专利名称：基片传送装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及基片传送装置，更具体地说，涉及用于可靠地传送基片且检测基片接收状态的基片传送装置。
背景技术：
在清洗、浸入、沉积和蚀刻处理中，必须将基片传送至各个处理位置。这由基片传送装置完成。基片传送装置是按照预定程序工作以传送基片至各个处理位置的机械的和自动的装置。
典型的基片传送装置具有薄且平的托架，其上放置基片。在托架上形成挡凸以防止在传送基片时基片脱离。因为该基片传送装置简单地传送放置在托架上的基片，所以高速传送时基片会在托架上滑动。
结果，为了提高半导体制造设备的生产率，必须提高基片传送装置的基片传送速度。但是，由于基片传送装置的高传输速度产生的惯性力，托架上形成的挡凸不能防止基片滑出托架。在使用反射性光学传感器检查基片是否继续存在的常规的基片传送装置中，反射性光学传感器并非经常按照基片的槽口或者平直区位置检测基片。
如前所述，当传送基片时，常规的基片传送装置不能防止基片滑出。由于基片的滑动，该装置不能高速传送基片。这会导致生产率降低。
发明内容
本发明的一个特征是提供一种不使用驱动器夹紧托架上的基片的基片传送装置。
本发明的另一个特征是提供一种在最大基片传送速度时牢固地夹紧托架上的基片的基片传送装置。
本发明的又一个特征是提供一种基片传送装置，不管基片的槽口和平直区位置怎样，该装置都能检查基片是否继续存在及是否处于夹紧的状态；而且，即使基片旋转时，该装置也能检测基片。
为了实现这些特征，本发明提供一种基片传送装置，其包括基座；至少一个托架，该托架具有在上面放置基片的凹形部件，且从基座上形成的凹槽位置移动到基片装载位置；以及至少一个夹紧件，当所述至少一个托架从基片装载位置返回至凹槽位置时，该夹紧件夹紧放置在托架凹形部件上的基片。
在本发明的一些实施例中，夹紧件包括推杆和弹性件。推杆具有与基片边缘接触的弯曲部分，且设置在基座上，与所述至少一个托架在相同的方向上移动。弹性件提供弹力以使推杆能从侧面推压基片的边缘。
在本发明的一些实施例中，夹紧件包括与推杆相连的检查杆；和基片检测件，该基片检测件包括用于检测检查杆是否移动的传感器。在本发明的一些实施例中，上述推杆的弯曲部分比基片的平直区宽。
在本发明一些实施例中，上述托架的凹形部件具有敞开的切口，当所述至少一个托架返回至凹槽位置时，夹紧件的推杆位于此处。基片的边缘部分地位于所述敞开的切口上。
在本发明的一些实施例中，基片传送装置还包括光接收传感器和光发射传感器，以检测放置在所述至少一个托架的凹形部件上的基片的接收状态。光接收传感器设置在基片边缘的内侧，光发射传感器设置在基片边缘的外侧，斜着对准光接收传感器。
在本发明的一些实施例中，基座包括安装在其内的驱动器以移动所述至少一个托架。基座的旋转和高度是可以控制的。
图1是按照本发明的基片传送装置的立体图。
图2是图1所示基片传送装置的俯视图。
图3是图1所示基片传送装置的侧视图。
图4显示安装在基座处的驱动器组件。
图5显示安装在基座处的夹紧件。
图6A显示第一托架移动至装载位置。
图6B显示第一托架移动至初始位置。
图7A至图7C显示放置不当的基片。
图8A和图8B显示基片W的槽口和平直区向推杆移动。
图9和图10显示按照本发明具有光接收传感器和光发射传感器以检测基片的基片传送装置。
图11显示具有两个推杆的夹紧件。
具体实施例方式
以下参照附图来更充分地说明本发明，这些附图显示了本发明的优选实施例。但是，本发明可以以不同的方式来实施，而不应该解释为受此处说明的实施例所限。相反，提供这些实施例是为了让本公开的内容详细完整，并将本发明的范围充分地传达给本领域的技术人员。全文中，相似的附图标记表示相似的部件。
在本发明的实施例中，描述具有两个托架的基片传送装置。可选择地，基片传送装置可以只有一个托架。
参照图1和图2，基片传送装置100包括主体110、安装在主体110上部的基座120、在向前和向后方向上移动的第一和第二托架130a和130b、夹紧放置在第一和第二托架130a和130b上的基片W的夹紧件140。例如，基座120可以在主体110上旋转，基座120的高度是可以控制的。
例如，基片传送装置100具有两个托架以进行替换操作。两个托架中的一个用于将完全处理好的基片从处理组件处取走，另一个用于将未处理的基片放置到处理组件处。
第一和第二托架130a和130b可独立地在不同高度上前后移动。在本实施例中，第一托架130a设置得高于第二托架130b。托架130a和130b各自都具有凹形部件132和连接臂136，凹形部件132上放置基片，连接臂136沿着凹形部件132的一侧延伸并与安装在基座120中的驱动器相连。凹形部件132为“”形，但也可以有各种其它形状。在凹形部件132的四个角上形成四个挡凸134以防止基片脱离。
当第一托架130a或第二托架130b向前(装载位置)移动时，基片传送装置100装载，当它向后(凹槽位置)移动时，基片传送装置100传送。如图2所示，第一托架130a位于装载位置，第二托架130b位于凹槽位置。
参照图4，通过安装在基座120内的两个驱动器124使得第一和第二托架130a和130b移动。驱动器124可包括电动机124a、用于向第一托架130a或第二托架130b输送电动机124a动力的皮带轮124b以及用于引导第一托架130a或第二托架130b前后移动的导轨124c，这些在图4中简单地图示。无疑，驱动器124可以是其它部件比如汽缸。
参照图2和图5，夹紧件140起的作用是，当第一托架130a或第二托架130b从装载位置返回至凹槽位置时，可靠地夹紧放置在凹形部件132上的基片。夹紧件140包括固定块142、推杆144和压缩弹簧146。推杆144安装在固定块142上，与第二托架130b在相同的方向上前后移动。推杆144具有直接与基片边缘接触的弯曲部分144a和两个与固定块142相连的连接杆144b。压缩弹簧146安装于连接杆144b处，提供弹力以使推杆144从侧面推压基片的边缘。推杆144利用压缩弹簧146的弹性斥力夹紧基片的边缘。优选的是，推杆144的弯曲部分144a比现有平直区宽。第一和第二托架130a和130b各自的凹形部件132上具有敞开的切口133，夹紧件140的推杆144位于此处。基片边缘部分地位于所述敞开的切口133处。
如上所述，夹紧件140具有单个推杆以夹紧第一和第二托架的基片。可选择地，如图11所示，夹紧件140可以具有用于第一托架的推杆144′和用于第二托架的推杆144″。
因为夹紧件140不是使用汽缸之类的附加驱动器夹紧基片边缘，不会发生驱动器故障导致的错误且制造成本降低。
夹紧件140还包括基片检测件148以检测基片W是否放置在第一托架或者第二托架上。基片检测件148包括与推杆144后端相连的检查杆148a和用于检测检查杆148a的传感器148b。如图6A和图6B所示，如果基片W正常地放置在第一托架130a或第二托架130b上，且第一托架130a或第二托架130b移动到凹槽位置时，则当推杆144与基片边缘接触时，它会被向后推。此时，检查杆148a随着推杆144向后移动，接着，启动传感器148b检测检查杆148a的末端。
如图7A至图7C所示，如果基片W置于凹形部件132的挡凸134上或者放置在一侧，则不会向后推夹紧件140的推杆144。这样，传感器148b关闭。在这种情况下，传感器检测到没有基片或者基片的未夹紧状态，拉响警报并停止处理过程。
如图8A和图8B所示，如果基片W的槽口和平直区面对推杆144，因为推杆144比平直区宽，所以向后推动推杆144。这样，启动传感器148b以检查基片是否存在和基片的夹紧状态。
如上所述，按照本发明的基片传送装置根据推杆是否移动来检测基片，而不需要多个光学传感器以检测基片。这样，可避免基片的槽口和平直区位置导致的故障。
如图9和10所示，按照本发明的基片传送装置包括光接收传感器162和光发射传感器164以更精密地检测基片，它们均为传输光纤传感器。参照图9，光接收传感器162的末端(光接收面)162a位于基片边缘的内侧，光发射传感器164的末端(光发射面)164a位于基片的外侧。参照图10，光接收传感器162的末端162a处于基片的下方，光发射传感器164的末端164a位于基片的上方。具体地说，光发射传感器164和光接收传感器162没有设置在同一条直线上，如图9所示。也就是说，光接收传感器162和光发射传感器164的光传输路径斜着对准以检测基片的边缘。
总之，本发明具有如下优点。
因为不使用诸如汽缸之类的附加驱动器夹紧基片的边缘，所以不会发生由驱动器故障导致的错误，且制造成本降低。按照本发明的基片传送装置根据推杆是否移动来检测基片，而不需要多个光学传感器以检测基片。这样，可避免由基片的槽口和平直区的位置导致的故障。改变了光接收传感器和光发射传感器的位置以更加精密地检测基片。
从上述公开的内容，本发明的其它修改和改变对本领域的技术人员是显而易见的。这样，虽然此处只具体说明了本发明的具体实施例，但是很明显，还能进行多种修改而不脱离本发明的精神和范围。
权利要求
1.一种基片传送装置，包括基座；至少一个托架，该托架具有在上面放置基片的凹形部件，且从基座上形成的凹槽位置向基片装载位置移动；以及至少一个夹紧件，当所述至少一个托架从基片装载位置返回至凹槽位置时，该夹紧件夹紧放置在凹形部件上的基片。
2.如权利要求1所述的基片传送装置，其中，所述夹紧件包括推杆，其具有与基片边缘接触的弯曲部分，并设置在基座上，与所述至少一个托架在相同的方向上移动；以及弹性件，其提供弹力以使推杆从侧面推压基片的边缘，其中，推杆自动夹紧放置在返回至凹槽位置的所述至少一个托架上的基片的边缘。
3.如权利要求2所述的基片传送装置，其中，所述夹紧件包括与推杆相连的检查杆；以及基片检测件，该基片检测件包括用于检测检查杆是否移动的传感器。
4.如权利要求2所述的基片传送装置，其中，所述弯曲部分比基片的平直区宽。
5.如权利要求2所述的基片传送装置，其中，所述凹形部件具有敞开的切口，当所述至少一个托架返回至凹槽位置时，夹紧件的推杆位于此处，基片的边缘部分地位于所述敞开的切口处。
6.如权利要求1所述的基片传送装置，还包括光接收传感器和光发射传感器，以检测放置在所述至少一个托架的凹形部件上的基片的接收状态，其中，该光接收传感器设置在基片边缘的内侧，该光发射传感器设置在基片边缘的外侧，斜着对准光接收传感器。
7.如权利要求1所述的基片传送装置，其中，所述基座包括安装在其内以移动所述至少一个托架的驱动器，且所述基座的高度和旋转是可以控制的。
全文摘要
本发明提供一种用于可靠地传送基片并检测基片的接收状态的基片传送装置。该基片传送装置包括夹紧件，当托架从装载位置返回至凹槽位置时，该夹紧件夹紧放置在托架凹形部件上的基片。夹紧件可以包括推杆和弹性件。推杆具有与基片边缘接触的弯曲部分，并设置在基座上，与至少一个托架在相同的方向上移动，弹性件提供弹力以使推杆从侧面推压基片边缘。
文档编号B65G49/07GK1733577SQ20051007518
公开日2006年2月15日 申请日期2005年6月10日 优先权日2004年8月12日
发明者朴舟楫, 崔贞烈 申请人:塞梅斯株式会社