专利名称：直拉单晶炉导流筒的制作方法
技术领域：
·[0001]本实用新型涉及一种半导体材料制备设备，尤其涉及一种直拉单晶炉导流筒。
背景技术：
现有技术中的导流筒采用石墨材料，其中外导流筒和内导流筒均为一体成型结构，使用现有技术中的这种采用石墨材料的内导流筒可能造成晶体中碳氧含量超标，且使拉速显著降低，故需进行改造完善。
发明内容本实用新型的主要目的是提供一种直拉单晶炉导流筒，旨在降低晶体中碳氧含量、提高拉速。本实用新型实施例提供了一种直拉单晶炉导流筒，包括固定连接的外导流筒和内导流筒，所述内导流筒的材质为钥，其包括形成筒状的至少两导流瓣，相邻两所述导流瓣固定连接。优选地，所述内导流筒还包括固定相邻两所述导流瓣的连接片，所述连接片上设有第一连接孔，所述第一连接孔与所述导流瓣两侧设置的第二连接孔适配；铆钉或螺钉穿过所述第一连接孔和第二连接孔将所述导流瓣和连接片固定。优选地，所述连接片的数目与所述导流瓣的数目相等。优选地，各所述导流瓣的大小相同。所述导流瓣为5个。优选地，所述直拉单晶炉导流筒还包括上固定环，所述上固定环套接在所述内导流筒的上端，其上设置有与所述外导流筒螺接或者铆接的第三连接孔。优选地，所述外导流筒的下端设置有凸起，所述直拉单晶炉导流筒还包括下固定环，所述下固定环包括套接在所述内导流筒的下端的内环及与所述凸起适配的外环。本实用新型通过将内导流筒的材质选为钥，且内导流筒包括固定连接的至少两导流瓣，相对现有技术中的导流筒采用石墨材料的技术方案，本实用新型直拉单晶炉导流筒具有降低晶体中碳氧含量、提高拉速的优点且使用寿命更长、由多个导流瓣形成筒状的内导流筒使得本实用新型制造更方便。
图I为本实用新型直拉单晶炉导流筒优选实施例的结构示意图；图2为图I中直拉单晶炉导流筒沿A-A方向的剖示图；图3为图I中导流瓣的结构示意图；图4为图I中连接片的结构不意图；图5为图2中B部分的放大示意图。本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。本实用新型提供了一种直拉单晶炉导流筒，参照图1，图I为本实用新型直拉单晶炉导流筒优选实施例的结构示意图。本实用新型直拉单晶炉导流筒包括外导流筒I和内导流筒2，外导流筒I和内导流筒2固定连接，其中内导流筒2包括至少两导流瓣21，至少两导流瓣21形成筒状，相邻两导流瓣21固定连接。在优选实施例中，内导流筒2包括5个导流瓣21，5个导流瓣依次固定连接形成筒状。当然在其他变形实施例中，内导流筒2所包括的导流瓣21的数目可以为任意值，在此不作限制。在本实用新型中，对各导流瓣21的大小相同或不相同不做限制，优选地，各导流瓣21的大小相同。本实用新型通过将内导流筒2的材质选为钥，且内导流筒2包括固定连接的至少两导流瓣21，相对现有技术中的导流筒采用石墨材料的技术方案，本实用新型直拉单晶炉导流筒具有降低晶体中碳氧含量、提高拉速的优点且使用寿命更长、由多个导流瓣21形成筒状的内导流筒使得本实用新型制造更方便。结合参照图2、图3和图4，图2为图I中直拉单晶炉导流筒沿A-A方向的剖示图，图3为图I中导流瓣的结构示意图，图4为图I中连接片的结构示意图。本实用新型直拉单晶炉导流筒中的内导流筒2还包括连接片22，连接片22用于固定相邻两导流瓣21，导流瓣21的两侧分别设置有第二连接孔211，连接片22上设置有分别与相邻两导流瓣21上的第二连接孔211适配的第一连接孔221，铆钉或螺钉穿过第二连接孔211和第一连接孔221将导流瓣21和连接片22固定。连接片22位于内导流筒2的内侧或者外侧均可，对此不做限制。在具体实施例中，连接片22的数目与导流瓣21的数目相等。当然连接片22的数目也可与导流瓣21的数目不相等，如连接片22的数目大于导流瓣21的数目，具体地，相邻两导流瓣21的上端、中部和下端分别通过连接片22固定；再如连接片22的数目小于导流瓣21的数目，具体地，当5个导流瓣21形成筒状构成内导流筒2时，形成筒状的5个导流瓣21的上端、中部和下端分别通过连接片22固定，此时只需3个连接片22，所以对连接片22的数目、连接片22的设置位置以及连接片22的长短都不做限制。再次参照图2，直拉单晶炉导流筒还包括上固定环31，上固定环31套接在内导流筒2的上端，上固定环31上还设置有与外导流筒I螺接或者铆接的第三连接孔，如此内导流筒2和外导流筒I不仅通过上固定环31固定连接，而且使内导流筒2和外导流筒I不接触，减少了内导流筒2和外导流筒I之间的热传导，进而使晶棒散热性增加，即增加了本实用新型直拉单晶炉导流筒的纵向梯度，使拉速进一步提升。另外，在升降本实用新型直拉单晶炉导流筒时，外部吊环等可以通过钩设(或其他连接方式)于第三连接孔中，以便实现直拉单晶炉导流筒的升降。结合参照图5，图5为图2中B部分的放大示意图。直拉单晶炉导流筒还包括下固定环32，外导流筒I的下端设置有凸起11，下固定环32成阶梯状的内环321和外环322，其中内环321套接在内导流筒2的下端，外环322与凸起11适配，如此内导流筒2和外导流筒I不仅进一步通过下固定环32固定连接，而且还可使内导流筒2和外导流筒I不接触，减少了内导流筒2和外导流筒I之间的热传导，进而使晶棒散热性增加，即增加了本实用新
4型直拉单晶炉导流筒的纵向梯度，使拉速进一步提升。以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
权利要求1.一种直拉单晶炉导流筒，包括固定连接的外导流筒和内导流筒，其特征在于，所述内导流筒的材质为钥，其包括形成筒状的至少两导流瓣，相邻两所述导流瓣固定连接。
2.根据权利要求I所述的直拉单晶炉导流筒，其特征在于，所述内导流筒还包括固定相邻两所述导流瓣的连接片，所述连接片上设有第一连接孔，所述第一连接孔与所述导流瓣两侧设置的第二连接孔适配；铆钉或螺钉穿过所述第一连接孔和第二连接孔将所述导流瓣和连接片固定。
3.根据权利要求2所述的直拉单晶炉导流筒，其特征在于，所述连接片的数目与所述导流瓣的数目相等。
4.根据权利要求3所述的直拉单晶炉导流筒，其特征在于，各所述导流瓣的大小相同。
5.根据权利要求4所述的直拉单晶炉导流筒，其特征在于，所述导流瓣为5个。
6.根据权利要求I至5任一项所述的直拉单晶炉导流筒，其特征在于，还包括上固定环，所述上固定环套接在所述内导流筒的上端，其上设置有与所述外导流筒螺接或者铆接的第三连接孔。
7.根据权利要求6所述的直拉单晶炉导流筒，其特征在于，所述外导流筒的下端设置有凸起，所述直拉单晶炉导流筒还包括下固定环，所述下固定环包括套接在所述内导流筒的下端的内环及与所述凸起适配的外环。
专利摘要本实用新型公开了一种直拉单晶炉导流筒，包括固定连接的外导流筒和内导流筒，所述内导流筒的材质为钼，其包括形成筒状的至少两导流瓣，相邻两所述导流瓣固定连接。通过将内导流筒的材质选为钼，且内导流筒包括固定连接的至少两导流瓣，相对现有技术中的导流筒采用石墨材料的技术方案，本实用新型直拉单晶炉导流筒具有降低晶体中碳氧含量、提高拉速的优点且使用寿命更长、由多个导流瓣形成筒状的内导流筒使得本实用新型制造更方便。
文档编号C30B15/00GK202730296SQ20122038621
公开日2013年2月13日 申请日期2012年8月6日 优先权日2012年8月6日
发明者皎晶晶 申请人:深圳市石金科技有限公司