一种晶体生长控制装置及控制方法与流程

文档序号:15627129发布日期:2018-10-09 23:16阅读:169来源:国知局

本发明涉及晶体制造领域,特别涉及一种晶体生长控制装置及控制方法。



背景技术:

晶体在生长过程是密闭的,因此操作人员无法获知晶体的生长过程是否是按照设计标准进行的,因此无法精准控制晶体的生长过程的重量,进而无法精准的获得规定重量的晶体,使得生产出的晶体重量不一,由于晶体在生长过程中由于出现质量偏差,因此很难获得等径的晶体,降低了晶体产品的品质。



技术实现要素:

为了解决上述问题,本发明提供一种晶体生长控制装置及控制方法。本技术方案通过设定晶体直径d、坩埚直径d、晶体密度ρ1、熔液密度ρ2、提拉装置的底部与晶体的顶部之间的直线距离h,以及提拉装置的移动速度v,并通过控制芯片对上述参数进行运算获得理论重量δm;再通过称重器获得晶体7实际重量增加量δm1,通过比较晶体实际重量增加量δm1与晶体放肩理论重量增加量δm,以及等径理论重量增加量δm2,来控制加热装置的输出功率,使晶体的实际重量增加量与晶体的理论重量一致,实现了精准控制晶体的生长过程的重量,进而精准的获得规定重量的晶体,提高了晶体产品的品质,结构及原理简单,提高了晶体的生产效率和生产质量;

本技术方案通过实时控制晶体的生长重量,以保证晶体在等径生长过程中,晶体的等径部分在其轴线方向上的各个横截面的直径均为一致,因此,实现了快速便捷的生产等径晶体的效果,提高了晶体产品的品质。

本技术方案无需人工干预,提高了晶体生长控制工作的自动化水平,进而提高了生产效率,降低了生产成本。

本发明中的一种晶体生长控制装置,包括提拉装置、坩埚、控制器、旋转电机和升降电机;

所述坩埚用于盛放原料液体,所述提拉装置位于所述坩埚的上方;所述提拉装置用于夹取籽晶,所述提拉装置将籽晶伸入坩埚内并通过原料液体制造晶体;

所述旋转电机和升降电机分别与所述提拉装置连接,所述控制器分别与所述旋转电机和升降电机连接;所述控制器通过所述升降电机使所述提拉装置上升或下降,以使所述提拉装置伸入或脱离所述坩埚;所述控制器通过所述旋转电机使所述提拉装置旋转,以使籽晶在原料液体内制造晶体;所述控制器还可通过所述提拉装置对晶体进行称重。

上述方案中,所述控制器包括控制芯片、称重器、旋转开关模块和升降开关模块;

所述称重器与所述提拉装置连接,用于实时称量晶体的重量;所述称重器还与控制芯片连接,用于将晶体的重量信息实时输出至所述控制芯片;

所述控制芯片与所述旋转开关模块连接,所述旋转开关模块与所述旋转电机连接,用于控制所述旋转电机的开启或关闭;

所述控制芯片与所述升降开关模块连接,所述升降开关模块与所述升降电机连接,用于控制所述升降电机的开启或关闭。

上述方案中,还包括加热装置,所述加热装置分别与坩埚和所述控制器连接,所述加热装置用于对坩埚进行加热,所述控制器控制所述加热装置的功率大小。

一种晶体生长控制方法,包括以下步骤:

s1.准备阶段:坩埚内盛放有原料液体,将籽晶连接在提拉装置上,控制器控制提拉装置使籽晶伸入原料液体内;

s2.放肩阶段:控制器控制旋转电机使提拉装置转动籽晶使晶体旋转;控制器还控制升降电机使提拉装置拉动籽晶脱离原料液体,使晶体放肩;同时,控制器还控制加热装置对坩埚进行加热;

s3.等径生长阶段:控制器控制升降电机使提拉装置拉动籽晶脱离原料液体,使晶体等径生长;控制器还控制旋转电机使提拉装置转动籽晶,使晶体旋转;同时,控制器还控制加热装置对坩埚进行加热。

上述方案中,在所述准备阶段中,控制芯片控制升降开关模块正向启动,使升降电机控制提拉装置朝向坩埚移动,此时,提拉装置将带动籽晶插入所述原料液体内。

上述方案中,在所述放肩阶段中,原料液体内的原料将在籽晶周围结晶并形成晶体;

控制芯片控制旋转开关模块启动,使旋转电机控制提拉装置围绕籽晶的轴线旋转;控制芯片还控制升降开关模块反向启动,使升降电机控制提拉装置背向坩埚移动,此时,提拉装置将带动籽晶脱离所述原料液体。

上述方案中,在所述放肩阶段中,控制器控制提拉装置做减速运动,控制芯片还控制称重器实时称量晶体的重量,所述称重器将晶体的重量信息实时输出至所述控制芯片;控制芯片计算获得晶体的晶体放肩理论重量增加量δm,并对比晶体实际重量增加量δm1和晶体放肩理论重量增加量δm;

若晶体实际重量增加量δm1大于晶体放肩理论重量增加量δm,则说明原料液体的温度过低,控制器提高加热装置的输出功率,进而提升坩埚和原料液体的温度;

若晶体实际重量增加量δm1小于晶体放肩理论重量增加量δm,则说明原料液体的温度过高,控制器降低加热装置的输出功率,进而降低坩埚和原料液体的温度。

上述方案中,在所述等径生长阶段中,原料液体内的原料将继续在籽晶周围结晶并形成晶体;

控制芯片控制旋转开关模块启动,使旋转电机控制提拉装置围绕籽晶的轴线旋转;控制芯片还控制升降开关模块反向启动,使升降电机控制提拉装置背向坩埚移动,此时,提拉装置将带动籽晶脱离所述原料液体。

上述方案中,在所述等径生长阶段中,控制器控制提拉装置做匀速运动,控制芯片还控制称重器实时称量晶体的重量,所述称重器将晶体的重量信息实时输出至所述控制芯片;控制芯片计算获得晶体的晶体等径理论重量增加量δm2,并对比晶体实际重量增加量δm1和晶体等径理论重量增加量δm2;

若晶体实际重量增加量δm1大于晶体等径理论重量增加量δm2,则说明原料液体的温度过低,控制器将控制坩埚提升原料液体的温度;

若晶体实际重量增加量δm1小于晶体等径理论重量增加量δm2,则说明原料液体的温度过高,控制器将控制坩埚降低原料液体的温度。

本发明的优点和有益效果在于:本发明提供一种晶体生长控制装置及控制方法,通过比较晶体实际重量增加量与晶体放肩理论重量增加量,以及等径理论重量增加量,来控制加热装置的输出功率,使晶体的实际重量增加量与晶体的理论重量一致,实现了精准控制晶体的生长过程的重量,进而精准的获得规定重量的晶体,提高了晶体产品的品质,结构及原理简单,提高了晶体的生产效率和生产质量;保证了晶体在等径生长过程中,晶体的等径部分在其轴线方向上的各个横截面的直径均为一致,因此,实现了快速便捷的生产等径晶体的效果,提高了晶体产品的品质;无需人工干预,提高了晶体生长控制工作的自动化水平,进而提高了生产效率,降低了生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一种晶体生长控制系统的结构示意图。

图中:1、提拉装置2、坩埚3、控制器4、旋转电机

5、升降电机6、加热装置7、晶体8、原料液体

31、控制芯片32、称重器33、旋转开关模块

34、升降开关模块

具体实施方式

下面结合附图和实施例,对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。

如图1所示,本发明是一种晶体生长控制系统,包括提拉装置1、坩埚2、控制器3、旋转电机4和升降电机5;

坩埚2用于盛放原料液体8,提拉装置1位于坩埚2的上方;提拉装置1用于夹取籽晶,提拉装置1将籽晶伸入坩埚2内并通过原料液体8制造晶体7;

旋转电机4和升降电机5分别与提拉装置1连接,控制器3分别与旋转电机4和升降电机5连接;控制器3通过升降电机5使提拉装置1上升或下降,以使提拉装置1伸入或脱离坩埚2;控制器3通过旋转电机4使提拉装置1旋转,以使籽晶在原料液体8内制造晶体7;控制器3还可通过提拉装置1对晶体7进行称重。

具体的,控制器3包括控制芯片31、称重器32、旋转开关模块33和升降开关模块34;

称重器32与提拉装置1连接,用于实时称量晶体7的重量;称重器32还与控制芯片31连接,用于将晶体7的重量信息实时输出至控制芯片31;

控制芯片31与旋转开关模块33连接,旋转开关模块33与旋转电机4连接,用于控制旋转电机4的开启或关闭;

控制芯片31与升降开关模块34连接,升降开关模块34与升降电机5连接,用于控制升降电机5的开启或关闭。

进一步的,还包括加热装置6,加热装置6分别与坩埚2和控制器3连接,加热装置6用于对坩埚2进行加热,控制器3控制加热装置6的功率大小。

一种晶体生长控制方法,包括以下步骤:

s1.准备阶段:坩埚2内盛放有原料液体8,将籽晶连接在提拉装置1上,控制器3控制提拉装置1使籽晶伸入原料液体8内;

s2.放肩阶段:控制器3控制旋转电机4使提拉装置1转动籽晶使晶体7旋转;控制器3还控制升降电机5使提拉装置1拉动籽晶脱离原料液体8,使晶体7放肩;同时,控制器3还控制加热装置6对坩埚2进行加热;

s3.等径生长阶段:控制器3控制升降电机5使提拉装置1拉动籽晶脱离原料液体8,使晶体7等径生长;控制器3还控制旋转电机4使提拉装置1转动籽晶,使晶体7旋转;同时,控制器3还控制加热装置6对坩埚2进行加热。

具体的,在准备阶段中,控制芯片31控制升降开关模块34正向启动,使升降电机5控制提拉装置1朝向坩埚2移动,此时,提拉装置1将带动籽晶插入原料液体8内。

具体的,在放肩阶段中,原料液体8内的原料将在籽晶周围结晶并形成晶体7;

控制芯片31控制旋转开关模块33启动,使旋转电机4控制提拉装置1围绕籽晶的轴线旋转;

控制芯片31还控制升降开关模块34反向启动,使升降电机5控制提拉装置1背向坩埚2移动,此时,提拉装置1将带动籽晶脱离原料液体8。

进一步的,在放肩阶段中,控制器3控制提拉装置1做减速运动,控制芯片31还控制称重器32实时称量晶体7的重量,称重器32将晶体7的重量信息实时输出至控制芯片31;控制芯片31计算获得晶体7的晶体7放肩理论重量增加量δm,并对比晶体7实际重量增加量δm1和晶体7放肩理论重量增加量δm;

若晶体7实际重量增加量δm1大于晶体7放肩理论重量增加量δm,则说明原料液体8的温度过低,控制器3提高加热装置6的输出功率,进而提升坩埚2和原料液体8的温度;

若晶体7实际重量增加量δm1小于晶体7放肩理论重量增加量δm,则说明原料液体8的温度过高,控制器3降低加热装置6的输出功率,进而降低坩埚2和原料液体8的温度。

其中,在控制芯片31内设定,晶体7直径d、坩埚2直径d、晶体7密度ρ1、熔液密度ρ2、提拉装置1的底部与晶体7的顶部之间的直线距离h,以及提拉装置1的移动速度v,同时,控制芯片31还根据称重器32获得晶体7实际重量增加量δm1,控制器3测得晶体7的放肩角α;

控制芯片31通过提拉装置1的移动速度v,根据公式a=vt获得单位时间提拉高度a,随着时间的推移,根据公式l1=σa,获得提拉装置1的整体提拉高度l1;

控制芯片31根据公式获得放肩液位下降高度b1;此时,b=b1;

控制芯片31根据公式l2=σ(a+b),获得晶体7实际长度l2,控制芯片31根据公式获得晶体7放肩理论重量增加量δm;

控制芯片31对比晶体7实际重量增加量δm1和晶体7放肩理论重量增加量δm;

若晶体7实际重量增加量δm1大于晶体7放肩理论重量增加量δm,则说明原料液体8的温度过低,控制器3将控制坩埚2提升原料液体8的温度;

若晶体7实际重量增加量δm1小于晶体7放肩理论重量增加量δm,则说明原料液体8的温度过高,控制器3将控制坩埚2降低原料液体8的温度。

具体的,在等径生长阶段中,原料液体8内的原料将继续在籽晶周围结晶并形成晶体7;

控制芯片31控制旋转开关模块33启动,使旋转电机4控制提拉装置1围绕籽晶的轴线旋转;控制芯片31还控制升降开关模块34反向启动,使升降电机5控制提拉装置1背向坩埚2移动,此时,提拉装置1将带动籽晶脱离原料液体8。

进一步的,在等径生长阶段中,控制器3控制提拉装置1做匀速运动,控制芯片31还控制称重器32实时称量晶体7的重量,称重器32将晶体7的重量信息实时输出至控制芯片31;控制芯片31计算获得晶体7的晶体7等径理论重量增加量δm2,并对比晶体7实际重量增加量δm1和晶体7等径理论重量增加量δm2;

若晶体7实际重量增加量δm1大于晶体7放肩理论重量增加量δm2,则说明原料液体8的温度过低,控制器3将控制坩埚2提升原料液体8的温度;

若晶体7实际重量增加量δm1小于晶体7放肩理论重量增加量δm2,则说明原料液体8的温度过高,控制器3将控制坩埚2降低原料液体8的温度。

在控制芯片31内设定,晶体7直径d、坩埚2直径d、晶体7密度ρ1、熔液密度ρ2、提拉装置1的底部与晶体7的顶部之间的直线距离h,以及提拉装置1的移动速度v,同时,控制芯片31还根据称重器32获得晶体7实际重量增加量δm1,控制器3测得晶体7的放肩角α;

控制芯片31通过提拉装置1的移动速度v,根据公式a=vt获得单位时间提拉高度a,随着时间的推移,根据公式l1=σa,获得提拉装置1的整体提拉高度l1;

控制芯片31根据公式获得等径液位下降高度b2;

此时,b=b2;

因此,控制芯片31根据公式l2=σ(a+b),获得晶体7实际长度l2,

控制芯片31根据公式d=2tg(a+b+h),获得晶体7的等径部分的直径d;再根据公式:获得晶体7等径理论重量增加量δm2;

控制芯片31对比晶体7实际重量增加量δm1和晶体7等径理论重量增加量δm2;

若晶体7实际重量增加量δm1大于晶体7等径理论重量增加量δm2,则说明原料液体8的温度过低,控制器3将控制坩埚2提升原料液体8的温度;

若晶体7实际重量增加量δm1小于晶体7等径理论重量增加量δm2,则说明原料液体8的温度过高,控制器3将控制坩埚2降低原料液体8的温度。

优选的,控制芯片通过公式获得即时晶体直径d1;并将d1和d2输出,操作人员可直观的观察到晶体的直径的生长过程是否偏离预计要求。

其中,δm1为单位时间内晶体实际重量的增加量,δm为单位时间内,晶体放肩部分重量的理论增加量,δm2为单位时间内,晶体等径部分重量的理论增加量。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

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