一种单晶炉真空系统的制作方法

文档序号:18430639发布日期:2019-08-13 21:44阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶炉真空系统,其特征在于:其包括与单晶炉连接的真空管道(1)、设置在所述真空管道(1)上的球阀(2)和充气阀(3)、与所述真空管道(1)连接的除尘设备及与所述除尘设备连接的真空泵(4),所述真空管道(1)与所述除尘设备的底部连接,所述真空泵(4)与所述除尘设备的上部连接;

所述除尘设备包括除尘罐(5)和设置在所述除尘罐(5)内的过滤装置,所述过滤装置包括设置在所述除尘罐(5)顶部的电磁阀(6)、通过弹簧(7)吊装在所述除尘罐(5)内的过滤网(8)及设置在所述除尘罐(5)下部的落灰仓(9),所述过滤网(8)的开口向下;所述真空管道(1)和真空泵(4)分别通过波纹管(10)连接在所述过滤网(8)的下方和上方,所述真空管道(1)通过波纹管(10)与所述落灰仓(9)连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空系统,其特征在于:所述过滤网(8)上部设置在上滤网法兰(11)上,下部设置在下滤网法兰(12)上,所述上滤网法兰(11)与所述弹簧(7)连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉真空系统,其特征在于:所述除尘罐(5)上设置有保养口(13)和除尘口(14),所述保养口(13)与所述过滤网(8)相对应,所述除尘口(14)与所述落灰仓(9)相对应。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉真空系统,其特征在于:所述除尘罐(5)上还设置有行走轮(15)。

5.根据权利要求1、2或4任一项所述的一种单晶炉真空系统,其特征在于:所述真空泵(4)为干式螺旋真空泵。

6.根据权利要求1、2或4任一项所述的一种单晶炉真空系统,其特征在于:所述球阀(2)为气动球阀。

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