技术特征：
技术总结
本发明的玻璃基板(P)的制造装置(10)具备将玻璃基板(P)沿规定的方向(X1)输送的输送装置(11)和表面处理装置(12)。表面处理装置(12)具备：箱体(14)；在箱体(14)中的一个主表面(P1)侧开口的开口部(17)；以相对于开口部(17)能够拆卸的方式安装，且具有用于向一个主表面(P1)供给处理气体(Ga)的供气口(31)的一个或多个供气单元(18)。这里，供气单元(18)安装在开口部(17)中的沿着玻璃基板(P)的输送方向(X1)的多个位置处。
技术研发人员：山本好晴;中塚弘树;大野和宏
受保护的技术使用者：日本电气硝子株式会社
技术研发日：2017.10.20
技术公布日：2019.07.02