技术总结
本发明涉及一种石英摆片窗口的低应力成形方法，包括以下技术特点：配制预蚀刻溶液并计算刻蚀速率；绘制加工不同窗口所需的切割图形；使用CO2激光器切割石英摆片挠性平桥附近的窗口，用预蚀刻溶液将切割好的石英摆片清洗干净；使用绿光激光器切割石英摆片上的C形槽和中心圆孔，用预蚀刻溶液将切割好的石英摆片清洗干净；在显微镜下检查石英摆片的表面质量，按要求其表面应无明显的坑点、划痕等缺陷。本发明通过分别使用CO2激光器与绿光激光器切割出石英摆片上的各窗口，实现了石英摆片窗口的低应力成形加工。的低应力成形加工。的低应力成形加工。
技术研发人员：杨稳 李立勇 王宪东 刘宝凤 高岩
受保护的技术使用者：中国船舶重工集团公司第七0七研究所
技术研发日：2021.01.08
技术公布日：2021/4/17