆4的顶杆构成一四层平面网状结构(未图示),钨环9设置在四层平面网状结构的中心,钨环9贯穿四层平面网状结构。

在上述改进后,为了使得蓝宝石晶体生长更符合要求,第一子电极座6的侧面设置有第一通孔8,第一通孔8自第一子电极座6的外侧壁贯穿第一子电极座6的内侧壁,第二子电极座(未图示)的侧面设置有第二通孔(未图示),第二通孔自第二子电极座的外侧壁贯穿第二子电极座的内侧壁。钨杆还包括第一活动钨杆(未图示)和第二活动钨杆(未图示),第一活动钨杆自第一通孔8伸入鸟笼状结构中,第二活动钨杆自第二通孔伸入鸟笼状结构中,第一活动钨杆的一端伸出第一通孔8,并与第一子电极座6的外侧壁连接,另一端与四层平面网状结构活动连接,第二活动钨杆的一端伸出第二通孔,并与第二子电极座的外侧壁连接,另一端与四层平面网状结构活动连接。这样子,根据要求,活动钨杆也可以加热,引导蓝宝石晶片的厚薄。为了能够造出长方体形的蓝宝石晶片,第一活动钨杆和第二活动钨杆均呈L形。

在上述结构中,为了提高蓝宝石晶体生长的均匀性,第一活动钨杆和第二活动钨杆的直径相同,第一钨杆1、第二钨杆2、第三钨杆3和第四钨杆4的直径相同。相邻的钨杆之间的距离相同,第一活动钨杆的直径大于第一钨杆1的直径。优选的,第一活动钨杆的直径是第一钨杆1的直径的3~5倍。电极座上设有多个固定孔7,用于与加热底座(未图示)连接。

所属领域内的普通技术人员应该能够理解的是,本实用新型的特点或目的之一在于:本实用新型提出的一种用于泡生法蓝宝石生长的钨合金发热体结构,具有装配便捷,结构简单、性能可靠、成本低廉的优点,满足了生产的需要。

应说明的是,以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制,尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围,其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

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