一种AlN纳米线的制备方法与流程

文档序号:16746898发布日期:2019-01-28 13:44阅读:382来源:国知局
一种AlN纳米线的制备方法与流程

本发明涉及纳米材料制备技术领域,尤其涉及一种aln纳米线的制备方法。



背景技术:

aln是典型的三族氮化物半导体功能材料,在电子、冶金、化工和功能陶瓷等高性能要求的领域有着广阔的应用前景。aln作为重要的第三代半导体材料,具有最高的直接带隙、高热导率、高熔点、高硬度、优良的化学稳定性和无毒性等特点,在深紫外发光、紫外探测器二极管、平板显示器和深紫外激光器等光电器件中有重要的应用,因此研究一维aln纳米线的制备及性能具有重要意义。

但现有的一维aln纳米材料的制备工艺仍不完善,单一的制备方法无法满足直径分布均匀、生长取向一致、大的生成量等要求。因此一维aln纳米线的制备工艺需要继续研究,产量需要提高。



技术实现要素:

为了解决现有技术中存在的问题,本发明提出了一种aln纳米线的制备方法,以便在简化工艺流程、缩短制备时间的前提下,使aln纳米线仍保持较高的纯度和转化率,使生产成本显著降低,具有大规模量产的潜力。

为了实现上述目的,本发明提出了一种aln纳米线的制备方法,包括以下步骤:

步骤1、混料:将ti粉、al粉和c粉进行混合,其中,ti粉的摩尔百分含量为50%~60%,al粉的摩尔百分含量为25%~30%,c粉的摩尔百分含量为10%~25%;

步骤2、研磨:在球磨罐中加入研磨球,将步骤1所得的原料放入球磨罐中,在球磨罐中倒入酒精直至将原料完全盖住,把球磨罐放入球磨机中进行固定,湿磨8h~12h;

步骤3、烘干:将研磨后的球磨罐中的物质在水浴环境下进行烘干,烘干温度为50℃~60℃,烘干时间为12h~18h;

步骤4、过筛:将步骤3中烘干后的物质倒入筛子中进行过筛,以将研磨球与原料进行分离;

步骤5、烧结与取料:将步骤4所得的原料在氮气环境下进行烧结,烧结温度达到1300℃或以上时,保持该温度0.5h~4h,即保温时间为0.5h~4h,通过气相沉积法制备aln纳米线,之后当温度下降后,即可取出烧结产物,即aln纳米线。

优选的是,在所述步骤2中,采用两个或者四个球磨罐,每个球磨罐中放入等量的研磨球,将步骤1所得的原料平均的放入球磨罐中,将球磨罐放入球磨机中进行固定,各球磨罐沿对角线放置在球磨机中。

优选的是,在所述步骤3中,采用水浴锅进行烘干。

优选的是,在所述步骤5中,将步骤4所得的原料置于容器中,将该容器置于炉中在氮气环境下进行烧结,烧结温度达到1300℃或以上时,保持该温度0.5h~4h,通过气相沉积的方法使aln在螺位错界面上的露头点所形成的台阶上生长,从而得到aln纳米线。

优选的是,所述容器采用刚玉舟。

优选的是,采用真空管式炉或可控气氛真空电子炉。

优选的是,在所述步骤1中加入辅助剂,所述辅助剂采用b2o3。

优选的是,当加入辅助剂b2o3后,步骤5中的保温时间取1h。

本发明的该方案的有益效果在于通过上述aln纳米线的制备方法制备的纳米线为aln单晶,其直径范围在100-200nm,长度范围以5-10μm居多。本发明采用化学气相沉积法使aln纳米线生长,避免了c纳米管模板法所需要的苛刻反应条件,省略了辅助生长法繁琐的步骤。本发明所涉及的aln纳米线的制备方法能够在简化工艺流程、缩短制备时间的前提下,使aln纳米线仍保持较高的纯度和转化率,使生产成本显著降低,具有大规模量产的潜力。

附图说明

图1示出了通过本发明所涉及的制备方法制备的aln纳米线的拉曼光谱。

图2示出了制备的aln纳米线的tem图,其中图(a)、(b)、(c)、(d)为低分辨的aln纳米线的tem图,图(e)为高分辨的aln纳米线的tem图,图(f)为选区电子衍射花样图。

图3示出了aln纳米线的元素分布结果图,其中图(a)为元素分布结果的测试位置图,图(b)为n元素分布图,图(c)为al元素分布图。

图4示出了aln纳米线的能谱图,其中c元素来自于c膜。

图5示出了不同保温时间制备产物的xrd图谱,其中图(a)的保温时间是0.5h,图(b)的保温时间是1h,图(c)的保温时间是2h,图(d)的保温时间是4h。

图6示出了有/无辅助剂b2o3、保温时间不同的情况下,aln纳米线的sem图,其中图(a)为有辅助剂b2o3、保温时间是0.5h的情况下,图(b)为有辅助剂b2o3、保温时间是1h的情况下,图(c)为有辅助剂b2o3、保温时间是2h的情况下,图(d)为有辅助剂b2o3、保温时间是4h的情况下,图(e)为无辅助剂b2o3、保温时间是0.5h的情况下,图(f)为无辅助剂b2o3、保温时间是1h的情况下,图(g)为无辅助剂b2o3、保温时间是2h的情况下,图(h)为无辅助剂b2o3、保温时间是4h的情况下。

图7示出了有/无辅助剂b2o3的情况下,制备产物的xrd图谱,其中图(a)为有b2o3的情况下,图(b)为无b2o3的情况下。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步的说明。

本发明所涉及的aln纳米线的制备方法包括以下步骤:

步骤1、混料:将ti粉、al粉和c粉进行混合,其中,ti粉的摩尔百分含量为50%~60%,al粉的摩尔百分含量为25%~30%,c粉的摩尔百分含量为10%~25%。本发明在步骤1中混入c粉和ti粉,其中c粉能够增加aln纳米线的产量,有效的消除纯al粉烧结出现的陶瓷化现象,ti粉能均匀化aln纳米线的直径,也能够消除纯al粉烧结出现的陶瓷化现象。

步骤2、研磨:在球磨罐中加入研磨球,将步骤1所得的原料放入球磨罐中,在球磨罐中倒入酒精直至将原料完全盖住,把球磨罐放入球磨机中进行固定,湿磨8h~12h。在本实施例中,采用两个或者四个球磨罐,每个球磨罐中放入等量的研磨球,将步骤1所得的原料平均的放入球磨罐中,将球磨罐放入球磨机中进行固定,各球磨罐沿对角线放置在球磨机中。

步骤3、烘干:将研磨后的球磨罐中的物质在水浴环境下进行烘干,烘干温度为50℃~60℃,烘干时间为12h~18h。在本实施例中,采用水浴锅进行烘干。

步骤4、过筛:将步骤3中烘干后的物质倒入筛子中进行过筛,以将研磨球与原料进行分离,所述筛子采用80~200目的筛子。

步骤5、烧结与取料:将步骤4所得的原料在氮气环境下进行烧结,烧结温度达到1300℃或以上时,保持该温度0.5h~4h,即保温时间为0.5h~4h,通过气相沉积法制备aln纳米线,之后当温度下降后,即可取出烧结产物,即aln纳米线。具体的烧结与取料过程如下:将步骤4所得的原料置于容器中,所述容器可采用耐高温的刚玉舟,将该容器置于炉中在氮气环境下进行烧结,在本实施例中,可采用真空管式炉或可控气氛真空电子炉。烧结温度达到1300℃或以上时,保持该温度0.5h~4h,具体的实施例中,保温时间可取0.5h、1h、2h、4h,通过气相沉积的方法使aln在螺位错界面上的露头点所形成的台阶上生长,从而得到aln纳米线;之后自然降温至100℃以下即可取出烧结产物。

为了改善产物的缠结情况,使aln纳米线外表粗糙趋向延缓,在步骤1中可加入辅助剂b2o3。当加入辅助剂b2o3后,保温时间取1h为最佳。

通过本发明所涉及的aln纳米线的制备方法制备的纳米线为aln单晶,其直径范围在100-200nm,长度范围以5-10μm居多。本发明采用化学气相沉积法使aln纳米线生长,避免了c纳米管模板法所需要的苛刻反应条件,省略了辅助生长法繁琐的步骤。本发明所涉及的aln纳米线的制备方法能够在简化工艺流程、缩短制备时间的前提下,使aln纳米线仍保持较高的纯度和转化率,使生产成本显著降低,具有大规模量产的潜力。

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