一种直拉单晶硅炉炉底排气结构的制作方法

文档序号:16225912发布日期:2018-12-11 20:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种直拉单晶硅炉炉底排气结构,其特征在于,包括:炉体和排气孔;

所述炉体为圆柱状;

所述排气孔设置在所述炉体的底部;所述排气孔沿所述炉体的轴向设置;

所述排气孔至少为两个;至少两个所述排气孔以所述炉体的轴线为中心对称分布。

2.根据权利要求1所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构,其特征在于,还包括:排气管;

所述排气管设置在所述排气孔上;与所述排气孔通过螺纹连接,用于导出气体。

3.根据权利要求2所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构,其特征在于,

所述排气管通过螺纹调节能够贯穿所述排气孔。

4.根据权利要求3所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构,其特征在于,

所述排气管的下端固定地设置有卡座;

所述卡座设置在所述排气管的外壁上;所述卡座被卡接,用于旋转所述排气管。

5.根据权利要求4所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构,其特征在于,

所述卡座与所述炉体之间设置有限位构件,用于限制所述排气管伸入所述排气孔的长度。

6.根据权利要求5所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构,其特征在于,

所述限位构件为“U”形调节垫;

所述“U”形调节垫插接在所述排气管上,位于所述卡座与所述炉体之间。

7.根据权利要求6所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构,其特征在于,

所述排气孔的上部为漏斗状;

所述排气孔的下部为螺纹孔。

8.根据权利要求7所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构,其特征在于,

所述炉体上固定地设置有加热器和保温罩;

所述保温罩套设在所述加热器的外围;

所述保温罩与所述加热器之间具有间隙;

所述排气孔能够部分覆盖所述加热器和所述保温罩之间的间隙。

9.根据权利要求8所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构,其特征在于,

所述炉体的底部固定地设置有电极;所述电极为四个;四个所述电极均匀地分布在所述炉体的底部;

所述排气孔设置在所述电极之间。

10.根据权利要求9所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构,其特征在于,

所述排气管的顶部为倒锥形;所述排气管的顶部在沿轴向向上延伸中,所述排气管的内径逐渐变大。

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