一种石英摆片窗口的低应力成形方法与流程

文档序号:24726760发布日期:2021-04-16 16:15阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种石英摆片窗口的低应力成形方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤1、配制预蚀刻溶液并计算刻蚀速率;步骤2、绘制加工不同窗口所需的切割图形;步骤3、使用co2激光器切割石英摆片挠性平桥附近的窗口,用预蚀刻溶液将切割好的石英摆片清洗干净;步骤4、使用绿光激光器切割石英摆片上的c形槽和中心圆孔,用预蚀刻溶液将切割好的石英摆片清洗干净;步骤5、在显微镜下检查石英摆片的表面质量,其表面应无明显缺陷。2.根据权利要求1所述的石英摆片窗口的低应力成形方法,其特征在于:所述步骤1中的预蚀刻溶液由水、氢氟酸、醋酸、盐酸、无水乙醇及阳离子表面活性剂混合而成。3.根据权利要求2所述的石英摆片窗口的低应力成形方法,其特征在于:所述预蚀刻溶液的配置质量比为:水:氢氟酸:醋酸:盐酸:无水乙醇:阳离子表面活性剂=1:0.1~0.2:0.1~0.5:0.05~0.025:0.0125~0.05:0.001~0.002。4.根据权利要求1所述的石英摆片窗口的低应力成形方法,其特征在于:所述溶蚀速率的计算方法为:取一个石英摆片,测量其厚度记为a1,将石英摆片放入预蚀刻溶液内进行双面蚀刻,在蚀刻时间t后,取出石英摆片,测量其厚度记为a2,通过下述公式计算刻蚀速率:其中h为石英摆片被蚀刻的厚度h=a1‑
a2。5.根据权利要求1所述的石英摆片窗口的低应力成形方法,其特征在于:所述步骤2的具体实现方法为:在co2激光切割机上绘制挠性平桥附近三窗口的切割图形,在绿光激光切割机上绘制c形槽和中心圆孔的切割图形。6.根据权利要求4所述的石英摆片窗口的低应力成形方法,其特征在于:所述步骤3的具体实现方法为:将石英摆片放入co2激光器的切割工装内,切割程序按切割图形设置的路径进行切割,切割完的石英摆片放到预刻蚀溶液中进行刻蚀清洗,洗除挂渣和石英蒸汽沾污。7.根据权利要求4所述的石英摆片窗口的低应力成形方法,其特征在于:所述步骤4的具体实现方法为:将切割完三窗口的石英摆片放入绿光激光器的切割工装内,切割程序按切割图形设置的路径进行切割,切割完的石英摆片放到预刻蚀溶液中进行刻蚀清洗,洗除石英粉末。8.根据权利要求6或7所述的石英摆片窗口的低应力成形方法,其特征在于:所述石英摆片的蚀刻清洗时间的计算方法为:确定石英摆片需要蚀刻的厚度h1,根据计算出的刻蚀速率v,通过以下公式计算出刻蚀清洗时间t:t=h1/v。
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