专利名称：生产线系统和在该系统中使用的自动仓库的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种制造滤色器片类板状制品的生产线系统，特别是，涉及一种利用收纳多枚基板(板状材料)的盒体来制造板状制品的生产线系统和在该系统中使用的各种物流装置(堆垛提升方式的自动仓库或基板收纳装置、基板排出装置)。
背景技术：
对于滤色器片的制造工序，包含有称作(1)铬成膜、(2)黑色矩阵的形成、(3)具有规定图案的各色(红色、绿色和蓝色)的着色层的形成、(4)保护层的形成、(5)柱状体的形成、(6)ITO层的形成的多个处理工序。
在此，作为实现如此制造工序的生产线系统，以往通常使用一种将实现上述各处理工序的多个处理线一笔写下状直列连接的串联型生产线系统。另外，对于滤色器片的制造方法具有各种方法，但最一般的制造方法是利用光刻(影印)法，此时，上述的(2)～(5)的处理工序作为包含光刻加工的处理工序(制版工序)实现。另外，在制版工序中，需要进行光敏抗蚀剂(着色感光材料)的涂布、干燥、预烘干、曝光、显影、冲洗、干燥和后烘干的复杂的加工。
可是，在利用光刻法的滤色器片的制造工序中，作为包含光刻加工的处理工序的制版工序含有多个，根据作为滤色器片制造的制品的种类，需要将实现这些多个制版工序的多个制版线的配置结构加以变更的场合较多。即，在近年来的滤色器片中，对于每个制品存在着不同的式样(黑色矩阵的有无或者黑色矩阵的种类(铬或树脂)、保护层的有无、柱状体的有无、ITO层的有无等)，在将这些制品用同一生产线系统制造时，需要更替制造工序中含有的多个制版工序的序号，或消除特定的制版工序。另外，在最近的滤色器片中，也存在着在MVA的阻挡层上直立设置柱状体的复杂形状的制品，将如此制品与通常的制品一同在同一生产线系统上制造时，需要在制造工序中添加新的制版工序。
但是，在上述以往的串联型的生产线系统中，由于实现各处理工序的多个处理线直列连接，所以存在着不能将实现制版工序的多个制版线的配置结构等简单变更的问题。并且此时，尽管也可适应于在各制版线间配置合适的旁路，但此时只采取旁路程度的剩余的设置面积，存在着生产线系统全体的占有面积过大的问题。
另外，在利用光刻法的滤色器片的制造工序中，含有光刻加工的处理工序(制版工序)通常因异物附着于光掩膜上等所致的制品缺陷(共通缺陷等)的发生或装置的故障，必须暂时停止实现制版工序的制版线的情况较多。另外，由于制造制版工序不同的式样(使用感光材料或线宽、膜厚等)的制品之际，需要事先决定加工条件(由于即使因感光材料批量等也有微妙不同时，也需要每日确认当日的加工条件)，在实现制版工序的制版线中，先前的制品制造完全结束后，必须进行另外的确定下个制品的加工条件的处理。另外，制版工序通常需要许多的处理时间，对于生产线系统全体容易成为速率决定阶级。
可是，在上述的串联型的生产线系统中，由于实现各处理工序的多个处理线直列连接，在实现特定的制版工序的制版线停止、在该制版线中确定加工条件的处理进行的同时，该制版线成为速率决定阶级的场合，存在着会影响所有的处理线、并且生产线系统全体的运转率降低的问题。
此外，利用光刻法的滤色器片的制造工序正如上述由多个复杂的加工构成，在任意一种加工(特别是制版工序中的各加工)中，存在着制品容易发生缺陷的问题。特别是，近年来的滤色器片的尺寸非常大，存在着制品的合格品率容易降低的问题。
以往，在这种滤色器片的制造工序中，作为提高制品的合格率的手级，通常使用了改善各加工中使用的装置的使用条件等的加工改善手级，但其改善程度有限，在尺寸较大的滤色器片的制造中，存在着不能充分地提高制品的合格率的问题。为此，在以往提出了一种例如在生产线系统中装配检查机，通过除去由检查机检测出缺陷的不良制品，来提高制品的合格率的技术手级(参照日本特开平7-281171号公报)。
可是，在上述日本特开平7-281171号公报所记载的方法中，尽管制品的合格率可有某种程度的提高，但其检查内容主要以个别缺陷为前提，存在着其提高程度有限的问题。另外，装配有检查机的生产线系统的结构由于是将多个处理工序直列连接，在由检查机检测出缺陷的场合，为了查明缺陷发生的原因或排除等，必须暂时停止生产线系统全体的情况很多，因此存在着维持生产线的高运转率困难的问题。
发明内容
本发明克服了上述的问题，其目的在于提供一种能够将实现含有光刻加工的处理工序(制版工序)的多个制版线的配置结构等进行柔性变更的高运转率的生产线系统。
另外，本发明的另一目的在于提供一种能够维持生产线的高运转率、同时格外提高制品的合格率的生产线系统。
本发明的又一目的在于提供一种能够有效地防止制造过程中基板的破损等、同时又能够与基板的尺寸变更柔性对应的生产线系统。
此外，本发明的再一目的在于提供一种可在生产线系统中使用的、能够缩短盒体的出库作业中的生产间隔时间，同时结构简单且装置布置的制约小的自动仓库。
本发明的进一步目的在于提供一种可在生产线系统中使用的、能够缩短基板收纳或排出作业中的生产间隔时间的基板收纳装置和基板排出装置。
作为本发明的第1解决方案，提供了一种利用收纳多枚基板的盒体来制造滤色器片的生产线系统，其特征在于，具有作为将收纳多枚基板的多个基板收纳后的盒体或空的盒体加以保管的盘心装置，该装置具有保管多个盒体的储料箱和将保管于该储料箱内的盒体在该储料箱内的多个取送位置与任意的盒体保管位置间输送的堆垛起重机；与所述盘心装置的所述各取送位置连接、相对于收纳在由所述盘心装置保管的基板收纳后的盒体内的基板进行用于制造滤色器片的各种处理的多个处理线；以及与所述盘心装置的所述各取送位置相对应设置的、将基板从定位于该各取送位置的基板收纳后的盒体中相对于与该各取送位置相对应的各处理线一枚一枚排出，或者将在该各处理线进行了处理的处理结束的基板一枚一枚地向定位于该各取送位置的空的盒体内收纳的基板取送机构；所述多个处理线包含有实现含有光刻加工的处理工序的多个主制版线。
另外，在上述的第1解决方案中，所述多个处理线最好含有实现与所述各主制版线相同的处理工序的预备的制版线。
此外，在上述的第1解决方案中，在所述多个处理线中含有的所述多个主制版线中至少一个中最好装有对成为处理对象的多个基板的同一位置上发生的共通缺陷加以检测的共通缺陷检查机。
另外，在上述的第1解决方案中，所述多个处理线最好包含有将由所述主制版线中含有的所述共通缺陷检查机检测出共通缺陷的基板加以再生的基板再生线。
再者，在上述的第1解决方案中，所述多个处理线最好包含有将通过该各处理线进行了处理的处理结束的基板加以检查的基板检查线，该基板检查线具有将多个基板的不同位置上发生的个别缺陷加以检测的个别缺陷检查机。在此，所述基板检查线最好还具有将由所述个别缺陷检查机检测出的所述各基板的个别缺陷加以修正的基板修正装置。
另外，在上述的第1解决方案中，所述多个处理线最好包含有将由所述主制版线中含有的所述共通缺陷检查机或由所述基板检查线中含有的所述个别缺陷检查机检测出共通缺陷或个别缺陷的基板加以再生的基板再生线。
此外，在上述的第1解决方案中，所述盘心装置最好具有多个所述储料箱和多个所述堆垛起重机，所述各储料箱中至少配置一个堆垛起重机，所述各储料箱经由在配置于该各储料箱中的堆垛起重机间进行盒体交接的交接装置相互连接。在此，所述交接装置最好为作为设置于所述各储料箱上的堆垛起重机的代替机发挥功能的堆垛起重机。而所述多个储料箱最好设置成雁行状。
作为本发明的第2解决方案，提供了一种利用收纳多枚基板的盒体来制造板状制品的生产线系统，其特征在于，具有作为将收纳多枚基板的多个基板收纳后的盒体或空的盒体加以保管的盘心装置，该装置具有保管多个盒体的储料箱和将保管于该储料箱内的盒体在该储料箱内的多个取送位置与任意的盒体保管位置间输送的堆垛起重机；与所述盘心装置的所述各取送位置连接、相对于收纳在由所述盘心装置保管的基板收纳后的盒体内的基板进行各种处理的多个处理线；以及与所述盘心装置的所述各取送位置相对应设置的、将基板从定位于该各取送位置的基板收纳后的盒体中相对于与该各取送位置相对应的各处理线一枚一枚排出，或者将在该各处理线进行了处理的处理结束的基板一枚一枚地向定位于该各取送位置的空的盒体内收纳的基板取送机构；由所述盘心装置保管和输送的所述盒体具有左右侧面框架和架设于这些左右侧面框架间、沿着以水平状态支承多枚基板的不同高度的多级水平面延伸的多条钢丝绳。
另外，在上述的第2解决方案中，所述多个处理线最好进行制造滤色器片的各种处理。
作为本发明的第3解决方案为，提供了一种对收纳多枚基板的盒体进行处置的自动仓库，其特征在于，具有保管多枚盒体的储料箱，将保管于储料箱内的盒体在该储料箱内的取送位置与任意的盒体保管位置间输送的堆垛起重机，与所述储料箱的所述取送位置相对应设置的、相对基板输送机构定位该盒体以在所述基板输送机构间进行将来自该盒体的基板排出或将基板朝盒体收纳的盒体定位机构，以及在所述储料箱与所述盒体定位机构间输送盒体的盒体输送机构；所述储料箱的所述取送位置具有从储料箱搬出盒体的出库位置，和将盒体向储料箱搬入的、与所述出库位置独立的入库位置；所述盒体定位机构移动至与所述储料箱的所述出库位置相对应的盒体供给位置和与所述入库位置相对应的盒体排出位置中任一位置，在所述盒体供给位置，从所述盒体输送机构拉入盒体，在所述盒体排出位置，将盒体向所述盒体输送机构送出。
另外，在上述的第3解决方案中，最好是，所述盒体为将所述多枚基板呈水平状态收纳的机构，所述盒体定位机构为以与基板的收纳间隔相对应的间距升降所述盒体的盒体升降装置。
作为本发明的第4解决方案为，提供了一种将基板收纳于盒体中的基板收纳装置，其特征在于，具有将盒体移动到进行盒体的供给的盒体供给位置、进行基板向盒体中收纳的基板收纳位置和进行盒体的回收的盒体回收位置中的任一位置上的盒体移动机构，以及在所述基板收纳位置，进行将基板向由所述盒体移动机构定位的盒体中收纳的基板搬入机构。
作为本发明的第5解决方案为，提供了一种将基板从盒体中排出的基板排出装置，其特征在于，具有将盒体移动到进行盒体的供给的盒体供给位置、进行基板从盒体中排出的基板排出位置和进行盒体的回收的盒体回收位置中的任一位置上的盒体移动机构，以及在所述基板排出位置，进行将基板从由所述盒体移动机构定位的盒体中排出的基板搬出机构。
根据本发明的第1解决方案，由于进行制造滤色器片的各种处理的多个处理线经由基板取送机构与保管收纳多枚玻璃基板的多个盒体的盘心装置相连接，可容易地变更多个制版线的配置构成等，该多个制版线用于实现包含有进行黑色矩阵的形成或各色着色层的形成等的光刻加工的处理工序(制版工序)，能够根据作为滤色器片制造的制品的种类，更替这些多个制版工序的顺序，或者添加或消除特定的制版工序。
另外，根据本发明的第1解决方案，由于堆垛提升方式的盘心装置同实现与各主制版线同样的处理工序的预备的制版线连接，即使在包含光刻加工的处理工序(制版工序)中、在制品中发生缺陷(共通缺陷等)，需要将实现其制版工序的制版线暂时停止时，也能够防止生产线系统全体的运转率的降低。另外，通过在制版工序中，使用预备的制版线进行确定必要的加工条件，在与前制品的制造的时间并行地确定下个制品的加工条件，在该预备的制版线上，可继续下个制品的制造，能够防止生产线系统全体的运转率的降低。此外，通过将在成为速率决定阶级的制版线实现的制版工序也可与该制版线一同在预备的制版线上实现，可解除速率决定阶级，能够防止生产线系统全体的运转率的降低。
此外，根据本发明的第1解决方案，通过在作为生产线的处理线中、实现包含有光刻加工的处理工序的处理线(制版线)中装入对成为处理对象的多个基板的同一位置上发生的共通缺陷加以检测的共通缺陷检查机，能够尽可能早期地检测出成为不良制品的发生原因的共通缺陷，能够提高制品的合格率。此时，根据本发明的第1技术方案，由于作为生产线的处理线经由基板取送机构与保管收纳多枚玻璃基板的多个盒体的堆垛提升方式的盘心装置相连接，即使在包含有进行黑色矩阵的形成或各色着色层的形成等的光刻加工的处理工序(制版工序)中的任一情况下，因异物对光掩膜的附着等发生共通缺陷时，只将发生该共通缺陷的处理工序快速停止就可解除问题的同时，能够使用进行其他处理工序直到为保管于盘心装置的储料箱内前的处理工序的处理的、处理结束的玻璃基板来继续制造。为此，能够维持生产线高的运转率的同时，提高制品的合格率。
再者，根据本发明的第1解决方案，盘心装置与将由作为生产线的处理线进行处理的处理结束的玻璃基板加以检查的处理线(基板检查线)连接，通过由个别缺陷检查机将在多个玻璃基板的不同位置上发生的个别缺陷加以检测，即使对于与共通缺陷不同的个别缺陷的发生原因也能够适当地排除，能够提高制品的合格率。另外，在处理线(基板检查线)中，通过基板修正装置，将由个别缺陷检查机检测出的各玻璃基板的个别缺陷加以修正，能够提高制品的实质的成品率。
此外，根据本发明的第1解决方案，通过盘心装置与将通过共通缺陷检查机或个别缺陷检查机检测出共通缺陷或个别缺陷的玻璃基板加以再生的处理线(基板再生线)连接，即使在不能由基板修正装置修正的个别缺陷由个别缺陷检查机检测出的情况下，该玻璃基板也可由处理线(基板再生线)的基板再生装置再生，能够提高制品实质上的成品率。另外，即使在由共通缺陷检查机检测出共通缺陷时，也可通过将该玻璃基板由处理线(基板再生线)的基板再生装置再生，能够提高制品实质上的成品率。并且，此时，由于成为最终不良制品的玻璃基板不会送入后个工序，防止了不必要的负荷施加于后工序上，能够提高生产线系统全体的实质上的运转率。
此外，根据本发明的第1解决方案，通过将堆垛提升方式的盘心装置由借助于进行盒体交接的交接装置而相互连接的多个储料箱构成，可将设置面积不同的处理线以必要的最小限度的设备和任意的配置结构就可柔性地设置。并且此时，作为交接装置，通过使用作为设置于所述各储料箱上的堆垛起重机的代替机发挥功能的堆垛起重机，即使在堆垛起重机发生故障时，也可使用作为该代替机的堆垛起重机继续在各储料箱中的处理，能够提高生产线系统全体的稳定性。
根据本发明的第2解决方案，由于作为由生产线系统的盘心装置保管和输送的盒体，使用了由架设于左右的侧面框架间的多个钢丝绳而将基板呈水平状态支承绳式盒体，在由盘心装置的堆垛起重机等输送盒体时的振动能够由钢丝绳有效地吸收，即使在使用大型基板制造滤色器片等时，也可防止收纳于盒体内的基板破损或损伤。另外，盒体中能够收纳至可收纳的最大尺寸的任意尺寸的基板，即使在使用同一生产线系统制造多种类的滤色器片等时，也不必与基板的尺寸相适地更换盒体，能够有效地对应于少量多品种的制造。此外，与销式的盒体等相比能够收纳更大量的基板，作为具有盘心装置的生产线系统的优点，能够进一步提高处理工序暂时停止的对应能力。
根据本发明的第3解决方案，由于可在生产线系统中使用的自动仓库中，使相对基板输送机构定位盒体以在自动仓库与所述基板输送机构间进行将来自该盒体的基板排出或将基板朝盒体收纳的盒体定位机构，在与储料箱的出库位置相对应的盒体供给位置和与入库位置相对应的盒体排出位置间移动，在盒体供给位置，从盒体输送机构拉入盒体的同时，在盒体排出位置将盒体向盒体输送机构送出，能够在基板相对盒体进行排出或收纳期间，使下个盒体邻接并处于待机状态，能够缩短盒体入出库作业中的生产节拍时间。另外，由于通过在与储料箱的出库位置相对应的盒体供给位置同与入库位置相对应的盒体排出位置间的盒体定位机构的移动，进行盒体的交接，不必具有转换盒体的移动方向的特别的方向转换机构，并且，由于光电印刷机也可只与盒体供给位置和盒体排出位置相对应的2个位置相对应，能够以简单的结构较小地制约装置布置。此外，由于在进行盒体接受的盒体供给位置与盒体排出位置间移动的盒体定位机构在与基板输送机一体的架台上相对移动的结构，与将盒体输送机构和基板输送机直接连接以避免两者干涉的场合相比，结构更加简单，维修性也得以提高。
根据本发明的第4解决方案，在可用于生产线系统的基板收纳装置中，通过盒体移动机构，将盒体移动到盒体供给位置、基板收纳位置和盒体回收位置中的任一位置上，而在基板收纳位置，通过基板搬入机构，将基板向由盒体移动机构定位的盒体中收纳。为此，由于基板朝盒体的收纳不过只在盒体移动期间停止，而在基板朝盒体收纳结束的时刻，盒体从基板收纳位置向盒体回收位置移动的同时，盒体从盒体供给位置向基板收纳位置移动，能够缩短基板的收纳作业中的生产节拍时间。
根据本发明的第5解决方案，在可用于生产线系统的基板排出装置中，通过盒体移动机构，将盒体移动到盒体供给位置、基板排出位置和盒体回收位置中的任一位置上，而在基板排出位置，通过基板搬出机构，将基板从由盒体移动机构定位的盒体中排出。为此，由于来自盒体的基板的排出不过只在盒体移动期间停止，而在基板从盒体排出结束的时刻，盒体从基板排出位置向盒体回收位置移动的同时，盒体从盒体排出位置向盒体回收位置移动，能够缩短基板排出作业中的生产节拍时间。
图1为示意地示出本发明第1实施例的生产线系统的全体构成图。
图2为示意地示出图1所示的生产线系统的要部构成的俯视图。
图3为示意地示出沿图2所示的生产线系统的III-III线的剖视图。
图4为示意地示出沿图2所示的生产线系统的IV-IV线的剖视图。
图5为图2所示的生产线系统中的基板输送机动作的说明图。
图6为示意地示出本发明的第2实施例的生产线系统的全体构成图。
图7为示出图1和图6所示的生产线系统的布置设计一例的视图。
图8为示出图1和图6所示的生产线系统的布置设计另一例的视图。
图9和图10为示出图8所示的盘心装置(具有多个储料箱的盘心装置)中储料箱之间的连接状态的另一例。
图11为示意地示出本发明第3实施例的生产线系统的要部构成的俯视图。
图12为详细地示出图11所示的生产线系统的堆垛起重机与收纳玻璃基板的盒体的侧视图。
图13为图12所示的堆垛起重机的正剖视图。
图14为示出图11所示的生产线系统的基板取送机构一例的透视图。
图15为示出图11所示的生产线系统的基板取送机构另一例的透视图。
图16为示意地示出本发明的第4实施例的自动仓库和将玻璃基板搬出状态的俯视图。
图17为示意地示出图16所示的自动仓库的侧视图。
图18为示意地示出本发明的第4实施例的自动仓库和将玻璃基板搬入状态的俯视图。
图19为示意地示出图18所示的自动仓库的侧视图。
图20为示意地示出本发明的第5实施例的基板收纳装置和将玻璃基板搬入状态的俯视图。
图21为示意地示出本发明的第6实施例的基板排出装置和将玻璃基板搬出状态的俯视图。
具体实施例方式
下面，参照附图对本发明的实施例加以说明。
第1实施例如图1所示，本发明第1实施例的生产线系统1具有将收纳多枚玻璃基板的多个收纳基板后的盒体或空的盒体加以保管的堆垛提升方式的盘心装置10，将盘心装置10的多个取送位置(搬出位置C1和搬入位置C2)分别连接、并相对于将保管盘心装置10内的基板收纳后的盒体内收纳的玻璃基板进行制造滤色器片的各种处理的多个处理线20，30，...70，90。另外，盘心装置10在水平设置面上以直线状延伸方式设置，各处理线20，30，...70，90在设置面上从盘心装置10的侧部以倒U字状横向外伸方式设置。
首先，用图1，对处理线20，30，...70，90的构成进行说明。正如图1所示，各处理线20，30，...70，90具有由在水平状态下输送玻璃基板的输送机等构成的输送通路15、设置于各输送通路15上的各种处理装置21，31，...96。
其中，处理线20为在玻璃基板上进行铬成膜的处理线，处理装置(铬成膜装置21)设置于输送通路15上。
处理线30为将在玻璃基板上成膜的铬形成图案并形成黑色矩阵的处理线，处理装置(光敏抗蚀剂涂布装置31、预烘干装置32、曝光装置33、显影装置34、清洗装置35、蚀刻装置36、剥离装置37和后烘干装置38)设置于输送通路15上。另外，黑色矩阵由树脂构成时，实施由光敏抗蚀剂涂布装置31、预烘干装置32、曝光装置33、显影装置34、清洗装置35、和后烘干装置38进行的处理。此外，处理线30与后述的处理线40R，40G，40B，50，60一同构成实现包含光刻的处理工序的主制版线。
处理线40R，40G，40B分别为在玻璃基板上形成有规定图案的各色(红色、绿色或蓝色)的着色层的处理线，处理装置(光敏抗蚀剂(着色感光材料)涂布装置41，预烘干装置42、曝光装置43、显影装置44、清洗装置45和后烘干装置46)设置于输送通路15上。
处理线50为在玻璃基板上形成保护层的处理线，与处理线40R，40G，40B同样，处理装置(光敏抗蚀剂涂布装置51，预烘干装置52、曝光装置53、显影装置54、清洗装置55和后烘干装置56)设置于输送通路15上。
处理线60为在玻璃基板上形成柱状体的处理线，与处理线40R，40G，40B同样，处理装置(光敏抗蚀剂涂布装置61，预烘干装置62、曝光装置63、显影装置64、清洗装置65和后烘干装置66)设置于输送通路15上。
处理线70为在玻璃基板上形成ITO层的处理线，处理装置(ITO成膜装置71)设置于输送通路15上。另外，制造STN型的滤色器片时，需要进行ITO层的图案形成，此时，处理线70可设有与处理线30同样的处理装置(涂布装置、预烘干装置、曝光装置、显影装置、清洗装置、蚀刻装置、剥离装置和后烘干装置)。
处理线90为实现与处理线40R，40G，40B，50，60同样的处理工序的预备的制版线，在输送通路15上，设有与处理线40R，40G，40B，50，60同样的处理装置(涂布装置91，预烘干装置92、曝光装置93、显影装置94、清洗装置95和后烘干装置96)。另外，处理线90能够作为处理线40R，40G，40B，50，60的代替线使用以外，也能够作为在MVA的阻挡层上制造柱状体形状的制品时必要的添加线使用。并且后者时，实现由处理线50，60，90进行的处理。
另外，作为与盘心装置10连接的处理线，除了上述的处理线20，30，...，70，90以外，能够设置切断玻璃基板、进行各种检查和使玻璃基板再生外的其他处理线。
下面，用图2～图5，说明图1所示的生产线系统1中的盘心装置10和基板取送机构(基板搬出机构16a和基板搬入机构16b)的构成。
正如图2所示，盘心装置10具有保管多个盒体81的储料箱11，将保管于储料箱11内的盒体81在储料箱11内输送的堆垛起重机12。
在此，储料箱11如图3和图4所示，具有使载置盒体81的多个机架11a配置为上下2级的构造。另外，堆垛起重机12为，通过在沿着储料箱11延伸的轨道13上朝左右方向行走的同时，使升降框架(未图示)朝上下方向移动，以在储料箱11内的各取送位置(搬出位置C1和搬入位置C2)与上下2级的机架11a中的任意的机架(任意的盒体保管位置)之间输送盒体18。在此，尽管在轨道13的单侧设有1台储料箱11，但并不限于此，可在轨道13的两侧设置2台储料箱11。另外，尽管储料箱11的机架11a配置成上下2级，但并不限于此，储料箱11的机架11a开口可配置为上下3级以上。此外，在轨道13上尽管只有1台堆垛起重机12行走，但并不限于此，在轨道13上可有2台以上的堆垛起重机行走。
在此，在储料箱11内的各取送位置(搬出位置C1和搬入位置C2)分别设有基板取送机构(基板搬出机构16a和基板搬入机构16b)，如图2和图3所示，通过各基板搬出机构16a，从定位于各搬出位置C1的基板收纳后的盒体81内，相对于与各搬出位置C1相对应的各处理线(输送通路15)一枚一枚地排出玻璃基板82，同时，如图2和图4所示，通过各基板搬入机构16b，将在各处理线(输送通路15)进行处理后的玻璃基板82一枚一枚地收纳于在各搬入位置C2定位的空的盒体81内。
另外，各基板搬出机构16a具有使盒体81升降的盒体升降装置17a，和从由盒体升降装置17a升降的收纳基板后的盒体81中向输送通路15中一枚一枚搬出玻璃基板82的基板输送机18a。另外，各基板搬出机构16a具有在搬出位置C1的出库位置A1或入库位置B1与盒体升降装置17a之间进行盒体81交接的盒体输送装置(未图示)。
另外，各基板搬入机构16b具有使盒体81升降的盒体升降装置17b，和从输送通路15向由盒体升降装置17b升降的盒体81中一枚一枚搬入玻璃基板82的基板输送机18b。另外，各基板搬入机构16b具有在搬入位置C2的出库位置A2或入库位置B2与盒体升降装置17b之间进行盒体81交接的盒体输送装置(未图示)。
此外，如图5所示，基板输送机18a，18b具有支承架87和设置在支承架87上的滚柱88。另外，盒体81具有上板83，下板84，连接这些上板83和下板84方式安装的多个支柱85，和在支柱85间左右(垂直于图5的纸面的方向)跨绕的多个钢丝绳86，通过设置在同一高度的多个钢丝绳86，在图5所示的状态下，收纳多个玻璃基板82。另外，盒体81由盒体升降装置(参照图2)升降，通过形成于下板84上的开口84a而进入的基板输送机18a，18b的滚柱88与收纳于盒体81内的玻璃基板82的下面接触，玻璃基板82从盒体81向输送通路15搬出，或从输送通路15向盒体81搬入。
下面，通过图1至图5，对如此构成的生产线系统1的动作进行说明。另外，盘心装置10和各处理线20，30，...，70，90与控制装置(未图示)连接，以下的动作自动地进行。
首先，作为初期状态，在盘心装置10的储料箱11内，保管有收纳未处理的多枚玻璃基板82的多个收纳基板后的盒体81和多个空的盒体81。
在该状态下，各处理线20，30，...，70，90通过盘心装置10的堆垛起重机12，将保管于储料箱11内的收纳基板后的盒体81中特定的盒体81(将直到进行所希望的处理工序的处理的玻璃基板加以收纳的盒体)取出，定位于搬出位置C1。另外，各处理线20，30，...，70，90通过盘心装置10的堆垛起重机12，将保管于储料箱11内的空的盒体81定位于搬入位置C2。
此时，滤色器片的制造通过使用各处理线20，30，...，70，90，相对玻璃基板62根据规定的顺序进行顺次处理而实现，在各处理线20，30，...，70，90的搬出位置C1处，将保管于储料箱11内的收纳基板后的盒体81中、进行直到之前的处理工序的处理的玻璃基板加以收纳的盒体81有选择地定位。另外，处理线20，30，...，70，90的滤色器片的制造例如按照(1)铬成膜(处理线20)、(2)黑色矩阵的形成(处理线30)、(3)红色着色层的形成(处理线40R)、(4)绿色着色层的形成(处理线40G)、(5)蓝色着色层的形成(处理线40B)、(6)保护层的形成(处理线50)、(7)柱状体的形成(处理线60)、(8)ITO层的形成(处理线70)的顺序进行，此时，在各处理线20，30，...，70，90的搬出位置C1处，收纳有保管于储料箱11内的收纳基板后的盒体81中、从上述(1)～(8)的顺序看去进行直到目前的处理工序的处理的玻璃基板的盒体81被有选择地定位。
在此，在各处理线20，30，...，70，90中，通过设置于搬出位置C1处的基板搬出机构16，从定位于搬出位置C1处的收纳基板后的盒体81中相对处理线(输送通路15)一枚一枚地排出玻璃基板82，在各处理线20，30，...，70，90处，相对玻璃基板82进行规定的处理。
具体为，如图2所示，首先，将由盘心装置10的堆垛起重机12从储料箱11的特定机架11a取出的收纳基板后的盒体81向搬出位置C1的出库位置A1输送。在此，到达出库位置A1的收纳基板后的盒体81通过盒体输送装置(未图示)向盒体升降装置17a输送。然后，盒体升降装置17a在图5所示的状态下，使盒体81每一级一级地下降的同时，通过将基板输送机18a的滚柱88与位于盒体81内最下级的玻璃基板82的下面接触，以从盒体81中向输送通路15中一枚一枚地搬出玻璃基板82。此时，从盒体81搬出玻璃基板82期间，接下来应当排出玻璃基板82的另外的收纳基板后的盒体81朝出库位置A1输送，并处于待机状态。
另外，搬出所有的玻璃基板82的空的盒体81通过盒体升降装置17a上升的同时，朝入库位置B1前移动，并由盒体输送装置(未图示)，从盒体升降装置17a向入库位置B1输送。然后，向入库位置B1输送的空的盒体81作为收纳用的盒体，借助于堆垛起重机12，保管于储料箱11内的空的机架11a内。
此外，在各处理线20，30，...，70，90中，通过设置于搬入位置C2处的基板搬入机构16b，在处理线(输送通路15)进行处理的处理结束后的玻璃基板82一枚一枚地收纳于定位在搬入位置C2的空的盒体81内。
具体为，如图2所示，首先，将由盘心装置10的堆垛起重机12从储料箱11的特定机架11a取出的空的盒体81向搬入位置C2的出库位置A2输送。在此，到达出库位置A2的空的盒体81通过盒体输送装置(未图示)向盒体升降装置17b输送。然后，盒体升降装置17b在图5所示的状态下，使盒体81每一级一级地上升的同时，接受从输送通路15搬入的玻璃基板82，通过将基板输送机18a的滚柱88与玻璃基板82的下面接触，以从输送通路15向盒体81中一枚一枚地搬入玻璃基板82。此时，将玻璃基板82收纳于盒体81内的期间，接下来应当收纳玻璃基板82的另外的空的盒体81朝出库位置A2输送，并处于待机状态。
另外，收纳所有的玻璃基板82的收纳基板后的盒体81通过盒体升降装置17b朝入库位置B2前移动，并由盒体输送装置(未图示)，从盒体升降装置17b向入库位置B2输送。然后，向入库位置B2输送的收纳基板后的盒体81借助于堆垛起重机12，保管于储料箱11内的空的机架11a内。
根据本发明的如此第1实施例，由于将收纳多枚玻璃基板82的多个盒体81加以保管的堆垛提升方式的盘心装置10，通过基板取送机构(基板搬出机构16a和基板搬入机构16b)，与进行制造滤色器片的各种处理的多个处理线20，30，...，70，90连接，从而对包含黑色矩阵的形成或各色着色层的形成等的光刻加工的处理工序(制版工序)的实现的处理线40R、40G、40B、50、60的配置构成可容易地变更，并根据作为滤色器片制造的制品的种类，可更换这多个制版工序的顺序和添加或消除特定的制版工序。
另外，根据本发明的第1实施例，由于堆垛提升方式的盘心装置10同实现与处理线(主制版线)40R、40G、40B、50、60同样的处理工序的处理线(预备的制版线)90连接，从而在包含光刻加工的处理工序(制版工序)中，即使在制品上产生缺陷(共通缺陷等)、需要将实现该制版工序的制版线暂时停止时，也可在处理线90中继续该制版工序，能够防止生产线系统全体的运转率的降低。另外，在制版工序中，通过用处理线90进行必要的加工条件的确定，与前面的制品制造同时，在确定下个制品的加工条件方面，可在该处理线90中，继续下个制品的制造，能够防止生产线系统全体的运转率的降低。此外，在成为速率决定阶级的制版线中实现的制版工序也与该制版线一同在处理线90中实现，可消除速率决定阶段，能够防止降低生产线系统全体的运转率。
另外，在上述的第1实施例中，只是处理线(预备的制版线)90与盘心装置10这一对连接，通过该处理线90，根据需要，实现与各制版线40R、40G、40B、50、60同样的处理工序，但并不限于此，可设有任意数目的预备的制版线，例如，各制版线40R、40G、40B、50、60每个与预备的制版线连接，通过各预备的制版线，实现与各制版线40R、40G、40B、50、60同样的处理工序。
另外，在上述的第1实施例中，盘心装置10由一个储料箱11构成，但并不限于此，盘心装置10可由多个储料箱构成。
此外，在上述的第1实施例中，作为从收纳基板后的盒体81向输送通路15一枚一枚搬出玻璃基板82，或者从输送通路15向盒体81一枚一枚搬入玻璃基板82的基板输送机构，使用了图5所示的基板输送机18a，18b，但并不限于此，可以使用带臂的机器人，将玻璃基板82装载于臂上，并从盒体81的正面插入，通过将玻璃基板82从臂上向钢丝绳86转移，一枚一枚地收纳玻璃基板82，另外，从盒体81的正面插入臂，通过将玻璃基板82从钢丝绳86上转移到臂上，以一枚一枚地排出玻璃基板82。
第2实施例下面，用图6说明本发明的第2实施例。另外，本发明的第2实施例除了(1)在实现含有光刻加工的处理工序的制版线中，装配有检测出在成为处理对象的多个玻璃基板的同一位置发生的共通缺陷的共通缺陷检查机方面，(2)设有将通过各处理线进行处理的处理结束的基板加以检查(根据需要加以修正)的基板检查线方面，(3)设有将通过制版线中含有的共通缺陷检查机或基板检查线中含有的个别缺陷检查机检测出的共通缺陷或个别缺陷的基板加以再生的基板再生线方面，其他与上述的第1实施例大致相同。在本发明的第2实施例中，与上述第1实施例相同的部分标以相同的符号，在此省略对其详细说明。
正如图6所示，本发明的第2实施例的生产线系统1’具有将收纳多枚玻璃基板的多个收纳基板后的盒体或空的盒体加以保管的堆垛提升方式的盘心装置10，分别与盘心装置10的多个取送位置(搬出位置C1和搬入位置C2)连接、相对于将保管有盘心装置10内的基板收纳后的盒体内加以收纳的玻璃基板进行各种处理的处理线20，30，...，70，90，100，110。另外，处理线20，30，...，70，90为进行制造滤色器片的各种处理的制造线，处理线100为将由处理线20，30，...，70，90处理的处理结束的玻璃基板加以检查的基板检查线，处理线110将检测出各种缺陷(在玻璃基板的同一位置产生共通缺陷或在基板不同的位置产生的个别缺陷)的玻璃基板加以再生的基板再生线。另外，盘心装置10在水平的设置面上呈直线状延伸地设置，各处理线20，30，...，70，90，100，110在设置面上，从盘心装置10的侧部，呈倒U字形横向外伸设置。
首先，用图6，对处理线20，30，...，70，90，100，110的构成加以说明。正如图6所示，各处理线20，30，...，70，90，100，110具有将玻璃基板在水平状态下输送的输送机等构成的输送通路15，和设置在各输送通路15上的各种处理装置21，31，...，101，102，111。
在此，处理线20，30，...，70，90的基本构成与上述的第1实施例相同，但在处理线30，40R，40G，40B，50，60，70的输送通路15上，装配有将在成为处理对象的多个玻璃基板的同一位置上产生的共通缺陷加以检测出的共通缺陷检查机39，47，57，67，77。
其中，用装配进形成黑色矩阵的处理线30中的共通缺陷检查机39，进行与规定的检查项目(端面尺寸、穿透率和外观检查等)有关的全部检查。另外，外观检查通过图像处理装置等，比较邻接的象素图像的差分而成。
另外，用装配进形成各色(红色、绿色或蓝色)的着色层的处理线40R、40G、40B中的共通缺陷检查机47，进行与规定的检查项目(外观检查等)有关的抽样检查(例如10枚取1枚的比例)。另外，外观检查通过图像处理装置等，比较与邻接的矩阵部分相当的图像的差分而成。
此外，用装配进形成保护层的处理线50中的共通缺陷检查机57，进行与规定的检查项目(斑点检查和共通缺陷检查等)有关的全部检查或抽样检查。另外，斑点检查通过图像处理装置等，将反射光和透过光进行AD变换，并比较大面积(较长周期)下的邻接部图像的差分而成。另外，共通缺陷检查通过图像处理装置等，将反射光和透过光进行AD变换，并比较一象素程度的小面积(较短周期)下的邻接部图像的差分而成。
另外，用装配进形成柱状体的处理线60中的共通缺陷检查机67，进行与规定的检查项目(尺寸检查和柱状体的脱落检查等)有关的全部检查或抽样检查。另外，柱状体的脱落检查通过图像处理装置等，比较邻接的柱状体图像的差分而成。
而用装配进形成ITO层的处理线70中的共通缺陷检查机77，对规定的检查项目(气泡的形成状态、规定位置的错开、分光特性、板阻力和膜厚等)进行全部检查或抽样检查。
另外，由共通缺陷检查机39，47，57，67，77获得的检查结果，在控制装置(未图示)中以带有与各玻璃基板相对应的形式加以管理，并根据该检查结果，确定各玻璃基板之后的处理(处理的继续或玻璃基板的再生等)。在此，根据检查结果，使发生共通缺陷的处理线停止，进行共通缺陷发生原因的查明或排除等。具体例如，与形成ITO层的处理线70为例说明时，在进行制造STN型的滤色器片的图案形成时，进行光掩膜的清洗后更换。另外，在进行制造TFT型的滤色器片的图案形成(表示部整个面为膜并且在除去电极的取出部外、外周部不形成ITO的图案形成)时，进行ITO成膜时使用的载体的清洗或更换。
另一方面，处理线100为对由处理线20，30，...，70，90进行处理后的玻璃基板进行检查的基板检查线，在输送通路15上设有处理装置(检测出多个玻璃基板的不同位置上产生的个别缺陷的个别缺陷检查机101，以及将由个别缺陷检查机101检测出的各玻璃基板的个别缺陷加以修正的基板修正装置102)。
在此，用处理线100的个别缺陷检查机101，对规定的检查项目(斑点检查、外观检查、缺陷高度测定、坐标观察)进行个别检查。
各检查项目的详细内容如下。
(1)斑点检查由图像处理装置等取出单色(同色)图像，检测出由对一象素的共通缺陷检查不能检测出的浓淡缺陷。另外，通过改变检查方法或比较领域的面积、方向(纵和横)，从小的缺陷到斑点缺陷均能检测出。
(2)外观检查由图像处理装置取出透过光图像，通过比较同色的邻接象素图像的差分，检测出空白或异物、黑色矩阵缺陷、里面玻璃伤、里面玻璃污物等。另外，由图像处理装置等取出反射光图像，通过比较同色的邻接象素图像，检测出突起或膜面剥离等。
(3)缺陷高度测定用触针式的测定装置测定由上述(2)的外观检查检测出的突起(在反射光图像下，突起因漫反射而被观察成黑色)的高度。
(4)坐标观察根据由上述(2)的外观检查检测出的结果，由显微镜检查需要测定时判断的缺陷和部位的坐标。由此，确定之后的处理(无需修正、需要修正和不可能修正等)。
处理线110为将由共通缺陷检查机39，47，57，67，77或个别缺陷检查机101检测出共通缺陷或个别缺陷的玻璃基板加以再生的基板再生线，在输送通路15上设有处理装置(将检测出共通缺陷或个别缺陷的玻璃基板加以再生的基板再生装置111)。
另外，作为与盘心装置10连接的处理线，除了上述的处理线20，30，...，70，90，100，110以外，也可设置用于切断玻璃基板的其他处理线。
在此，如此构成的生产线系统1’的动作与上述的第1实施例相同，在与盘心装置10及各处理线20，30，...，70，90，100，110连接的控制装置(未图示)的控制下，自动地进行与滤色器片的制造、检查和再生等有关的各种处理。
具体为，滤色器片的制造通过使用作为生产线的处理线20，30，...，70，相对玻璃基板82根据规定的顺序进行顺序处理而成，在各处理线20，30，...，70的搬出位置C1处，将保管于储料箱11内的基板收纳后的盒体81中、进行直到之前的处理工序的处理的玻璃基板加以收纳的盒体8 1有选择地定位。另外，处理线20，30，...，70所致的滤色器片的制造例如按照(1)铬成膜(处理线20)，(2)黑色矩阵的形成(处理线30)，(3)红色着色层的形成(处理线40R)，(4)绿色着色层的形成(处理线40G)，(5)蓝色着色层的形成(处理线40B)，(6)保护层的形成(处理线50)，(7)柱状体的形成(处理线60)，(8)ITO层的形成(处理线70)的顺序进行。
另外，作为生产线的处理线20，30，...，70中、实现含有光刻加工的处理工序的处理线(制版线)40R、40G、40B、50、60中装入检测出在成为处理对象的多个玻璃基板82的同一位置所发生的共通缺陷的共通缺陷检查机39，47，57，67，以根据上述的规定的检查项目进行检查。并且，依据该检查结果，使产生共通缺陷的处理线停止，进行共通缺陷的发生原因的查明或排除等。此时，对于停止的处理线以外的处理线，使用保管于盘心装置10的储料箱11内的、进行直到之前处理工序的处理的处理结束的玻璃基板82，进行制造。
另外，作为生产线的处理线20，30，...，70的处理全部结束后，或在其途中，由处理线20，30，...，70进行处理的处理结束的玻璃基板82送入处理线(基板检查线)100。然后，通过个别缺陷检查机101，根据上述规定的检查项目检测出在多个玻璃基板82的不同位置产生的个别缺陷，按照需要，由基板修正装置102，修正由个别缺陷检查机101检测出的各玻璃基板82的个别缺陷。
此外，作为生产线的处理线20，30，...，70的处理全部结束后，或在其途中，由共通缺陷检查机39，47，57，67，77或个别缺陷检查机101检测出共通缺陷或个别缺陷的玻璃基板82送入基板再生线(处理线110)。然后，通过基板再生装置111，将形成于玻璃基板82上的各种层浸渍在酸和碱溶液中等并除掉，以再生玻璃基板82。
根据本发明的第2实施例的如此结构，由于作为生产线的处理线20，30，...，70中、实现含有光刻加工的处理工序的处理线(制版线)30、40R、40G、40B、50、60、70中装入检测出在成为处理对象的多个玻璃基板82的同一位置所发生的共通缺陷的共通缺陷检查机39，47，57，67，77，能够将成为大量不合格品产生原因的共通缺陷尽可能及早地检测出，能够提高制品的合格率。此时，根据本发明的第2实施例，由于在将收纳多枚玻璃基板82的多个盒体81加以保管的堆垛提升方式的盘心装置10中，通过基板取送机构(基板搬出机构16a和基板搬入机构16b)，与作为生产线的处理线20，30，...，70连接，从而在包含有进行黑色矩阵的形成或各色着色层的形成等的处理工序(制版工序)中任意一个工序下，即使因异物对光掩膜的附着等发生共通缺陷时，只快速停止发生该共通缺陷的处理工序来解除问题的同时，其他的处理工序能够使用处理结束的、进行直到保管于盘心装置10的储料箱11内的处理工序的处理的玻璃基板82来继续制造工序。为此，维持生产线的高运转率的同时，能够提高制品的合格率。
此外，根据本发明的第2实施例，由于盘心装置10与用于对通过作为生产线的处理线20，30，...，70进行处理的处理后的玻璃基板82加以检查的处理线(基板检查线)100连接，由个别缺陷检查机101检测出多个玻璃基板82的不同位置发生的个别缺陷，从而即使对于与共通缺陷不同的个别缺陷的发生原因也可适当地排除，能够提高制品的合格率。另外，在处理线(基板检查线)100中，由于用基板修正装置102修正由个别缺陷检查机101检测出的各玻璃基板82的个别缺陷，从而能够提高制品的实质上的成品率。
另外，根据本发明的第2实施例，由于盘心装置10与用于将通过共通缺陷检查机39，47，57，67，77或个别缺陷检查机101检测出共通缺陷或个别缺陷的玻璃基板82加以再生的处理线(基板再生线)110连接，从而即使在由基板修正装置102不能修正的个别缺陷由个别缺陷检查机101检测出的情况下，通过由处理线(基板再生线)110的基板再生装置111再生该玻璃基板82，也能够提高制品的实质上的成品率。另外，即使由共通缺陷检查机39，47，57，67，77检测出共通缺陷的场合，通过由处理线(基板再生线)110的基板再生装置111再生该玻璃基板82，也能够提高制品的实质上的成品率。并且此时，由于不会将成为最终不合格品的玻璃基板82送入后续工序，能够防止在后续工序施加不需要的负荷，能够提高生产线系统全体的实质上的运转率。
另外，在上述的第1和第2实施例中，图1和图6所示的生产线系统1，1’可在实际的工厂能够按如下的布置设计导入。以下，以图6所示的生产线系统1’的场合为例加以说明。
图7和图8示出将图6所示的生产线系统1’导入实际的工厂时的布置设计例的视图。另外，在图7和图8中，示出了只将图6所示的处理线20，30，...，70，90，100，110中、铬成膜线20、黑色矩阵形成线30、着色层形成线40R、40G、40B、保护层形成线50、柱状体形成线60、基板检查线100和基板再生线110设置在工厂的地板150上的场合。
正如图7所示，进行生产线系统1’的布置设计时，以需要的原料容量等的关系，在确定盘心装置10的储料箱11的尺寸方面，考虑地板150的面积或形状，来确定处理线20，30，...，60，100，110的配置结构。
此时，处理线20，30，...，60，100，110根据其种类，设置面积不同，另外，即使在同样的作为制版线的处理线30，...，60中，例如在黑色矩阵形成线30中，需要比着色层形成线40R，40G，40B大的设置面积。另外，除了制造滤色器片的作为生产线的处理线20，30，...，60以外，也与进行检查或修正处理的基板检查线100和再生玻璃基板的基板再生线110等的其他处理线连接。
为此，如此设置面积不同的所有的处理线20，30，...，60，100，110与由一个储料箱11构成的盘心装置10连接时，如图7所示的布置设计那样，在一部分处理线(黑色矩阵形成线30和基板再生线110)与盘心装置10之间不能只通过图2所示的基板取送机构(基板搬出机构16a和基板搬入机构16b)直接连接，产生需要由AGV或RGV、CV等的输送台车输送玻璃基板的无效的通路(参照121，122)。
对此，如果盘心装置10由多个储料箱构成，可以最小限度的设备和任意的配置结构就可柔性地设置其设置面积不同的处理线20，30，...，60，100，110。具体为，如图8所示，通过将多个储料箱11，11’以雁形状(高低错落状)配置，包含有黑色矩阵形成线30和基板再生线110的所有处理线20，30，...，60，100，110与盘心装置10之间能只通过图2所示的基板取送机构(基板搬出机构16a和基板搬入机构16b)直接连接。
在此，在图8所示的盘心装置10中，各储料箱11，11’上设有一个堆垛起重机12，12’。另外，储料箱11，11’的连接部分设有在堆垛起重机12，12’间进行盒体交接的堆垛起重机(交接装置)19。作为如此交接装置可使用任意的装置，但如果使用代替堆垛起重机12，12’功能的堆垛起重机19，则即使在堆垛起重机12，12’发生故障时，使用作为代替机械的堆垛起重机19也可继续在储料箱11，11’中的处理。
此外，在图8所示的盘心装置10中，多个储料箱11，11’以雁形状(高低错落状)设置，但可以为根据地板的形状或处理线的数目等的任意配置结构，例如，如图9和图10所示，可通过交接装置130将多个储料箱11，11’，11”呈T字形配置。
第3实施例下面，通过图11至图15，对本发明的第3实施例进行说明。另外，本发明第3实施例除了盘心装置的构成不同外，其他与上述的第1和第2实施例大致相同。在本发明的第3实施例中，与上述第1和第2实施例相同的部分标以相同的符号，在此省略对其详细地说明。
在上述第1和第2实施例的生产线系统1，1’中，作为由盘心装置10保管和输送的盒体81，也可使用通过从左右侧面框架向水平方向突出的多个支承销而将基板呈水平状态支承的、所谓的销式盒体。另外，销式盒体中，将从左右侧面机架以同一高度向内侧突出的多个支承销列呈多级设置，通过同一级的多根支承销而将1枚玻璃基板呈水平状态支承，来收纳多个玻璃基板。
可是，在销式盒体中，用盘心装置的堆垛起重机等输送盒体时，由于会对盒体施加较大的振动，存在着收纳于盒体内的基板容易破损或损伤的问题。特别是近年来，作为制品制造的滤色器片等非常庞大，随着其重量的增加，上述问题更加显现。
另外，在销式盒体中，由于由支承销的长度等确定可收纳的基板的尺寸范围，对于尺寸超过该范围的基板，存在着需要更换与基板的尺寸相适的盒体的问题。特别是近年来，作为制品制造的滤色器片等的种类非常多，上述问题更加突出。
本发明第3实施例的目的主要在于解决了上述的技术问题，与上述第1和第2实施例时同样，作为由盘心装置10保管和输送的盒体81，使用由架设在左右侧面框架间的多个钢丝绳而将基板支承于水平状态的绳式盒体。
以下，通过图11至图15，对本发明第3实施例的生产线系统1”中的盘心装置10和基板取送机构(基板搬出机构216a和基板搬入机构216b)的结构进行说明。
正如图11所示，盘心装置10具有保管多个盒体81的储料箱211和将保管于该储料箱211内的盒体81在储料箱211内输送的堆垛起重机212。
在此，储料箱211呈2列在堆垛起重机212的行走通路的两侧延伸设置，储料箱211的各列具有将载置盒体81的多个机架211a呈上下2级配置的构造(参照图13)。
另外，堆垛起重机212如图12和图13所示，在载置盒体81的状态下，沿着储料箱211行走，通过使升降框架213朝上下方向移动，以在储料箱211内的各取送位置(搬出位置C1和搬入位置C2)与上下2级机架211a中的任意机架(任意的盒体保管位置)间，输送盒体81。
在此，由盘心装置10保管和输送的盒体81如图12和图13所示，具有上板183，直立设置于上板183上的左右侧面框架184，185，和架设于这些左右侧面框架184、185间的多根钢丝绳186。在此，多根钢丝绳186沿着不同高度的多级水平面延伸，并由同一级的多根钢丝绳186将玻璃基板82支承于水平状态。另外，由图14和图15更好地示出，左右的侧面框架184，185分别具有通过螺钉螺母等紧固于上板183上的8根支柱184a，185a，这些支柱184a，185a中、相互面对面的支柱通过多根撑条187相互连接。另外，钢丝绳186如果具有将玻璃基板82呈水平状态支承的充足的张力，则可使用合成树脂制或金属制等的任意种类。另外，钢丝绳186的水平面内的根数在可将玻璃基板82充分地支承于水平面内的范围内可为任意的根数。此外，钢丝绳186的成长方向的根数在玻璃基板82相互不干涉的状态下可收纳所希望的玻璃基板82的范围内可为任意的根数。
另外，在储料箱211内的各取送位置(搬出位置C1和搬入位置C2)分别设有基板取送机构(基板搬出机构216a和基板搬入机构216b)，如图11所示，通过各基板搬出机构216a，玻璃基板82从位于各搬出位置C1的基板收纳后的盒体81中，一枚一枚地向与各搬出位置C1相对应的各处理线(输送通路15)排出，同时，通过各基板搬入机构216b，使在各处理线(输送通路15)进行处理的处理即使的玻璃基板82一枚一枚地收纳于位在各搬入位置C2的空盒体81内。
在此，各基板搬出机构216a和各基板搬入机构216b基本上具有相同的结构，如图14所示，具有具备与收纳于盒体81内的玻璃基板82的下表面接触的多个滚柱190的基板输送机218，和使盒体81升降以将盒体81与基板输送机218的相对的位置关系变化的盒体升降装置217(对于驱动机构未图示)。另外，如图11所示，在搬出位置C1处，盒体81通过盒体输送装置(未图示)，从出库位置A1向各基板搬出机构216a输送的同时，从各基板搬出机构216a向入库位置B1输送。另外，在搬入位置C2处，盒体81通过盒体输送装置(未图示)，从出库位置A2向各基板搬入机构216b输送的同时，从各基板搬入机构216b向入库位置B2输送。
此外，正如图14所示，各基板搬出机构216a和各基板搬入机构216b的基板输送机218具有在直立设置于设置面上的支柱191上端固定的同时配置成从两侧夹持盒体81的左右的支承框架188，188，和可自由回转地安装于该左右支承框架188，188上的多个轴189。另外，各轴189上等间隔地设置有6个滚柱190。此外，在这些轴189上装有驱动机构(未图示)，各轴189可朝所希望的方向回转。
在如此基板搬出机构216a和基板搬入机构216b中，盒体81通过盒体升降装置217升降，通过盒体升降装置217使盒体81一级一级下降的同时，基板输送机218的滚柱190与收纳于盒体81内的最下方的玻璃基板82的下面接触，可将收纳于盒体81内的各级的玻璃基板82向输送通路15排出(参照图14的实线箭头所示)。另外，通过盒体升降装置217，使盒体81一级一级上升的同时，基板输送机218的滚柱190与可从输送通路15搬入的玻璃基板82的下面接触，可将玻璃基板82收纳于盒体81的各级(参照图14虚线箭头所示)。
另外，在图14所示的各基板搬出机构216a和各基板搬入机构216b中，是固定基板输送机218并通过盒体升降装置217，使盒体81升降的，但如果能使盒体81与基板输送机218的相对位置关系变化，并不限于使盒体81侧升降的结构，也可以采取使基板输送机218侧升降的结构，或者使基板输送机218和盒体81两方升降的结构。
另外，各基板搬出机构216a和各基板搬入机构216b可采取图14所示的结构外的例如图15所示的结构，即，使基板输送机218’可从盒体升降装置217’(对于驱动机构未图示)的下方进入的结构。另外，图15所示的基板输送机128’具有位于设置面上的支承框192，通过横板193而固定到支承框192上的多个コ字形的框架194，和可自由回转地安装于框架194的一对前端部194a，194b上的多个轴189。另外，在各轴189上等间隔地设有6个滚柱190。并且，在这些轴189上装有作为驱动机构的电机195，传动轴196a，196b和齿轮197等，可使各轴189朝所希望的方向回转。
在此，如此构成的生产线系统1”的动作与上述第1和第2实施例时相同，在与盘心装置10和各处理线20，30，...，70连接的控制装置(未图示)的控制下，自动地进行滤色器片的制造、检查和再生等有关的各种处理。
根据本发明的如此第3实施例，作为由生产线系统1的盘心装置10保管和输送的盒体81，由于使用了通过架设于左右侧面框架184，185间的多个钢丝绳186而将玻璃基板82呈水平状态地支承的绳式盒体，在由盘心装置10的堆垛起重机212输送盒体81时的振动能够被钢丝绳186有效地吸收，即使在使用大型的玻璃基板(例如仪表尺寸(厚度为0.7mm左右)的玻璃基板)制造滤色器片时，也能够防止收纳于盒体81内的玻璃基板82破损或损伤。
另外，根据本发明的第3实施例，作为由生产线系统1”的盘心装置10保管和输送的盒体81，由于使用上述的绳式的盒体，可将直到可收纳最大尺寸的其中任意尺寸的玻璃基板收纳于盒体81内，即使在使用同一生产线系统制造多种类的滤色器片等的情况下，也不必更换与玻璃基板的尺寸相适的盒体，能够有效地少量且多种类地制造。
此外，根据本发明的第3实施例，作为由生产线系统1”的盘心装置10保管和输送的盒体81，由于使用上述的绳式的盒体，与销式的盒体等可收纳更大量的玻璃基板，能够具有盘心装置的生产线系统的优点的、进一步提高相对处理工序的暂时停止的对应能力。
第4实施例下面，根据图16至图19，对本发明的第4实施例进行说明。
在上述的第1至第3实施例的生产线系统1，1’，1”中，盘心装置10在储料箱11，211内具有多个取送位置(搬出位置C1和搬入位置C2)，相对位于搬出位置C1或搬入位置C2的盒体81，由基板取送机构(基板搬出机构16a和基板搬入机构16b)将玻璃基板82向盒体81一枚一枚地收纳或者将玻璃基板82从盒体81中一枚一枚地排出。另外，盘心装置10的储料箱11，211内的搬出位置C1或搬入位置C2分别具有相互独立设置的出库位置A1，A2和入库位置B1，B2。
在此，在上述第1至第3实施例的生产线系统1，1’，1”中的盘心装置10，由于储料箱11，211中的盒体81的出库位置A1，A2和入库位置B1，B2相互不同，通过基板取送机构(基板搬出机构16a和基板搬入机构16b)所致的玻璃基板82朝向盒体81的收纳作业和玻璃基板82从盒体81的排出作业能够分别独立地进行，从而能够缩短盒体81更换所需的生产节拍时间，能够抑制玻璃基板82滞留在各处理线20，30，...，70，90，100，110的输送通路15上。
可是，在如此构成的盘心装置10中，尤其在基板搬出机构16a中，为了在搬出位置C1的出库位置A1或入库位置B1与盒体升降装置17a之间进行盒体81的交接，必须设有具备方向转换机构等的盒体输送装置(未图示)。同样，为了在搬入位置C2的出库位置A2或入库位置B2与盒体升降装置17b之间进行盒体81的交接，也必须设有具备方向转换机构等的盒体输送装置(未图示)。为此，存在着盒体输送装置的机械机构复杂，装置布置的制约大的问题。
本发明第4实施例的目的在于解决了上述的问题，用于变更上述第1至第3实施例的生产线系统1，1’，1”中的盘心装置10的结构。
正如图16至图19所示，盘心装置10为将收纳的多枚玻璃基板82加以处理的自动仓库，具有保管多个盒体81的储料箱11，和将保管于该储料箱11内的盒体81在储料箱11内输送的堆垛起重机12。
在此，储料箱11具有将载置盒体81的多个机架11a配置成上下2级的构造。另外，堆垛起重机12通过在沿着储料箱11延伸的轨道13上朝左右方向行走的同时，使升降框架(未图示)朝上下方向移动，而在储料箱11内的各取送位置(搬出位置C1和搬入位置C2)与上下2级的机架11a中的任意机架(任意的盒体保管位置)之间输送盒体81。在此，尽管在轨道13的单侧设有1台储料箱11，但并不限于此，可在轨道13的两侧设置2台储料箱。另外，储料箱11的机架11a为上下2级方式配置，但并不限于此，储料箱11的机架11a可配置为上下3级以上。此外，在轨道13上只行走1台堆垛起重机12，但并不限于此，可在轨道13上行走2台以上的堆垛起重机。
在如此结构的盘心装置中，在储料箱11的搬出位置C1的外侧，如图16和图17所示，设有盒体升降装置(盒体定位机构)317，在与玻璃基板82的收纳间隔相对应的间距下，使盒体81相对于基板输送机(基板输送机构)等的输送通路15，在上下方向(垂直于纸表面的方向)升降，并可相对于与盒体升降装置317邻接设置的输送通路15，从盒体81中排出玻璃基板82。另外，在储料箱11与盒体升降装置317之间，设有在两者间输送盒体的盒体输送机(盒体输送机构)318，319。
在此，储料箱11内的搬出位置C1具有将来自储料箱11的盒体81搬出的出库位置A1，和将盒体81向储料箱11搬入且与出库位置A1独立的入库位置B1。另外，盒体升降装置317设置于盒体横梁部316上，以获取与储料箱11的出库位置A1相对应的盒体供给位置D1、和与入库位置B1相对应的盒体排出位置E1任意一个位置的方式移动，在盒体供给位置D1处，从盒体输送机318上拉入盒体81，同时，在盒体排出位置E1处，将盒体81向盒体输送机318送出。
另外，在盘心装置10中，在储料箱11的搬入位置C2的外侧，如图18和图19所示，设有使盒体81相对于基板输送机(基板输送机构)等的输送通路15，在上下方向(垂直于纸表面的方向)升降的盒体升降装置(盒体定位机构)317，并可从与之邻接设置的输送通路15，将供给的玻璃基板82朝盒体81收纳。另外，在储料箱11与盒体升降装置317之间，设有在两者间输送盒体的盒体输送机(盒体输送机构)318，319。
在此，储料箱11内的搬入位置C2具有将来自储料箱11的盒体81搬出的出库位置A2，和将盒体81向储料箱11搬入且与出库位置A2独立的入库位置B2。另外，盒体升降装置317设置于盒体横梁部316上，以获取与储料箱11的出库位置A2相对应的盒体供给位置D2、和与入库位置B2相对应的盒体排出位置E2任意一个位置的方式移动，在盒体供给位置D2处，从盒体输送机318上拉入盒体81，同时，在盒体排出位置E2处，将盒体81向盒体输送机318送出。
另外，如图16和图18所示，出库位置A1和入库位置B1的位置关系与出库位置A2和入库位置B2的位置关系相反。
下面，通过图16和图17，对从收纳玻璃基板的收纳基板后的盒体81排出玻璃基板82的动作加以说明。
此时，保管于储料箱11的机架11a内的基板收纳后的盒体81通过堆垛起重机12向储料箱11内的搬出位置C1的出库位置A1输送。
接着，到达出库位置A1的盒体81通过盒体输送机318向定位于盒体供给位置D1处的盒体升降装置317输送。
如此将基板收纳后的盒体81向盒体供给位置D1定位后，从基板收纳后的盒体81排出玻璃基板82。此时，通过盒体升降装置317，基板收纳后的盒体81一级一级地下降，并通过基板输送机(未图示)等，将玻璃基板82从盒体81向输送通路15一枚一枚地搬出。
另外，如此排出玻璃基板82的期间，接下来应当排出玻璃基板的另外的基板收纳后的盒体81向盒体供给位置D1面前的位置输送并处于待机状态。
之后，玻璃基板82的排出结束并变空的盒体81在盒体横梁部316处，通过盒体升降装置317，直到上升到规定的高度的同时，向盒体排出位置E1移动。如此，向盒体排出位置E1移动的空盒体81由盒体升降装置317向盒体输送机319送出，并向储料箱11的入库位置B1输送。另外，如此到达入库位置B1的空盒体81作为收纳用的盒体，通过堆垛起重机12而保管于储料箱11内的空的机架11a内。
另外，盒体升降装置317返回盒体供给位置D1，接下来应当排出玻璃基板的基板收纳后的盒体81被从盒体输送机318拉入。
以后，反复地进行上述的动作。
下面，通过图18和图19，对玻璃基板82收纳于空的盒体81中的动作进行说明。
此时，首先，保管于储料箱11的机架11a内的空盒体81通过堆垛起重机12向储料箱11内的搬入位置C2的出库位置A2输送。
接着，到达出库位置A2的盒体81通过盒体输送机318向定位于盒体供给位置D2处的盒体升降装置317输送。
之后，空的盒体81配置于盒体升降装置317后，在盒体横梁部316处，通过盒体升降装置317，将盒体81一直下降到规定的高度的同时，向盒体排出位置E2移动。
如此将空的盒体81向盒体排出位置E2定位后，玻璃基板82向空的盒体81收纳。此时，通过盒体升降装置317，空的盒体81以一级一级地方式下降，并通过基板输送机(未图示)等，从输送通路15将玻璃基板82向盒体81一枚一枚地搬入。
另外，如此收纳玻璃基板82的期间，接下来应当收纳玻璃基板的另外的空的盒体81向盒体供给位置D2面前的位置输送并处于待机状态。
之后，玻璃基板82的收纳结束的基板收纳后的盒体81由盒体升降装置317向盒体输送机319送出，并向储料箱11的入库位置B2输送。另外，如此到达入库位置B2的基板收纳后的盒体81，通过堆垛起重机12而保管于储料箱11内的空的机架11a内。
另外，盒体升降装置317返回盒体供给位置D2，接下来应当收纳玻璃基板的空的盒体81被从盒体输送机318拉入。
以后，反复地进行上述的动作。
根据本发明的如此第4实施例，由于在上述的第1至第3实施例的生产线系统1，1’，1”中使用的盘心装置10中，在基板输送机(基板输送机构)等的输送通路15间，相对于来自盒体81的玻璃基板82的排出或玻璃基板82向盒体81的收纳的输送通路15，使该盒体81升降的盒体升降装置317在与储料箱11的出库位置A1，A2相对应的盒体供给位置D1，D2、同与入库位置B1，B2相对应的盒体排出位置E1，E2间移动，在盒体供给位置D1，D2处，将来自盒体输送机318的盒体81拉入的同时，在盒体排出位置E1，E2处，将盒体81向盒体输送机319送出，从而在相对盒体81进行玻璃基板82的收纳或排出期间，能够与下个盒体81邻接着处于待机状态，能够缩短盒体81的入出库作业中的生产节拍时间。另外，由于通过使盒体升降装置317在与储料箱11的出库位置A1，A2相对应的盒体供给位置D1，D2、同与入库位置B1，B2相对应的盒体排出位置E1，E2间移动，类接受盒体81，无需转换盒体81的移动方向的特别的方向转换机构，另外，由于光电印刷机也可只与对应于盒体供给位置D1，D2和盒体排出位置E1，E2的这2个位置相对应，结构简单，并且装置布置的制约少。此外，由于在接受盒体81的盒体供给位置D1，D2与盒体排出位置E1，E2间移动的盒体升降装置317，其结构可在与基板输送机(基板输送机构)等的输送通路15相同的架台上相对移动，与将盒体输送机318，319与基板输送机(基板输送机构)等的输送通路15直接连接以避免两者干涉的场合相比，结构简单且便于维修。
另外，在上述的第4实施例中，作为由盘心装置10保管和输送的盒体81，能够使用除了通过架设于左右侧面框架间的多个钢丝绳而将基板呈水平状态地支承的绳式盒体外，能够使用通过从左右侧面框架向水平方向突出的多个支承销而将基板层水平状态支承的销式盒体。
在上述的第4实施例中，作为在储料箱11与盒体升降装置317间输送盒体81的盒体输送机构，使用了盒体输送机318，319，但能够使用可输送盒体的AGV或RGV、CV等的任意的输送机构。
此外，上述第4实施例的盘心装置适用于上述第1至第3实施例的生产线系统1，1’，1”，但并不限于此，通常能够广泛地适用于将收纳多枚基板的盒体加以处置的堆垛提升方式的自动仓库。
第5实施例下面，用图20说明本发明的第5实施例。
在上述的第1至第4实施例的生产线系统1，1’，1”中，相对于定位在取送位置(搬出位置C1或搬入位置C2)的盒体81，通过基板取送机构(基板搬出机构16a和基板搬入机构16b)将玻璃基板82向盒体81中一枚一枚收纳，或者将玻璃基板82从盒体81中一枚一枚排出。
可是，在如此结构的基板取送机构(基板搬出机构16a和基板搬入机构16b)中，进行盒体81的供给的盒体供给位置、进行将玻璃基板82向盒体81中收纳或将来自盒体81的玻璃基板82加以排出的基板取送位置、进行盒体81回收的盒体回收位置不是独立的，是在一个位置上，进行盒体81的供给、玻璃基板82的收纳或排出、盒体81的回收。为此，存在着玻璃基板82的收纳或排出作业中的生产节拍时间长的问题。
本发明第5实施例的目的在于解决了上述的问题，用于变更上述第1至第4实施例的生产线系统1，1’，1”中的基板取送机构(特别是基板搬入机构16b)的结构，提供了一种收纳作为薄板状材料的玻璃基板的基板收纳装置416。
正如图20所示，本发明第5实施例的基板收纳装置416具有盒体移动机构419，盒体升降装置417和玻璃基板移动装置418。
其中，盒体移动机构419使盒体81移动到盒体供给位置F1、基板收纳位置G1和盒体回收位置H1中任意一个位置。
另外，盒体供给位置F1为供给盒体81的位置。为此，向该位置供给的盒体81通常为不收纳玻璃基板82的空的盒体。基板收纳位置G1为将玻璃基板82向盒体81收纳的位置。为此，配置于该位置上的盒体81为收纳玻璃基板82的收纳中的盒体。盒体回收位置H1为可将收纳玻璃基板82后移送的盒体81加以回收的位置。为此，从该位置回收的盒体81通常为收纳玻璃基板82后的基板收纳结束的盒体。另外，盒体供给位置F1、基板收纳位置G1和盒体回收位置H1以相互邻接的状态设置成一列。
正如图20所示，盒体移动机构419将向盒体供给位置F1供给的空盒体81从盒体供给位置F1向基板收纳位置G1移动。由此，向基板收纳位置G1移动的空盒体81成为进行玻璃基板82收纳的收纳中的盒体。
之后，玻璃基板82向盒体81中的收纳结束时，收纳中的盒体81成为收纳玻璃基板82的基板收纳后的盒体。此时，盒体移动机构419将该基板收纳后的盒体81从基板收纳位置G1向盒体回收位置H1移动。
定位于盒体回收位置H1处的基板收纳后的盒体81从盒体回收位置H1回收。
如此盒体移动机构419将定位于盒体供给位置F1的空盒体81从盒体供给位置F1向基板收纳位置G1移动，而将定位于基板收纳位置G1处的收纳中的盒体81向盒体回收位置H1移动。
另外，上述的盒体移动机构419所致的两种类的移动可作为独立的移动分别进行。但是，不用说先移动的位置(基板收纳位置G1或盒体回收位置H1)变空是前提条件。
此外，上述的盒体移动机构419所致的两种类的移动可相互关联着移动地连动进行。例如，能够使2个盒体81同时移动，在基板收纳位置G1产生空的区域同时将定位于盒体供给位置F1的盒体81以填入该空的区域的方式移动。但是，即使在这种情况下，是以移动目的地的盒体回收位置H1变空为前提条件。
另外，盒体升降装置417在基板收纳位置G1处，将通过盒体移动机构419定位的盒体81以与玻璃基板82的收纳间隔相对应的间距朝上下方向(垂直于纸面的方向)升降，以使盒体81中的玻璃基板82的收纳位置(多个收纳场所中的一个)和基板输送机等的输送通路(未图示)中的玻璃基板82的供给位置一致。
此外，玻璃基板移动装置418在基板收纳位置G1处，在通过盒体升降装置417使盒体81中的玻璃基板82的收纳位置与基板输送机等的输送通路(未图示)中的玻璃基板82的供给位置一致的状态下，将由基板输送机等的输送通路(未图示)供给的玻璃基板82向盒体81移动，并收纳于该盒体81中。
另外，由盒体升降装置417和玻璃基板移动装置418构成基板搬入机构。
接着，通过图20，对如此构成的基板收纳装置416的动作进行说明。另外，在图20中，箭头“→”表示盒体的移动方向，箭头“”表示玻璃基板的供给方向。
如图20所示，在玻璃基板82的收纳作业时，将玻璃基板82向盒体81中收纳期间，进行定位于盒体回收位置H1的盒体81的回收。
另外，在玻璃基板82朝向基板收纳位置G1处的盒体81的收纳结束时刻，通过盒体移动机构419，使定位于基板收纳位置G1的盒体81移动到空的盒体回收位置H1。
另外，使定位于盒体供给位置F1的盒体81移动到通过如此移动而变空的基板收纳位置G1处。
此时，作为基板搬入机构的盒体升降装置417和玻璃基板移动装置418正好在定位于盒体供给位置F1的盒体81定位于基板收纳位置G1的时刻，开始玻璃基板82向盒体81的收纳。
其间，空的盒体81向变空的盒体供给位置F1供给。
根据本发明的如此第5实施例，通过盒体移动机构419，使盒体81移动到盒体供给位置F1、基板收纳位置G1和盒体回收位置H1中任意一个位置，并在基板收纳位置G1处，通过作为基板搬入机构的盒体升降装置417和玻璃基板移动装置418，进行玻璃基板82向由盒体移动机构419定位的盒体81中的收纳。为此，玻璃基板82朝盒体81中的收纳只不过在盒体移动期间停止，而在玻璃基板82朝盒体81的收纳结束的时刻，由于盒体81从基板收纳位置G1向盒体回收位置H1移动的同时，进行盒体81从盒体供给位置F1朝基板收纳位置G1的移动，能够缩短玻璃基板82的收纳作业中的生产节拍时间。
第6实施例下面，用图21对本发明的第6实施例进行说明。
本发明的第6实施例的目的在于解决了与上述第5实施例的场合同样的问题，用于变更上述第1至第4实施例的生产线系统1，1’，1”中的基板取送机构(特别是基板搬出机构16a)的结构，提供了一种排出作为薄板状材料的玻璃基板的基板排出装置516。
正如图21所示，本发明第6实施例的基板排出装置516具有盒体移动机构519，盒体升降装置517和玻璃基板移动装置518。
其中，盒体移动机构519使盒体81移动到盒体供给位置F2、基板排出位置G2和盒体回收位置H2中任意一个位置。
另外，盒体供给位置F2为供给盒体81的位置。为此，向该位置供给的盒体81通常为结束收纳玻璃基板82的基板收纳后的盒体。基板排出位置G2为将来自盒体81的玻璃基板82排出的位置。为此，配置于该位置上的盒体81为排出玻璃基板82的排出中的盒体。盒体回收位置H2为可将排出玻璃基板82后移送的盒体81加以回收的位置。为此，从该位置回收的盒体81通常为不收纳玻璃基板82的空盒体。另外，盒体供给位置F2、基板排出位置G2和盒体回收位置H2以相互邻接的状态设置成一列。
正如图21所示，盒体移动机构519将向盒体供给位置F2供给的基板收纳后的盒体81从盒体供给位置F2向基板排出位置G2移动。由此，向基板排出位置G2移动的基板收纳后的盒体81成为进行玻璃基板82排出的排出中的盒体。
之后，将来自盒体81的玻璃基板82的排出结束时，排出中的盒体81成为不收纳玻璃基板82的空盒体。此时，盒体移动机构519将该空盒体81从基板排出位置G2向盒体回收位置H2移动。
定位于盒体回收位置H2处的空盒体81从盒体回收位置H2回收。
如此盒体移动机构519将定位于盒体供给位置F2的基板收纳后的盒体81从盒体供给位置F2向基板排出位置G2移动，而将定位于基板排出位置G2处的排出中的盒体81向盒体回收位置H2移动。
另外，上述的盒体移动机构519所致的两种类的移动可作为独立的移动分别进行。但是，不用说是以移动目的地的位置(基板排出位置G1或盒体回收位置H1)变空为前提条件。
此外，上述的盒体移动机构519所致的两种类的移动可相互关联着移动地连动进行。例如，能够使2个盒体81同时移动，在基板排出位置G2产生空的区域同时将定位于盒体供给位置F2的盒体81以填入该空的区域的方式移动。但是，即使在这种情况下，也是以移动目的地的盒体回收位置H2变空为前提条件。
另外，盒体升降装置517在基板排出位置G2处，将通过盒体移动机构519定位的盒体81以与玻璃基板82的收纳间隔相对应的间距朝上下方向(垂直于纸面的方向)升降，以使盒体81中的玻璃基板82的收纳位置(多个收纳场所中的一个)和基板输送机等的输送通路(未图示)中的玻璃基板82的供给位置一致。
此外，玻璃基板移动装置518在基板排出位置G2处，在通过盒体升降装置517使盒体81中的玻璃基板82的收纳位置与基板输送机等的输送通路(未图示)中的玻璃基板82的排出位置一致的状态下，将收纳于盒体81内的玻璃基板82从盒体81向基板输送机等的输送通路(未图示)移动，并从该盒体81中排出。
另外，由盒体升降装置517和玻璃基板移动装置518构成基板搬入机构。
接着，通过图21，对如此构成的基板排出装置516的动作进行说明。另外，在图21中，箭头“→”表示盒体的移动方向，箭头“”表示玻璃基板的排出方向。
如图21所示，在玻璃基板82的排出作业时，将来自盒体81的玻璃基板82排出期间，进行定位于盒体回收位置H2的盒体81的回收。
另外，在来自基板排出位置G2处的盒体81的玻璃基板82的排出结束时刻，通过盒体移动机构519，使定位于基板排出位置G2的盒体81移动到空的盒体回收位置H2。
另外，使定位于盒体供给位置F2的盒体81移动到通过如此移动而变空的基板排出位置G2处。
此时，作为基板搬入机构的盒体升降装置517和玻璃基板移动装置518正好在定位于盒体供给位置F2的盒体81定位于基板排出位置G2的时刻，开始来自盒体81的玻璃基板82的排出。
其间，空的盒体81向变空的盒体供给位置F2供给。
根据本发明的如此第6实施例，通过盒体移动机构519，使盒体81移动到盒体供给位置F2、基板排出位置G2和盒体回收位置H2中任意一个位置，并在基板排出位置G2处，通过作为基板搬出机构的盒体升降装置517和玻璃基板移动装置518，进行将来自由盒体移动机构519定位的盒体81的玻璃基板82的排出。为此，来自盒体81的玻璃基板82的排出只不过在盒体81移动期间停止，而在来自盒体81的玻璃基板82的排出结束的时刻，由于盒体81从基板排出位置G2向盒体回收位置H2移动的同时，进行盒体81从盒体供给位置F2朝基板排出位置G2的移动，能够缩短玻璃基板82的排出作业中的生产节拍时间。
另外，在上述的第5和第6实施例中，作为由基板收纳装置416和基板排出装置516处置的盒体81，能够使用除了通过架设于左右侧面框架间的多个钢丝绳而将基板呈水平状态地支承的绳式盒体外，能够使用通过从左右侧面框架向水平方向突出的多个支承销而将基板层水平状态支承的销式盒体。
此外，上述的第5和第6实施例的基板收纳装置416和基板排出装置516适用上述的第1至第4实施例中所使用的，但并不限于此，通常能够广泛地适用于将基板朝盒体收纳的基板收纳装置和将基板从盒体排出的基板排出装置。
再者，上述的第5和第6实施例的基板收纳装置416和基板排出装置516对收纳于盒体81中的薄板状材料使用玻璃基板为例进行了说明，但并不限于此，可使用能够收纳于盒体81内的任意的薄板状材料。
权利要求
1.一种利用收纳多枚基板的盒体来制造滤色器片的生产线系统，其特征在于，具有作为将收纳多枚基板的多个基板收纳后的盒体或空的盒体加以保管的盘心装置，该装置具有保管多个盒体的储料箱和将保管于该储料箱内的盒体在该储料箱内的多个取送位置与任意的盒体保管位置间输送的堆垛起重机；与所述盘心装置的所述各取送位置连接、相对于收纳在由所述盘心装置保管的基板收纳后的盒体内的基板进行用于制造滤色器片的各种处理的多个处理线；以及与所述盘心装置的所述各取送位置相对应设置的、将基板从定位于该各取送位置的基板收纳后的盒体中相对于与该各取送位置相对应的各处理线一枚一枚排出，或者将在该各处理线进行了处理的处理结束的基板一枚一枚地向定位于该各取送位置的空的盒体内收纳的基板取送机构；所述多个处理线包含有实现含有光刻加工的处理工序的多个主制版线。
2.按照权利要求1所述的生产线系统，其特征在于，所述多个处理线含有实现与所述各主制版线相同的处理工序的预备的制版线。
3.按照权利要求1或2所述的生产线系统，其特征在于，在所述多个处理线中含有的所述多个主制版线中至少一个中装有对成为处理对象的多个基板的同一位置上发生的共通缺陷加以检测的共通缺陷检查机。
4.按照权利要求3所述的生产线系统，其特征在于，所述多个处理线包含有将由所述主制版线中含有的所述共通缺陷检查机检测出共通缺陷的基板加以再生的基板再生线。
5.按照权利要求3所述的生产线系统，其特征在于，所述多个处理线包含有将通过该各处理线进行了处理的处理结束的基板加以检查的基板检查线，该基板检查线具有将多个基板的不同位置上发生的个别缺陷加以检测的个别缺陷检查机。
6.按照权利要求5所述的生产线系统，其特征在于，所述基板检查线还具有将由所述个别缺陷检查机检测出的所述各基板的个别缺陷加以修正的基板修正装置。
7.按照权利要求5或6所述的生产线系统，其特征在于，所述多个处理线包含有将由所述主制版线中含有的所述共通缺陷检查机或由所述基板检查线中含有的所述个别缺陷检查机检测出共通缺陷或个别缺陷的基板加以再生的基板再生线。
8.按照权利要求1所述的生产线系统，其特征在于，所述盘心装置具有多个所述储料箱和多个所述堆垛起重机，所述各储料箱中至少配置一个堆垛起重机，所述各储料箱经由在配置于该各储料箱中的堆垛起重机间进行盒体交接的交接装置相互连接。
9.按照权利要求8所述的生产线系统，其特征在于，所述交接装置为作为设置于所述各储料箱上的堆垛起重机的代替机发挥功能的堆垛起重机。
10.按照权利要求8或9所述的生产线系统，其特征在于，所述多个储料箱设置成雁行状。
11.一种利用收纳多枚基板的盒体来制造板状制品的生产线系统，其特征在于，具有作为将收纳多枚基板的多个基板收纳后的盒体或空的盒体加以保管的盘心装置，该装置具有保管多个盒体的储料箱和将保管于该储料箱内的盒体在该储料箱内的多个取送位置与任意的盒体保管位置间输送的堆垛起重机；与所述盘心装置的所述各取送位置连接、相对于收纳在由所述盘心装置保管的基板收纳后的盒体内的基板进行各种处理的多个处理线；以及与所述盘心装置的所述各取送位置相对应设置的、将基板从定位于该各取送位置的基板收纳后的盒体中相对于与该各取送位置相对应的各处理线一枚一枚排出，或者将在该各处理线进行了处理的处理结束的基板一枚一枚地向定位于该各取送位置的空的盒体内收纳的基板取送机构；由所述盘心装置保管和输送的所述盒体具有左右侧面框架和架设于这些左右侧面框架间、沿着以水平状态支承多枚基板的不同高度的多级水平面延伸的多条钢丝绳。
12.按照权利要求11所述的生产线系统，其特征在于，所述多个处理线进行制造滤色器片的各种处理。
13.一种对收纳多枚基板的盒体进行处置的自动仓库，其特征在于，具有保管多枚盒体的储料箱，将保管于储料箱内的盒体在该储料箱内的取送位置与任意的盒体保管位置间输送的堆垛起重机，与所述储料箱的所述取送位置相对应设置的、相对基板输送机构定位该盒体以在所述基板输送机构间进行将来自该盒体的基板排出或将基板朝盒体收纳的盒体定位机构，以及在所述储料箱与所述盒体定位机构间输送盒体的盒体输送机构；所述储料箱的所述取送位置具有从储料箱搬出盒体的出库位置，和将盒体向储料箱搬入的、与所述出库位置独立的入库位置；所述盒体定位机构移动至与所述储料箱的所述出库位置相对应的盒体供给位置和与所述入库位置相对应的盒体排出位置中任一位置，在所述盒体供给位置，从所述盒体输送机构拉入盒体，在所述盒体排出位置，将盒体向所述盒体输送机构送出。
14.按照权利要求13所述的自动仓库，其特征在于，所述盒体为将所述多枚基板呈水平状态收纳的机构，所述盒体定位机构为以与基板的收纳间隔相对应的间距升降所述盒体的盒体升降装置。
15.一种将基板收纳于盒体中的基板收纳装置，其特征在于，具有将盒体移动到进行盒体的供给的盒体供给位置、进行基板向盒体中收纳的基板收纳位置和进行盒体的回收的盒体回收位置中的任一位置上的盒体移动机构；在所述基板收纳位置，进行将基板向由所述盒体移动机构定位的盒体中收纳的基板搬入机构。
16.一种将基板从盒体中排出的基板排出装置，其特征在于，具有将盒体移动到进行盒体的供给的盒体供给位置、进行基板从盒体中排出的基板排出位置和进行盒体的回收的盒体回收位置中的任一位置上的盒体移动机构；在所述基板排出位置，进行将基板从由所述盒体移动机构定位的盒体中排出的基板搬出机构。
全文摘要
一种生产线系统(1)具有堆垛提升方式的盘心装置(10)，通过基板取送机构(16a，16b)分别与盘心装置10的多个取送位置(C1，C2)连接、相对于收纳在由盘心装置(10)保管的基板收纳后的盒体内的玻璃基板进行各种处理的多个处理线(20，…，110)。在此，处理线(20，…，90)为制造滤色器片的各种处理的生产线，其中，处理线(20，…，70)为实现含有光刻加工的处理工序的主制版线，处理线(90)为实现这些同样的处理工序的预备的制版线。另外，处理线(100)对由处理线(20，…，90)进行处理的处理结束的玻璃基板加以检查的基板检查线，处理线(110)使检测出各种缺陷的玻璃基板加以再生的基板再生线。此外，处理线(30，…，70)的输送通路(15)上，装入对在成为处理对象的多个玻璃基板的同一位置上发生的共通缺陷加以检测的共通缺陷检查机(39，…，77)。再者，由盘心装置(10)保管和输送的盒体可以是由架设于左右侧面框架间的多个钢丝绳将基板以水平状态支承的绳式盒体。
文档编号B65G49/05GK1672068SQ0381746
公开日2005年9月21日 申请日期2003年7月22日 优先权日2002年7月22日
发明者市濑武彦, 铃木谦作, 吉村隆志, 滩本信成, 中西稔, 清水敏 申请人:大日本印刷株式会社