一种单晶炉真空系统的制作方法

本实用新型涉及单晶硅制备领域，尤其涉及一种单晶炉真空系统。

背景技术：

目前，单晶炉的抽真空系统通常是采用油泵来实现对炉体内抽真空，但采用油泵往往出现漏油等问题，清理费劲且造成环境污染。本实用新型设计了一种单晶炉真空系统，采用真空泵代替传统的油泵，具有整个系统不耗油、无滴漏，对空气和环境零污染等特点。同时在该真空系统中还设置了除尘设备，在抽真空过程中，能有效过滤杂质，实现在线清灰，降低炉内杂质对真空泵的影响，延长了真空泵的连续工作时间。同时，该系统使用气动球阀实现炉体与真空泵之间的开合，实现直接用真空泵对炉压进行控制，减少了传统系统中蝶阀的使用，降低了成本。此系统还带有充气阀，在单晶炉停炉后球阀优先关闭，真空泵再关闭，这样可防止除尘设备内的杂质倒吸进炉体污染单晶，球阀关闭后，通过打开充气阀对除尘罐进行充气待达到正常压力时，可打开清料口对除尘设备杂质进行清理。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种清洁无污染、过滤效果好的单晶炉真空系统。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种单晶炉真空系统，其关键技术在于：其包括与单晶炉连接的真空管道、设置在所述真空管道上的球阀和充气阀、与所述真空管道连接的除尘设备及与所述除尘设备连接的真空泵，所述真空管道与所述除尘设备的底部连接，所述真空泵与所述除尘设备的上部连接；

所述除尘设备包括除尘罐和设置在所述除尘罐内的过滤装置，所述过滤装置包括设置在所述除尘罐顶部的电磁阀、通过弹簧吊装在所述除尘罐内的过滤网及设置在所述除尘罐下部的落灰仓，所述过滤网的开口向下；所述真空管道和真空泵分别通过波纹管连接在所述过滤网的下方和上方，所述真空管道通过波纹管与所述落灰仓连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述过滤网上部设置在上滤网法兰上，下部设置在下滤网法兰上，所述上滤网法兰与所述弹簧连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述除尘罐上设置有保养口和除尘口，所述保养口与所述过滤网相对应，所述除尘口与所述落灰仓相对应。

作为本实用新型的进一步改进，所述除尘罐上还设置有行走轮。

作为本实用新型的进一步改进，所述真空泵为干式螺旋真空泵。

作为本实用新型的进一步改进，所述球阀为气动球阀。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：

本实用新型所述的单晶炉抽真空系统，使用干式螺旋真空泵来对炉体进行抽真空，具有不耗油、无滴漏，对空气环境零污染的特点。除尘设备上设置有电磁阀、上滤网法兰、弹簧、过滤网、保养口、下滤网法兰、除尘口、落灰仓等，在真空系统工作一段时间后，电磁阀瞬间通电，把上滤网法兰吸起，吸起后电磁阀断电过滤网落下，实现上下震动，通过过滤网上下震动，把过滤网内的杂质震落到落灰仓内。除尘设备安装在单晶炉的真空管道与真空泵之间，用波纹管进行连接，实现在线清灰，降低炉内杂质对真空泵的影响，延长了真空泵的连续工作时间。此真空系统使用气动球阀实现炉体与真空泵之间的开合，实现直接用真空泵对炉压进行控制，减少传统系统中蝶阀的使用，降低了成本。此系统还带有充气阀，在单晶炉停炉后球阀优先关闭，真空泵再关闭，这样可防止除尘设备内的杂质倒吸进炉体污染单晶，当球阀关闭后，可以打开充气阀对除尘罐进行充气，待达到正常压力时，可打除尘口对除尘罐内的杂质进行清理。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型除尘设备的结构示意图。

其中：1真空管道、2球阀、3充气阀、4真空泵、5除尘罐、6电磁阀、7弹簧、8过滤网、9落灰仓、10波纹管、11上滤网法兰、12下滤网法兰、13保养口、14除尘口、15行走轮。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对实用新型进行清楚、完整的描述。

如图1-2所示的一种单晶炉真空系统，其包括与单晶炉连接的真空管道1、设置在所述真空管道1上的球阀2和充气阀3、与所述真空管道1连接的除尘设备及与所述除尘设备连接的真空泵4，所述真空管道1与所述除尘设备的底部连接，所述真空泵4与所述除尘设备的上部连接。本实用新型中，所述真空泵4为干式螺旋真空泵，所述球阀2为气动球阀。使用干式螺旋真空泵来对炉体进行抽空，具有不耗油、无滴漏，对空气环境零污染的特点。

球阀2实现炉体与真空泵4之间的开合，实现直接用真空泵4对炉压进行控制，减少传统系统中蝶阀的使用，降低了成本。充气阀3在单晶炉停炉后球阀2优先关闭，真空泵4再关闭，这样可防止除尘设备内的杂质倒吸进炉体污染单晶，当球阀2关闭后，可以打开充气阀3对除尘罐5进行充气，待达到正常压力时，可打除尘口14对除尘罐5内的杂质进行清理。

所述除尘设备包括除尘罐5和设置在所述除尘罐5内的过滤装置，所述过滤装置包括设置在所述除尘罐5顶部的电磁阀6、通过弹簧7吊装在所述除尘罐5内的过滤网8及设置在所述除尘罐5下部的落灰仓9，所述过滤网8的开口向下。所述真空管道1和真空泵4分别通过波纹管10连接在所述过滤网8的下方和上方，所述真空管道1通过波纹管10与所述落灰仓9连接，真空泵4吸引单晶炉内气体的走向由除尘罐5下部进入，然后经过过滤网8，过滤后的气体再经过真空泵4。

本实用新型中，所述过滤网8上部设置在上滤网法兰11上，下部设置在下滤网法兰12上，所述上滤网法兰11与所述弹簧7连接。上下法兰在有效固定过滤网8的同时，可有效避免过滤网8在整个系统工作过程中晃动影响过滤效果。

所述除尘罐5上设置有保养口13和除尘口14，所述保养口13与所述过滤网8相对应，所述除尘口14与所述落灰仓9相对应。保养口13方便对过滤网8进行养护，除尘口14方便对除尘罐5内的过滤杂质进行清理。此外在所述除尘罐5上还设置有行走轮15，方便除尘罐5的移动。

当电磁阀6瞬间通电，可把上滤网法兰11吸起，吸起后电磁阀6断电过滤网8落下，实现其上下震动，通过过滤网8上下震动，把过滤网8内的杂质震落到落灰仓9内。除尘设备安装在单晶炉的真空管道1与真空泵4之间，来实现在线清灰，降低炉内杂质对真空泵4的影响，延长了真空泵4的连续工作时间。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围。