流体储存和分配系统以及方法

专利名称：流体储存和分配系统以及方法
技术领域：
本发明涉及流体分配系统和方法。在各个方面中，本发明涉及一种有效地用于流体储存和分配包装中以确保正确的接合且避免流体污染问题的预连接确认接合件，还涉及一种有效地用于在流体分配操作中被压力压缩的基于衬件的流体储存和分配包装的空检测系统。
现参照各附图，

图1是应用了本发明的预连接确认接合件的一个示例性基于衬件的流体储存和分配容器10的透视图。
容器10包括能够将例如高纯度液体(具有＞99.99％的重量纯度)的液体保持在通常为刚性的壳体14中的柔弹性衬件12。衬件12可以具有任何适当的构造，并且可以形成为具有敞口的头部或封闭的头部结构，并且可以被设置为二维衬件结构或者可选地为三维衬件结构。
衬件12可以例如形成为三维、封闭头部的衬件。术语“三维”是指由管状坯料形成衬件的衬件方法，与其叠置边缘处由热密封叠置平板坯料件形成的二维衬件(以形成衬件结构)相反。在保持管状形态而没有被割开或切开的管状坯料的使用中，例如保持管状形态的吹制管状聚合物薄膜材料，避免了沿衬件各侧部的热密封及焊缝。在一些情形中，可能更优选的是无侧焊缝，以确保衬件更好地承受可能将重压于衬件并使得二维衬件中的接缝失效的力和压力。封闭头部的衬件是具有密封的或者封闭的头部的衬件，与形成为在衬件的头部上具有颈部开口或端部开口的敞口头部的衬件相反。
应该理解，较小的衬件可以由多种适当的形成技术中的任何一种形成。例如，如所提到的，吹制薄膜可以保持管状形态以形成衬件。可选地，可以将吹制薄膜切成屈服构成片(constituent sheet)或网形板或衬件前体结构。作为再一可选方式，制造薄膜材料的各片以利用角板(gusset)和其它技术形成三维的衬件结构，以将所得到的衬件物品贴合于第二层包装。因此，可以使用衬件的各种贴合构造，这些贴合构造适合其中设置有衬件的第二层包装或其它容纳容器的形状和尺寸。
特定实施例中的衬件可以是一次性的、薄膜、三维、封闭头部的衬件，从而可以在每次使用之后移除衬件12(例如，在将容纳于容器中的液体排尽时)，并替换为新的干净的衬件以确保整个容器10的再次使用。
衬件薄膜优选地没有诸如增塑剂、抗氧化剂、填充剂等组分，这些组分例如通过溶浸到容纳于衬件中的液体中、或者通过分解成屈服降解产物(该屈服降解产物在衬件薄膜中具有更大扩散率并移动至表面且溶解或者以其它方式成为衬件中的液体的污染物)，而可能是或成为污染源。
衬件可以由任何适当的结构材料形成，并优选地由聚合物薄膜形成。在高纯度流体容纳应用中，衬件可以由适当的诸如聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)、或烷氧基氟(PFA)的含氟聚合物材料形成。可选地，衬件可以由烯烃聚合物形成。作为再一可选方式，衬件可以由包含任何适当单体成分的共聚物形成。衬件薄膜可以是单层薄膜、或者可以形成为例如通过复合、排列、或以其它方式被制造成具有多层或多组分的多层层压体或合成薄膜材料，例如包括一层或多层中间粘合层的多层层压体等。
优选地，利用足够纯净的薄膜来制造衬件，诸如原(无添加剂)聚乙烯薄膜、原聚四氟乙烯(PTFE)薄膜、或其它适合的诸如聚丙烯、聚氨酯、聚偏二氯乙烯、聚氯乙烯、聚甲醛、聚苯乙烯、聚丙烯腈、聚丁烯等的原聚合物材料。衬件薄膜材料的厚度可以是任何适当的厚度，例如在大约1.5密耳(0.0015英寸；0.0381mm)至大约30密耳(0.030英寸；0.762mm)的范围内。在一个实施例中，衬件具有20密耳(0.020英寸；0.508mm)的厚度。
可以以任何适当的方式形成三维、封闭头部的衬件，但优选地是利用管状吹模制造如图1中所示的具有形成于容器上端、连接至端口或盖结构28的整体填充开口的衬件。因此，该衬件可以具有用来将衬件接合至适当的用于填充或分配操作(包括相应的流体引入或排放)的连接件的开口。连接至衬件端口的盖可以手工地移除，并且相对于衬件端口和盖的具体结构可以具有多种构造。也可以将盖设置成与用于引入或分配流体的汲取管相接合。
如图1中所示，衬件12包括处于其顶部中的两个端口。该衬件被设置在相当刚性的壳体或第二层包装14中，该壳体或第二层包装可以是如所示的大致的长方体形状，包括用来将衬件12容纳于其中的下接收部16、以及上堆积和传输操作部18。该上堆积和传输操作部18包括分别相反朝向的前壁20A和后壁20C以及相反朝向的侧壁20B和20D。相反朝向的侧壁20B和20D分别具有手工操作的开口22和24，以确保在容器的使用过程中能够手动将容器抓住并物理地举起或以其它方式运输。可选地，该第二层包装可以是圆柱形的、或者是任何其它适合的形状或构造。
壳体14的下接收部16是如所示的稍微锥形的。下接收部16的四个壁均向下向内地减缩，以确保在储存和运输多个这种容器时能够便于储存和运输而将容器堆叠起来。在一个实施例中，壳体14的下部16可以具有锥角小于15°，例如在大约2°至12°之间的角度的锥形壁。
如所示，通常为刚性的壳体14还包括第二层包装盖26，该第二层包装盖密封地连接至壳体14的，以限定出壳体14中的容纳衬件12的内部空间。
衬件具有两个刚性端口，包括接合至盖28且被设置成提供从用于分配流体的汲取管36中穿过的通道。汲取管36是包括汲取管、分配头34、接合件38和流体分配管40的分配组件中的一部分。该分配组件还包括通过接合件42连接至分配头34且与分配头中的通道43连通的气体填充管44。通道43进而适合地密封接合至位于第二层包装盖26中的内容积端口30，以提供用于在分配操作中向衬件12施加压力的气体的引入，从而推动容纳于衬件12中的液体自衬件通过中空汲取管36的内部通道并通过分配组件而流向液体分配管40。
衬件12有利地由适当厚度的薄膜材料形成，以在特性上是柔性和可折叠的。在一个实施例中，衬件可压缩至额定填充容积(即，在液体完全填充于壳体14中时能够容纳于衬件中的液体的容积)的大约10％或更少。衬件还应该具有适当的用于特定应用的阻挡特性，在该特定应用中利用衬件来防止来自周围环境(例如衬件外部的第二层包装内的气体容积)的气体渗透至衬件中的流体中。优选的衬件材料是足够柔软的以允许在装运期间作为替换单元的衬件的折叠或压缩。衬件优选的是合成物，并且具有这样的特性当液体被容纳在衬件中时防止颗粒和微细泡沫的形成，以及用于在采用液体的特定终端使用场合中(例如在半导体加工或其它高临界纯度液体供给场合中)有效地维持纯度。
对于半导体加工应用，容纳在容器10的衬件12中的液体在衬件的填充点处具有的0.25微米直径的颗粒应该小于75个颗粒/毫升，且衬件在液体中每十亿总有机成分(TOC)应该小于30份，每万亿临界元素的金属提取等级小于10份(例如，钙、钴、铜、铬、铁、钼、锰、钠、镍、和钨)，并且对于氟化氢、过氧化氢以及氢氧化铵的衬件容纳的元素，每万亿铁和铜可提取等级小于150份，符合半导体行业协会在国际半导体技术蓝图(SIA，ITRS)1999版本中提出的规格。
如图所示，图1容器的衬件12在其内部空间包含片状件45，以辅助液体内容物的非扩散性磁力搅拌，作为任选的特征。在衬件中，片状件可以由与衬件中的流体进行无害作用金属或其它材料形成，或由涂敷有惰性薄膜的材料或涂敷以提供与流体兼容的片状件的材料形成。磁力搅拌片状件45可以是如在实验室操作中使用的传统类型的，并且可以与适当的磁场作用工作台一起使用，从而使容器在具有填充液体的衬件的情况下位于工作台上时能够被搅拌，以使液体均匀且不会沉淀。这种磁力搅拌能力可以用于分解液体成分，随后在促进液体内容物的沉淀或相分离的条件下运输液体。以这种方式远程可操纵的搅拌部件具有的优点是，将搅拌器的非扩散性引入到密封衬件的内部是必要的。
壳体14的平台26中的端口30可以与衬件上的刚性端口连接，以使衬件装配有两个端口，或可选地，可以将衬件装配成可利用单个端口配置来通风。
壳体14的平台26可以由与壳体的其余结构部件相同的通常刚性的材料制成，诸如聚乙烯、聚四氟乙烯、聚丙烯、聚氨酯、聚偏二氯乙烯、聚氯乙烯、聚甲醛、聚苯乙烯、聚丙烯腈、或聚丁烯。
作为容器10的另一可选的变型，为了提供与所容纳的液体和/或其预期用途相关的信息，可以在衬件上设置无线射频识别(RFID)标贴32。可以设置无线射频识别标贴，以经由无线射频应答器和接收器将信息提供给用户或技术人员，从而他们可以确定容器中液体的状态、其特性、来源、累积量、预期使用位置和方法等。代替RFID装置，可以通过远程传感器(例如，手持扫描器、装备有接收器的计算机等)采用可读、和/或可传输的其它信息存储器。
在图1的容器中，衬件12允许液体由于温度改变而膨胀和收缩。
在涉及图1所示的容器10的分配操作中，可以将空气或其它气体(氮气、氩气等)引入到管44中并经过盖26的端口30，以在衬件的外表面上施加压力，使其收缩，从而使液体经过汲取管36和分配组件流到液体分配管40。
因此，在填充操作过程中，空气可以从壳体14的内容积经过端口30排出，以便通过分配头34中的通道43而流向管44，从而在填充液体的过程中随着衬件膨胀而排出空气。
在本发明的一个实施例中，在流体储存和分配包装的衬件中保持有零或接近零的顶部空间，其中，通过在衬件上施加压力以将其进一步压紧来实现分配，以经过连接于衬件的导管的排放通道从衬件的内容积排放流体。储存和分配系统包括这种包装，并采用具有末端(包括通向排放通道的开口)的短粗导管。为此，短粗导管的末端被设置在衬件的内容积的上部，以便在从衬件排放流体之前除去顶部空间的气体。
如在文中所使用的，关于衬件中的流体的术语“零顶部空间”意味着，衬件被完全填充以液体介质，且衬件中不存在位于液体介质之上的气体容积。
因此，关于衬件中的流体，如在文中使用的术语“接近零的顶部空间”意味着，除了衬件中液体介质之上的非常小的气体容积之外，衬件基本上被完全填充以液体介质，例如，气体容积小于衬件中流体总容积的5％，优选地小于流体总容积的3％，更优选地小于流体总容积的2％，且最优选地小于流体总容积的1％(或者，换一种方式解释，衬件中的液体容积大于衬件总容积的95％，优选地大于该总容积的97％，更优选地大于该总容积的98％，以及最优选地大于该总容积的99％)。
顶部空间的容积越大，上方的气体被带入和/或溶解于液体介质中的可能性越大，因为液体介质在衬件中将受到晃动、泼洒和移动，以及在包装的运输过程中衬件对刚性环绕容器的影响。这种情况反过来将导致在液体介质中形成气泡、小气泡、以及颗粒，这降低了液体介质的品质，并且使其可能不适合其预期目的。基于这个原因，期望顶部空间最小化并且优选地通过用液体介质完全填充衬件的内容积而消除(例如，在零或接近零的顶部空间构造中)。
图2是根据本发明一个实施例的预连接确认接合件的示意性透视图。如图2所示，该接合件在流体储存和分配包装100中实现，该包装包括设置于刚性第二层包装114中的衬件112。衬件112具有从第二层包装114的上圆柱表面通过该上圆柱表面中的开口向上延伸的端口160。端口160包括位于端口的开口中的密封隔膜162。该隔膜162可以由诸如橡胶、纤维质或聚合材料的任何适当的材料形成，其通过大气或周围环境有效地密封衬件并保持其内容物与污染物隔离。
端口160由限定了中心开口165的圆柱形盖128包围。盖128的顶部环形表面166特征在于键控部件，包括键码凹槽168和170、以及键码销172。应该理解，可以采用提供适当键码结构的任何键控部件，且这种部件可以包括凹槽和销的其它排列，或可选地为任何其它类型的彼此合作配合的可接合结构部件，以确定恰当接合的盖和分配器。其它匹配的可接合结构部件的实例包括通道和突起部件、沿周向横向尺寸变化的互相交叉的凸缘、榫槽部件等。
在图2的包装100中，示意性示出了分配器134，包括上部圆柱形分配器本体138和下部的较大直径的圆柱形分配器环140。上部圆柱形分配器本体138和下部圆柱形分配器环140彼此互连，使得通过适当的偏压结构(诸如偏压弹簧177)将上部分配器本体偏压到收缩位置。在所述环已经被接合并固定地定位在盖128上之后，如下文所述，通过在分配器本体138上施加手动向下的力，分配器本体138可向下移动到延伸的位置，从而分配器本体138向下平移经过环状的分配器环140，伴随有偏压弹簧的压缩。
环状的分配器环140特征在于与盖128的键控部件互补的键码部件。分配器环140上的键码部件包括第一销180，其与盖的键控码凹槽168匹配地接合；第二销182，其与盖的键码凹槽170匹配地接合；以及分配器互锁176中的通道189，该通道与盖的销172匹配地接合。
分配器互锁176防止环140相对于分配器本体138移动，直到通过进入通道189并沿着销的长度完全与其接合的销172启动互锁机构。互锁176可以是任何适当类型的，例如电子互锁机构、机电互锁机构、机械互锁机构等。在一个实施例中，互锁机构包括弹簧偏压的制动栓，其响应与盖的键码结构的接合，以便缩回并允许该分配器本体靠着分配器环的向下平移运动。
一旦由销接合互锁176，分配器本体138就靠着分配器环140自由平移，通过在分配器本体138上施加手动向下的压力而沿向下的方向，或者通过释放该手动压力而沿向上的方向，如双向箭头A所示。
分配器本体138示意性地示出，其具有与之相关的流体出口B。流体出口B与探针136流体流动地连通，以能够将流体从衬件通过探针和流体出口B输送到外部使用位置，例如，通过将流体出口B连接到该外部位置的流动路线。外部位置可以例如包括诸如半导体加工工具的流体利用设备，或可以在其中处理所分配的流体(用作治疗剂，或用来辅助加工或操作其它流体)的其它装置。
如图3所示，与包括探针的分配组件相关的包装的总高度相比，探针136具有较短的长度。因此，探针被构造为“短粗探针”，在这里表示探针具有在分配组件与盖及相关的容器完全接合时使探针底部入口位于衬件上端部的位置的纵向尺寸。例如，探针可以具与连接件本体的高度尺寸相似的纵向尺寸，或者可以甚至小于连接件本体的该高度尺寸。通过这种布置，在分配活性液体之前，可以很容易将存在于衬件上部(这里指液体上方)的顶部空间从衬件中排出，从而在分配活性气体的过程中，来自容器的气体流出被最小化或消除，并且下游的气体同样被最小化或消除。为此，如图所示优选地构造衬件，其中，上端口有助于除去顶部空间气体。
因此，在化学物品通过分配网络从衬件中流动之前，短粗探针除去顶部空间气体。此外，在分配之前除去顶部空间气体的能力有利于实现贯穿下游流动路线以及在例如半导体加工工具的最终使用设备处的最小顶部空间，从而最小化或避免由于在源容器以及管线、下游的储罐和储存器、进料通道等中存在顶部空间气体而易于发生的问题。通过消除顶部空间气体，短粗探针的使用和衬件上端通风的设置为来自衬件的流体的压力分配提供了最佳条件，而不会在液体中出现大量气体空隙或已溶解的气体从液体中发泡，因为液体在流动路线的压强下降段和下游处理网络中受到逐渐降低的压力。
此外，短粗探针有利于误连接的早期检测，而不会污染探针，因此尝试使探针与容器盖接合将导致破坏式密封隔膜的破坏，但是由于探针开始是与顶部空间容积接触而不是与下面的液体接触，所以不会污染探针，这是与现有技术中使用的探针的开口下端被设置在衬件下部的长探针相比的显著优点。
在一个实施例中，通过配备有连接结构的流体排放导管来构成流体出口B，以有利于流体排放导管与下游流动路线的互联。
衬件和下游网络及流动路线中的顶部空间的最小化是对现有技术的明显改进，因为化学试剂衬件迄今为止通常在充满空气的条件下填充化学试剂，其中，大约5％的顶部空间气体被引入到衬件中，以适应储存和运输期间衬件中流体的温度可能明显变化时导致的衬件中液体的膨胀。在对用于流体分配的衬件的外表面施加压力期间对顶部空间气体加压时，该受压的顶部空间气体进入溶液，此后保持从液体中流出的可能性，并通过下游系统引入顶部空间气体，此外，顶部空间气体被带入到所分配的液体中，并产生可以妨碍泵、质量流量控制器、以及下游处理系统的其它部件的气体液滴。
通过在含有液体的包装上的最大可能高度处设置用于顶部空间气体通风的端口，顶部空间气体的完全或接近完全的通风将会是有效的，从而使上部端口因此可以用来顶部空间气体的初始除去以及液体从包装中的随后排放。
这种最大可能的端口高度具有多个优点(i)它可以在任何大小的包装中实现，从而可以在包装容积的宽尺寸范围内利用短粗探针；(ii)在交叉污染发生之前，很容易检测到探针和盖之间的这种连接；以及(iii)通过对探针和端口设计采用均码(one-size-fits-all)的方法使制造成本最小化。
在图2的系统的分配操作中，加压气体被引入到衬件外部的第二层包装的内容积中，从而使加压气体向衬件施加压缩力，使其逐渐收缩，以从衬件对流体进行压力分配。因此，迫使衬件中的流体(例如，光致抗蚀剂)向上通过探针136和分配器本体138中的通道(未示出)进入流体出口B，流体从该流体出口进入下游流动路线。
通过图2中所示的配置，分配环140开始与盖接合，从而键控部件彼此配合。如果环和盖上的相应键控部件彼此不相接合，由于错误的分配器尝试与流体储存和分配包装100连接的误连接，则防止探针136接合并刺穿密封隔膜162。因此，立刻检测到错误部件的尝试连接，而不会发生所容纳的流体或分配器的污染，诸如在不存在分配器和盖的键码结构时将会发生的情况。
如果已经选择了正确的分配器来接合流体储存和分配包装100，那么环140与盖128的接合不会启动分配器互锁176，并通过在分配器本体上施加手动压力而允许分配器本体138靠着环140向下竖直平移。因此分配器本体138向下平移，从而使探针136接合并刺破隔膜162，从而在包括从第二层包装114中的衬件112排放流体的分配操作条件下设置分配器134。
只要分配器本体被向下平移到其分配位置，分配器本体就可通过例如针刺连接锁定结构或凹球检测结构或其它结构配置的适当锁结构(未在图2中示出)被原地锁定，通过其将分配器本体锁定在用于分配包装100中流体的延伸的较低位置。
因此，图2中示出的流体储存和分配系统采用结合本发明的预连接确认接合件的分配器134和包装100，包括第一连接本体和与之合作的环，以允许该本体在与包括第二键码结构的第二连接本体的后确认接合的情况下靠着环进行平移运动，其中，该环包括第一键码结构和在第一键码结构与第二键码结构的确认接合之前防止这种平移运动的互锁。术语“确认接合”是指第一和第二键码结构充分、优选地完全彼此连接，以便指示第一和第二键码结构彼此互补且正确地配合。
尽管参考图2的流体储存和分配系统描述了示例性实施例，但应该认识到，本发明的预连接确认接合的应用并不限于此，而是在通过第一和第二连接本体的完全连接来装配该连接之前，延伸并包括其它实施方式，其中，期望对连接件进行关于其适当匹配的确认。因此，第一和第二连接本体可以是任何适当的类型，例如体现为连接件、可匹配的装置、可接合的锁结构等。
图3是处理配置250的示意性表示，包括根据本发明的一个实施例的通过流动线路与半导体加工工具238互连的基于衬件的流体储存和分配包装200和空检测系统。
基于衬件的流体储存和分配包装200包括设置在刚性第二层包装202的内容积204中的衬件206。第二层包装202的内容积204通过加压气体供应线210与适当的加压气体源212流体连通。加压气体可以是任何适当的类型，诸如氩、氦、氮、空气等，这在基于衬件的流体储存和分配包装的给定应用中可能是必要的或期望的。
衬件206容纳有流体，诸如光致抗蚀剂液体组合物、化学机械抛光膏剂、或其它适当的流体组合物。衬件通过包括分配线208的流动线路与下游的流体利用半导体加工工具238以流体分配关系连接。分配线208可选地包括流体处理、监测或控制单元218，这在处理装置的具体实施方式
中可能是必要的或期望的。该单元218可以设置有通风线219，这在具体应用中是必要的或期望的。
该实施例中的衬件206可以由阻挡薄膜构成，该阻挡薄膜对于衬件的外部周围环境中的气体是不能透过的。例如，衬件可以由聚四氟乙烯(PTFE)薄膜构成，以防止空气进入或来自气体的其它周围环境气体种类与衬件的外表面接触。更一般地，可以使用于2005年4月25日提交的未决美国临时专利申请“Zero HeadSpace/Minimal Head Space Line-Based Liquid Storage and DispensingSystems Adapted for Pressure Dispensing”中公开特性的多层层压体和阻挡薄膜，以在本发明的具体实施例中实现有益的优点，其全部公开内容结合于此作为参考。
通过加压气体从源212经过线210流入到基于衬件的包装的内容积204内来实现分配操作。在该内容积中，加压气体在衬件206的外表面上施加压力，从而用来压缩并皱缩衬件以迫使流体进入分配线208。
流体从分配线208进入过滤器220，该过滤器用于对流体进行脱气，除去液体中的细微颗粒，或另外改进随后使用的液体的特性或质量。像期望的那样，过滤器220包括在其中包含流动控制阀224的通风线222，用于从过滤器中排放气体和/或液体。例如，线222中排放气流可以是通过过滤器220中的过滤操作产生的保留气流。
过滤器220中过滤所产生的滤出液排放到流体供给管线226中，该流体供给管线在分配泵232的上游和下游分别包含流动控制阀228和234。流动控制阀228与自动阀执行器230相关，且流动控制阀234与自动阀执行器236相关。
分配泵232可以是任何适当的类型，包括隔膜泵、活塞泵、蠕动泵、喷射式泵、计量泵等。具体泵的选择将取决于正被分配的流体的特性、下游流体使用位置或设备的需求、与泵有关的流动线路中的压降。
所分配的流体从流体供给管线226被输送到工具238以便在其中进行利用。该工具可以是任何适当的类型，包括涂敷、蚀刻、抛光、掩模、沉积、挥发、热解、包装、混和、消除或其它类型的工具。
利用包括中央处理单元(CPU)240的控制系统，可以在图3中示例性示出的处理装置中以控制方式实现流体分配和使用操作。CPU可以是任何适当的类型，诸如通用可编程计算机、微处理器、微控制器、可编程逻辑控制器等。
在图3中示例性示出的示例性工艺中，CPU可操作地与压力传感器216连接，该压力传感器通过压力传感线214连接到流体分配线208。压力传感器可以是任何适当的类型，有效地检测分配线208中的分配流体的压力、并响应地生成与所感测的压力对应的信号。该响应信号从信号传输线248中的传感器216传输到CPU。
响应于来自传感器216的该感测压力信号，可以布置CPU 240以响应地调整处理设备的各部件，包括加压气体源212，借助于在信号传输线246中传输的控制信号传输到该源212；流体处理、监测或控制单元218，借助于在信号传输线260中传输的控制信号；阀执行器230，借助于在信号传输线252中传输的控制信号；阀执行器236，借助于在信号传输线256中传输的控制信号；和/或泵232，借助于在信号传输线254中传输的控制信号。以这种方式，响应于由传感器216感测到的分配压力，可以调整各受控的系统部件。
设置图3实施例中的CPU 240，以与输出设备244通信，输出设备例如可以包括通过信号传输线242连接到CPU的显示监测器244、或其它输出设备或输出能力或子系统。
配置并设置本发明的一个实施例中的CPU，以监测分配流体的压力、以及加压气体的压力。为了监测加压气体的压力，源212可以与可操作地连接到信号传输线246的压力传感器相关，并设置该源以将与源212中的加压气体的压力相关的信号传输到CPU。因此应该理解，信号传输线246可以是双向信号传输线或多线电缆，能够从CPU和源212传输信号并将信号传输到它们。
本发明的上述实施例反映的发现是，当通过在衬件上施加压力来从柔性衬件中分配流体时，响应于所施加的压力，衬件逐渐皱缩而接近完全皱缩位置(流体被从衬件排尽)伴随衬件的摩擦力变化。具体地，已经观察到，随着衬件皱缩，在接近完全皱缩位置的分配结束位置附近，对于每次增加的附加衬件皱缩量，增加了衬件摩擦力。随着摩擦力的增加，消耗加压气体中的更多能量以皱缩衬件，且分配流体的压力开始下降，起始以较低的变化率，然后在分配操作结束时更加陡峭(快速)，最后达到衬件的空状态。
在压力以分配流体的时间为函数的图中，分配流体的压力以前述相对较低的变化率下降以容易辨别的转换点为标志。因此压力曲线的“斜度下倾”提供了容器接近排尽的早期指示，且该斜度下倾之后是陡峭的斜度，此时容器达到排尽(空或基本上为空)状态。
基于这种压力分配特性，可以选择或以其它方式设置与用于通过流动线路实现分配流体流动的基于衬件的包装连接的泵或其它工作流体驱动器，以提供能够通过最大限度的分配操作来实现分配的驱动压力，即，从衬件的初始充满状态、进入早期的斜度下倾压力状态、最后到达空或接近空状态的陡峭的斜度下倾。
作为示例性实例，在图3中示出的通用类型的系统中，将光致抗蚀剂从基于衬件的包装输送到半导体加工工具，用于工作流体驱动器的压力设置点可以是7psig，且工作流体驱动器可以是计量泵，该计量泵被设置成以一系列离散小容积或“射流”来泵送流体，作为吸入步骤先于每个射流的泵送循环的一部分。随着分配结束状态的接近，用于分配射流的压力与时间的斜度开始平稳地下倾。在6psig的压力下，大于50mL的光致抗蚀剂剩余在衬件中。从7psig的(设置点)压力到6psig的倾斜提供了接近空的预警指示。然后在空状态下，压力迅速降到大约1.5psig，此状态下不可能有液体的泵送。在这种空状态下，非常小量的光致抗蚀剂，最好容积小于10mL(例如，5mL)的光致抗蚀剂剩余在包装中，表示初始在包装中提供的光致抗蚀剂的大于99.75％的总体使用水平。
因此，基于分配流体压力中的这种分配结束转变的空检测系统和方法提供了衬件中的流体开始排尽的足够指示，以最小化或在一些情况下甚至消除了用于向流体使用工艺补充流体的过渡供应的外部贮液器的需求。结果是，滞留的补充流体量相应地被最小化或甚至消除，且相应改进了处理的整体经济效果。
图4至图8是示出了流体分配操作过程中分配系统状态的压力-时间曲线图，用于结合图3所描述类型的衬件型包装，其中，工作流体驱动器是在重复循环中以交替吸入和正流体置换步骤来操作的射流分配泵。利用脱离子水作为测试液体，在四程(run)系统中确定压力分布、分配射流变化、以及最后剩余的液体。液体的分配率是以每60秒一次射流并在6秒内分配5mL(即，每分钟一次5mL的射流)。进行这种测试，以获取基于衬件的包装压力衰减在接近空状态的分布，并记录分配射流分布以及测量在最后空状态下残留的化学物品。加压气体是在7psig压力下的干净干燥空气。
图4是用于前述的基于衬件的流体储存和分配包装的以psig为单位的包装压力、以及以克为单位的分配流体重量作为以秒为单位的时间的函数的曲线图，示出了在容器中包括最后250mL液体的分配操作期间系统的压力状态。在该曲线图中，曲线A是包装压力，且曲线B是以克为单位的分配流体的累积重量，该累积重量通过对该分配流体称重来确定。如曲线图所示，当剩余大约40mL水待分配时，在2400秒附近出现接近排尽的早期警告。在大约2850秒时达到空状态，此时衬件中具有9mL的残留液体。
图5是用于前述的基于衬件的流体储存和分配包装的以psig为单位的包装压力、以及以克为单位的分配流体重量作为以秒为单位的时间的函数的曲线图，示出了在容器中包括最后550mL液体的分配操作期间系统的压力状态。在该曲线图中，曲线A是包装压力，且曲线B是以克为单位的分配流体的累积重量，该累积重量通过对该分配流体称重来确定。如曲线图所示，指示开始排尽的斜度下倾发生在分配时间6600秒附近。在分配时间大约为7250秒处发生衬件的完全排尽。
图6是用于通过循环吸入泵的动作以一系列连续“射流”来分配液体的基于衬件的流体储存和分配包装的以psig为单位的包装压力、以及以克为单位的分配流体重量作为以秒为单位的时间的函数的曲线图，示出了在包括最后50mL液体的分配操作期间系统的压力状态。在该曲线图中，曲线A是包装压力，且曲线B是以克为单位的分配流体的累积重量，该累积重量通过对该分配流体称重来确定。曲线B的阶梯状轮廓是很显然的，且沿着曲线的同样的阶梯尺寸反映了在泵循环的连续分配射流段中分配流体的恒定容积部分。曲线A的轮廓反映了吸入循环期间的压力降以及在吸入冲程之后的松弛。
图7是用于通过循环吸入泵的动作以一系列连续“射流”(每次含有1.42g液体)来分配液体的基于衬件的流体储存和分配包装的以psig为单位的包装压力(曲线A)、以及以克为单位的分配的流体重量(曲线B)作为以秒为单位的时间的函数的曲线图。该曲线示出了在分配操作期间来自流体储存和分配包装的最后七次分配射流的数据以及适合该数据的线性等式。曲线C是适合曲线B的数据的直线，其等式为y＝0.0237x+145.67。
图8是用于通过循环吸入泵的动作以一系列连续“射流”来分配液体的基于衬件的流体储存和分配包装的以psig为单位的包装压力(曲线A)、以及以克为单位的分配流体重量(曲线B)作为以秒为单位的时间的函数的曲线图，示出了在分配操作期间来自流体储存和分配包装的最后四次分配射流的数据以及适合该数据的线性等式。在该曲线图中，曲线A是包装压力，且曲线B是以克为单位的分配流体的累积重量，该累积重量通过对该分配流体称重来确定。曲线C是适合曲线B的数据的直线，其等式为y＝0.0286x+16.746。该曲线示出了在液体分配的最后四次射流期间下倾的包装压力曲线的分配轮廓，反映了在分配时间为大约4200秒时衬件的液体总量开始耗尽。
从上面很显然，因为以时间为函数的压力改变率开始明显增加，所以通过以用于分配流体的分配时间为函数的压力曲线来证明的压力斜度下倾提供了充分早期特征的空检测能力，以允许接入用于随后分配流体的新鲜包装，或者以其它方式提供连续包装布置之间的过渡流体源，该过渡流体源显著小于利用现有技术的“第一气泡”空检测方法所需要的流体源。
在本发明的一个实施例中，可以以图3中示出的方式配置基于衬件的包装，其中配置有诸如传感器的压力监测器以检测衬件中的流体压力，与配置的控制系统可操作地连接以开始适当的操作。例如，可以将控制系统配置成输出指示分配流体开始排尽的警告，以便以及时有效的方式实现流体供给包装的变换，保证操作的连续性。可选地，可以将控制系统配置成开始用于将分配流体从第一包装切换到第二新鲜包装的初始准备，以便在排尽第一流体供给包装时此后可以进行“明显”切换。作为进一步选择，可以将控制系统构造并配置成与基于衬件的包装中的剩余流体的可用总量近似相应的方式停止流体使用过程。
很显然，响应于衬件开始排尽的检测，可以以各种具体形式以及通过采用各种具体操作来实现本发明的空检测系统。
进一步显然的是，使用预连接确认接合以及空检测系统，连同与含有流体的分配操作中的下游流体使用工艺相连接的基于衬件的流体储存和分配系统，可以以不同形式实现本发明。
在另一个方面中，本发明构思了提供一种从承受压力的可折叠衬件供应流体以实现流体分配的方法，该方法包括将分配流体的压力作为时间的函数进行监控，并确定作为表示预定接近从衬件排尽流体的压力-时间函数的压力斜度下倾，以及预定接近从衬件排尽流体的时刻，在衬件上施加压力尖峰脉冲以实现来自衬件的流体的进一步分配。
在这种方法的另一个变型中，在衬件上施加压力尖峰脉冲之后从衬件分配的流体流向在从衬件排尽流体的过程中用于临时供给流体的贮液器，以保证分配到下游流体应用设备或其它终端使用位置的流体的连续性。
本发明的另一个方面涉及用于与流体储存和分配容器的盖连接的一种类型的分配头部连接件。根据本发明，该连接件具有符合人机工程学的改进特征，便于其使用而不会有在使用现有技术的连接件中所遇到的困难。本发明涉及具有“推出”部件的符合人机工程学的手柄，利用该手柄，可以很容易将连接件安装到基于衬件的流体储存和分配包装上以及从其上移除。
图9-17以中示例性实施例示出了符合人机工程学的连接件。
现在参照图9，示出了与瓶中袋(BIB)容器302接合时的连接件300，该容器中包括设置在硬质第二包装层内部且适于容纳流体(例如，用于半导体加工应用的高纯度流体)的薄膜衬件。连接件300包括具有安装于其上的枢轴夹组件的主体部301，该枢轴夹组件包括枢轴夹306和308，它们将盖304锁定地接合至容器。枢轴夹凸轮314和316与枢轴夹连接以允许根据手柄318的位置接合或断开这些夹，如图所示，手柄连接至枢轴夹凸轮314和316。
每一个枢轴夹凸轮314和316都安装在相关联的轴上，在该轴上还分别安装有推出凸轮310和312。
符合人机工程学的手柄和推出部件包括几个关键零件。手柄318是易于被使用者抓住的指状带槽手柄，以在移除连接件时保证可以牢固地抓住连接件。枢轴夹凸轮是主要部件并用作转动凸轮组件，当通过手柄的相应运动使枢轴夹凸轮向上转动时，该枢轴夹凸轮使得枢轴夹启动。在这种转动期间，枢轴夹凸轮倾斜向上并向内压枢轴夹，这产生了围绕枢轴夹轮轴的运动，导致枢轴夹从盖304打开/解除锁定。
枢轴夹凸轮的另一主要部件是扭矩弹簧(图9中未示出)，该扭矩弹簧确保手柄可以落下，并且在对容器302的内容积进行加压之前允许枢轴夹锁定以在衬件上施加外部压力。通过将手柄偏压至下部位置，确保了枢轴夹的锁定，相应地确保了用于随后的分配操作的容器组件的密封性。
以上所讨论的枢轴夹凸轮314和316与推出凸轮310和312相接合，这种设置允许在手柄318转动至上部位置时将推出凸轮推出盖304的顶部。凸轮外形的逐步改变使连接件301能够从包装上平滑地脱离。扭矩弹簧也确保了推出凸轮不处于打开位置中。当推出凸轮处于封闭位置时，由于推出凸轮将妨碍盖304，因而不能将连接件设置于容器302上。
位于连接件每一侧的轮轴穿过位于连接件该侧的枢轴夹凸轮和推出凸轮，并且作为两个凸轮均可以在其上转动的支承件。
连接件主体部件在其侧面上突出，这些部件作为使手柄停止在垂直位置的止挡件并防止手柄妨碍任何配件。该连接件主体还容纳扭矩弹簧。
图10示出了手柄318处于下部位置时的连接件300的正视图。图11示出了连接件300的相应后视图。图12示出了手柄318处于上部/释放位置时的连接件300的前方透视图。图13是连接件300的底部透视图，示出了与枢轴夹凸轮314相连接的推出凸轮310。如所示，推出凸轮中具有凹槽以有助于连接件与容器的盖相连接。图14示出了手柄318处于下部位置时的另一底部透视图，自该下部位置推出凸轮能够向上转动。图15是连接件300的侧部透视图，示出了处于连接件主体301的外表面上的手柄止挡件320，该手柄止挡件限制了手柄318移动至垂直位置。图16是连接件的一部分的透视图，示出了枢轴夹308的细节以及相关的扭矩弹簧切口322。图17是枢轴夹凸轮316的透视图，示出了其结构细节，包括主盘状体332、主盘状体上的倾斜面324、具有被构造成与推出凸轮互锁的内表面330柱形轴环328、以及扭矩弹簧切口326。
通过如图9-17中所示的连接件的结构，提供了用于与基于衬件的流体储存和分配容器相接合的易于安装且可移除的连接件。
本发明的另一方面涉及装配密封件和利用该装配密封件的基于衬件的流体储存和分配包装。
图18-23中以示例性实施例示出了该装配密封件，图18-23示出了该装配密封件，且图23示出了安装在基于衬件的流体储存和分配包装中的衬件的装配件上的这种部件。
图18是根据本发明一个实施例的装配密封件350的透视图，示出了该装配密封件上部的细节。该装配密封件350具有主盘状体351，自该主盘状体向下延伸成柱形密封壁355。主盘状体351包括自该主体顶面向上延伸的环状凸台356。
图19是图18中的装配密封件350的透视图，示出了该装配密封件底部的细节。该装配密封件350包括盘状主体351和柱形密封壁355。装配密封件的中央底部359与主体351一体地形成，并且在图18中所示的密封件顶面上形成中央井式结构以及在图19中所示的密封件底面上形成相应的凸部。
图20是图18-19中的装配密封件的俯视图。如所示，该密封件包括盘状主体351和围绕中央井360的环状凸台356。
图21是沿图20中的线A-A截取的装配密封件的横截面图。所示的装配密封件350包括终止于锥形的外围边缘部分的盘装主体351，图22中以详细放大图示出了该外围边缘部分。
主体351具有主顶面352和主底面354。位于主体下端部的柱形密封壁355具有向内倾斜的外表面357。主体351包括被自主体的主顶面向上突出的环状凸台356围绕的中央井360。中央底部件359具有位于井中的主顶面362以及在被环状凹槽358环绕的装配件底部上限定出凸部的相应主底面364。
图22是图21中所示的装配密封件的外边缘部分的放大图。所示的外边缘部分包括主体351的顶面的向下倾斜的边缘外形，并且所示的柱形密封壁355与主体351一体形成并且自主体351向下延伸。
图23是图18-19中的装配密封件350的仰视图，示出了主体的外围边缘部分353以及向下延伸成的柱形密封壁355、中央底部件359、该装配密封件的主底面354、以及环形凹槽358。
图24是包括图18-19中的被安置成密封容器的装配件的装配密封件的流体储存和分配容器的部分横截面正视图。
装配密封件E在图24中被示为置于装配件H的开口中，该装配件又连接至衬件(图24中未示出)，并且盖G被示为在各个结构的互补螺纹处与该容器的硬质第二层包装的上部接合。
图24的装配密封设置提供了对与装配件H相关的衬件中的流体的有效密封，以保护这种流体不被流体储存和分配包装的周围环境污染。所示结构中的各种密封包括硬质第二层包装与盖G之间的二次气密封A，以及装配件(衬件的开口)与盖之间的二次气密封B。
如图所示具有拉环式手柄C，且装配密封件E被构造成提供通常在装配密封件与拉环之间的D处所表示的扣合连接。装配密封件E在其外围部分提供用于装配件H的圆法兰F。挡圈I相对于硬质第二层包装容器的颈部J来保持和定位装配件H。
本发明的装配密封件由任何合适的结构材料(诸如橡胶、聚合物或其它柔弹性材料)形成，并与被内部定位于装配件开口中的密封件的向下延伸的柱形壁相连接，以在将盖安装至容器上时有效地密封衬件中的流体内容物。密封件的向下延伸的柱形壁的外部垂直延伸表面形成与位于容器颈部中的装配件的内表面相配合的界面，用于提供装配件的延伸柱形密封区域。
向下延伸柱形壁的底部是锥形的，以保证装配密封件易于插入到装配件中。在密封件与装配件的颈部接触时，装配密封件中央部分的井式结构允许密封件弯曲或凸起，并为装配件提供强的密封作用。
装配密封件的外法兰部提供类似擦拭器的功能，以阻止在其上产生的颗粒进入下面的流体，并帮助支撑密封件的外边缘以防止其“卷入”并失去密封完整性。
图24中所示的盖具有与装配件H的嘴部处的径向向外突出的法兰接合的内凸部，并且用于支撑装配件的外边缘以阻止放大和减轻装配密封件上的压力。所述盖具有直接位于装配密封件上的拉环部件。装配密封件有利地连接至该拉环结构，使得在自由拉断拉环时，将装配密封件拉出该装配件并保持与拉环相关联。
图24中所示的装配密封件具有优于当前采用的隔膜密封件的如下优点(i)该装配密封件不被刺破或破坏，而是通过将其从所处的装配件中拉出来而移除，从而在移除装配密封件时产生的颗粒的数量远小于刺破破坏式密封隔膜时产生的颗粒；(ii)装配密封件具有在密封件的边缘区域处向外突出并延伸至盖的类似擦拭器的结构，以屏蔽地保护所容纳的流体不受密封件上的任何动作所产生的任何颗粒的影响；(iii)由于从装配件完全移除了密封件，与当前所采用的安装有探针时沿探针的整个长度来拉动的破坏式密封隔膜不同，可以对本发明密封设置中的探针进行安装，而不会与任何表面接触且不会带出(pick-up)任何颗粒并将颗粒带入到所容纳的流体中；(iv)本发明的装配密封件是独立且分离的部件，且其构成材料可以改变为适合容纳于流体储存和分配包装中的特定流体；(v)当连接至拉环时，可以很容易地重新插入装配密封件，以密封空的或部分使用的流体储存和分配包装；(vi)将探针插入到容器中的流体内所需的力非常小，这是由于本发明的装配密封件被完全移除；(vii)本发明的装配密封件可以相对于装配件上下移动，而不会影响装配密封件的密封作用，即，密封完整性不受垂直夹紧力的松弛的影响，这是由于密封件的向下延伸柱形壁与装配件内表面的延伸垂直接合的缘故。
本发明的另一个方面涉及一种适于与基于衬件的流体储存和分配包装相接合的盖，作为包装的封口。
图25是用于流体储存和分配包装的以盖侧壁上的抗转动结构为特征的盖370的示意性透视图。所示的盖370包括主盖体372，该主盖体包括柱形侧壁374和圆形顶壁376。侧壁374的特征在于沿圆周间隔开的切口380，这些切口从侧壁374的底边向上延伸至侧壁的中部378。所示实施例中的这些切口大体为矩形，且在其上端连接至大体向下延伸的抗转动指状件382。每个指状件382都具有长条部384，该长条部在不对其施加力时偏移至向外展开的位置，而且在其下端以径向向内延伸的凸片件386结束。指状件382可以与盖体一体形成，或者可以形成为单独的部件，然后在切口380中将指状件固定至盖体。
盖370可以是任何适当结构材料的一部分。在具体实施例中，盖适当地由聚合物材料(诸如聚乙烯、聚丙烯、聚四氟乙烯)、或其它适当的结构材料形成。
图26是流体储存和分配容器390以及与其匹配地接合的相关盖结构的示意图。所示的容器390具有颈部392，在颈部中，形成有隔离开的锁定孔394的沿圆周延伸的带。在所示的实施例中，锁定孔394是正方形的，以与凸片386配合。如图所示，盖体372被制造成使指状件382向外偏移，长条部384向下延伸远离盖体，与锁定孔394脱离接合。
图27是流体储存和分配容器以及相关的盖结构和连接件本体结构的示意图，示出了它们的协作特征。盖372被连接件本体396过度适配，连接件本体的柱形壁支撑在盖的指状件上，从而每个指状件的凸片386锁紧地接合流体储存和分配容器390的颈部上的相应的锁定孔394。
因而，当分配连接件与盖接合时，连接件的柱形侧壁向下滑过盖，并对指状件382径向向内施加力，使得凸片386与容器390颈部区域的外表面中的锁定孔配合。通过这种设置，防止了在连接件与盖接合时盖从容器颈部上旋松。
图28中示出了适于与基于衬件的流体储存和分配包装相接合的作为该包装的封口的盖的另一抗转动结构。
图28是以容器400颈部区域402上的抗转动锁定结构404为特征且具有相关盖406和连接件408的流体储存和分配包装的透视图。如图所示，容器颈部区域402以其上的螺纹为特征，该螺纹与盖406上的互补螺纹进行螺纹接合。在其外表面上，盖406具有向外延伸的突出件407，在连接件与盖接合时该突出件由连接件408锁定。连接件本体在这种接合功能中用于使突出件向内弯曲，从而启动锁定结构。在这样启动后，当盖在与连接件接合之后转动时，突出件由棘齿结构404的牙锁定，从而防止盖从容器上移除。
当从盖上移除连接件时，盖上的凸片件将回弹到其向外偏移的位置，而离开与棘齿结构404接合的位置。
因此，盖上的突出件407被构造成使得它们正常地偏移至向外延伸的位置，而脱离与棘齿结构404的接合。只有在将突出件压向径向向内的位置时，它们才变得可用来与棘齿结构404进行锁定接合。
图29是图28中的流体储存和分配容器以及相关的盖和连接件结构的透视图，示出了它们的细节。与图28中的编号对应地对图29中的各部件和特征进行编号。在图29中所示的位置中，盖406上的突出件407已经被连接件408平移到盖的转动被棘齿结构404阻止的位置。
图30是图28中的流体储存和分配容器的盖406的透视图，示出了位于其正常向外偏移位置中的突出件407。
图31是图30中的盖406的俯视图，示出了位于其正常向外偏移位置中的突出件407。
图32是图28中的流体储存和分配容器400的透视特写图，示出了位于容器颈部区域402上的抗转动锁定结构404的细节。如所示，颈部区域402可以设有与盖内表面上的螺纹互补的螺纹，从而盖可以与容器颈部接合。
通过图28-32中所示的结构，提供了一种在连接件连接至盖时用于防止盖被从容器移除的简单设置。
图33-36示出了适于与基于衬件的流体储存和分配包装接合的盖(作为包装的封口)的另一种抗转动结构。在该实施例中，锁定结构包括位于容器颈部区域上的凸部，在将盖旋入容器上的最终位置中时该凸部安装到盖下部上的切口中。该实施例中的锁定结构与连接件是否安装在盖上无关。通过以与锁定结构成90°挤压盖的对侧以使盖的横截面形状变形为椭圆形或卵形，或者通过适当的移除工具可以旋开盖。
作为另一个变型，可以将锁定结构设计成可以通过在突出件上拉动而将其扯断。当安装了连接件时该突出件将被盖住，从而需要在可以移除盖本身之前从盖上移除连接件。
图33是以容器颈部区域416上的抗转动锁定结构418为特征的流体储存和分配容器414的透视图。容器414本身可以由任何适当的结构材料形成，而在一个优选实施例中，容器由诸如聚乙烯、聚丙烯、或聚四氟乙烯的聚合物形成。抗转动锁定结构418由设置在容器414肩部上的位于容器颈部区域处的垂直直立柱构成。如前所述，容器的颈部可以设有适当的螺纹或其它匹配的接合结构，以在使用容器时帮助与盖进行连接。
图34是与位于图33中的容器颈部区域上的抗转动锁定结构相接合的盖420的透视图。盖的特征在于下端部具有的壁厚比沿圆周隔离开的全厚柱件424之间的且在该下端部上方的盖侧壁部薄，从而限定出一系列沿圆周隔离开的通道422。
图35是与图33中的位于流体储存和分配容器414颈部区域上的锁定结构418相接合的图34中的盖420的透视图。如图所示，由于盖的通道422中存在柱锁定结构418，所以柱件424阻挡盖422的转动运动。
图36是与图33中的位于流体储存和分配容器的颈部区域上的柱锁定结构418相接合的图34中的盖420的正视图。
通过这种设置，盖420易于与容器414的颈部接合，并固定在锁定位置中，作为防止盖从容器上移除的安全措施。
图37-39示出了作为用于包装的封口的适于与基于衬件的流体储存和分配包装相接合的盖的另一种抗转动结构。在该实施例中，锁定结构包括容器颈部区域上的垂直突出件，该突出件在将盖旋入容器上的最终位置时阻挡盖下部上的凸部。
图37是以位于容器颈部区域432上的抗转动锁定突出件434和436为特征的流体储存和分配容器430的透视图。容器的颈部431可以设有用于与盖连接的螺纹或其它接合结构。如图所示，突出件434和436从容器表面向上延伸。
图38是与容器430的颈部相连接的盖440的透视图，盖的凸部442与容器颈部区域上的抗转动锁定突出件434接合。该实施例中的盖被连接件444盖住。
图39是图38中的盖440的透视图，示出了位于盖下边缘部的彼此沿圆周隔离开的锁定凸部442。
在本发明的另一个方面中，用两个密封件(即，非湿式气体密封件和易于除去的液体密封件)代替当前采用的破坏式密封件。气体密封件由位于盖与衬件的装配件顶部之间的圆环构成。该密封件保持施加在硬质的第二层包装与衬件之间的压力以免渗漏到盖的中央区域中，否则将通过出口而从连接件探针入口溢出。为了实现衬件的压缩以迫使所容纳的流体通过探针分配组件流出，需要气体压力来挤压衬件。
液体密封件是阻止液体在装配件处溢出衬件的简单塞子。该塞子易于通过以下两种技术之一而移除。
在第一种结构设置中，液体密封件连接至盖上的拉环的底部。当拉动并撕破位于盖顶部中央的弱化圆形区域时，就移除了液体密封件。然后探针组件可以被直接安装到容器中，而无需移除盖并且无需刺破密封件。设置具有O形环密封件的独立塞子以封闭盖中的加压开口。该塞子优选地借助于小的吊带或其它连接结构连接至拉环，因此在移除拉环时很容易移除塞子。设置塞子来密封加压开口使得加压开口能够以良好的密封表面来完全成型。
在第二种设置中，液体密封件连接至位于盖中央的小塞子的底部。当从盖上旋开塞子时液体密封件被移除。于是可以安装探针组件。此外，移除塞子露出孔以使探针进入。由于加压开口被可旋开的中央塞子盖住并密封，因此加压开口可以以良好的密封表面来完全成型。
通过这些设置，可以安装分配组件的探针，而无需拆封或破坏密封件。这说明了在当前实际应用中需要较高刺破力来刺破破坏式密封件，并且避免了产生会进入衬件中的高纯度流体的颗粒。此外，前述两种设置中的盖中的加压开口能够平滑地成型并最终有效地密封而无泄漏。
在另一个实施例中，盖由涂敷有聚四氟乙烯涂层的聚乙烯形成以实现液体密封。在另一个变型中，在盖的内侧底表面与气体密封垫的顶部之间夹有另一个平垫以实现液体密封。
具体实施例中的其它密封设置包括使用具有两个O形环的塞子来密封衬件装配件的内部直径，以形成液体密封。在该设置中可以使用单独的塞子来密封加压开口。作为另一个替换，提供了由聚四氟乙烯形成的旋入主盖中的中央塞子。该塞子在衬件装配件的顶部上形成面密封，以形成液体密封。可以提供单独的塞子来密封加压开口。如再一个变型，可以提供一种固态聚四氟乙烯中央塞子，其具有另外的楔形机构，以将中央塞子压在装配件的顶部上而将其保持在适当的位置。该聚四氟乙烯塞子实现与衬件装配件的顶部的面密封，以形成液体密封。如在另一设置中，可以提供一种单独的塞子来密封加压开口。
图40-43中示出了本发明的其它实施例，示出了连接有连接件的基于衬件的流体储存和分配包装的各种手动式连接件移除设置，其中，连接件手柄是手动操作来实现连接件与各个流体储存和分配包装的脱离。
图40是包括流体储存和分配容器452(分配连接件454与之固定)的流体储存和分配系统450的一部分的透视图。分配连接件454在连接件的每个相应侧都使用单个的柱460、461。手柄455固定到连接件的壳体，并在其相应端连接至径向凸轮456、457。当手柄455转动时，径向凸轮456、457向内推动枢轴夹458(图40示出了枢轴夹458，并且对称构造的系统在连接件454的与图40中所示的标号相对的一侧上具有另一个枢轴夹)。随着手柄的连续转动，手柄每个端部处的径向凸轮推动各个柱460、461。每个这样的柱都是弹簧加载的，柱460上设置有弹簧462且柱461上设置有弹簧463。每个柱的弹簧载荷保证了手柄在使用后移动回位置。这些柱用来传递来自手柄的力矩以在流体储存和分配容器452上施加向下的力。各个柱上的弹簧与扭矩弹簧一起保证手柄返回其初始方位。
图41是示出了另一流体储存和分配系统的透视图，其中连接件474连接至流体储存和分配容器472。该实施例在连接件的每一侧上利用了两个柱。如图41所示，在系统的左侧示出了两个柱478、479，如图中所示，在系统的右侧示出了其中一个柱(柱481)。
手柄476固定至连接件的壳体，其相应的端部连接至用于将手柄的力矩转换为垂直力的凸轮484。当在凸轮484的作用下双柱部件向下运动时，这种部件内侧上的轮廓向上倾斜以线性运动压到枢轴夹483上。每个柱上的线性弹簧与扭矩弹簧一起使手柄返回其初始方位，随后对其进行手动变换。
图42是根据另一个实施例的流体储存和分配系统490的正视图，其中采用联接设置来将手柄496上的力矩转换成垂直力。该联接将力集中在与柱485、486相关的双柱部件487、488上，并允许使用单个扭矩弹簧来将手柄和双柱部件返回至闭合位置。这种设置还利用线性凸轮来打开各个枢轴夹491、493，并利用双柱来“推开”流体储存和分配容器492。
图43是根据本发明另一个实施例的流体储存和分配系统的正视图。系统500包括流体储存和分配容器502，连接件504连接至该容器，该连接件在其相对的每一侧上具有与对应的枢轴夹508相关的侧平台505。每种情况中的侧平台都包括双柱506、507(与图43的右手侧示出的侧平台相对的侧平台是对称地构造和设置的)。
为了将连接件504与流体储存和分配容器502分离，用户将两手放在连接件本体的各侧上，手掌与各个侧平台505接触，并抓住用于支撑的连接件本体。用户以挤压方式向各个侧平台施加压力。各个柱用线性凸轮启动枢轴夹508，于是四个柱推开容器502。
本发明还在另一个方面中构思出具有锁定突出件的盖/编码环组件以及与这种组件匹配地接合的流体储存和分配容器，其中，容器以锁定齿和误连接干涉部件为特征。
图44是这种流体储存和分配包装的分解透视图，其特征在于防止该流体储存和分配包装与错误的分配连接件相接合的键码结构和误连接干涉结构。
如图44所示，流体储存和分配容器510设有在外表面上具有螺纹F的颈部512，该螺纹用于与盖D的内表面上的螺纹合作接合。容器510的特征在于颈部512附近的容器上表面上的一组锁定齿G，并且颈部512附近的该上表面上的干涉部件H用于防止分配连接件与容器的误连接。
盖D的特征在于盖下部上的锁定突出件E。此盖设有两个或多个沿圆周相互分隔开的水平锁定突出件。当旋上盖时，这些锁定突出件在容器颈部上的锁定齿上滑过，但是当试图旋开盖时，这些锁定突出件抓住或“咬”进锁定齿中。优选地，盖由柔性结构材料构成，诸如聚乙烯、聚丙烯、聚四氟乙烯等。
通过上部编码环A的环延伸部C来推入或启动盖上的锁定突出件。由于塑料盖/编码环组件的柔性性质，因此在将盖旋上容器的颈部时，盖的锁定结构被压在容器510的螺纹和锁定齿上。当随后旋开盖时，容器上的锁定突出件和齿由于它们各自的啮合面的角度而开始相互接触。这两个部件的干涉将盖锁定至容器。
在需要时可以通过首先移除编码环和与之连接的下部突出件启动环(编码环延伸部C)来移除盖。诸如螺丝刀的工具可以插入到编码环A中的槽B中，于是可以将编码环除去。一旦除去了编码环，就可以将锁定突出件移动远离容器上的锁定齿，随后可以很容易地旋开盖。由于编码环不再连接至盖，所以编码环不会再被用于另一个容器上。
误连接干涉部件H位于容器510的顶表面上并从该表面向上突出。定位该干涉部件，使得在安装探针组件时不接触智能探针组件，但是在试图安装不正确的连接件时，该干涉部件将干涉该不正确的连接件。
图44的流体储存和分配组件的特征允许以迅速方式来装配盖和容器，但是防止了通过正常手段对它们进行误装配。所示出的设置允许利用普通工具(即，平刃螺丝刀)移除盖，并且该移除处理使得盖不适于再次使用。容器连接件干涉部件防止了不正确的连接件被安装到容器上。
图45是图44中所示的流体储存和分配包装的盖和编码环组件515的透视图。该组件包括与盖D连接的以及与沿盖D圆周的编码环延伸部C连接的编码环A。
图46是图44中所示的流体储存和分配包装的盖和编码环组件515的仰视图。该视图示出了被编码环延伸部C推入的锁定突出件，盖D位于此盖/编码环组件中。
通过图44-46中所示的设置，在需要时将盖从容器上移除，同时避免了有害地再利用盖和键码结构的可能性，保证实现正确的分配连接件的连接，并避免了不适当的分配连接件的误连接。
为了防止盖的再利用，涉及螺纹的变形、破坏或移除，或者以不同方式将螺纹从流体容器上移除的本发明的其它方面包括带有切开或破坏螺纹上方的区域的齿状锁定部的螺纹盖，以及其中试图移除盖导致螺纹裂开或破坏的设置；在容器颈部上与制动挡块螺纹接合的两片式盖，从而在移除盖时该螺纹在高力矩下被剥掉；具有防止盖被旋开的抗转动部件的旋上盖，诸如在螺纹上具有破坏区域(通过旋开来启动)的盖的设置，其中，可以通过拉动垂直拉环来移除残留的螺纹区域；两片式螺纹；裂开式螺纹；自旋开的螺旋状螺纹；当移除盖时经历了变形的成形螺纹；以及盖上的螺纹，该螺纹以较大面积额外形成在化学物品供给设施处的容器颈部上，从而在将盖从容器上移除时盖螺纹被破坏。
涉及防止盖的移除和/或再利用的盖变型的本发明的其它方面包括以下内容提供带有夹子(需要工具将夹子压入位置)的盖，其中，当将夹子压入位置时能够以迅速方式将盖进行安装或移除；提供使盖保持在原位的销，移除工具适于使该销离开固定盖的位置；提供带有压入销的旋上盖以防止旋开盖，其中，为了旋开盖，只能使用特殊工具来移除销；提供具有抗转动锁定部的旋上盖，其中，为了打开盖必须移除编码环，且其中，该旋上盖还包括为了释放锁定部必须拔起的销或必须挤压在一起的突出件；提供带有抗转动锁定部的旋上盖，其中，为了打开盖必须使用特殊工具来移除编码环，其中，抗转动锁定部是棘齿型的，在容器上和盖上都具有齿，从而需要高力矩来移除盖；具有抓取部件的编码环力矩工具的使用仅是“力矩打开(torque on)”型的，即，在试图旋开盖时，工具抓取部件将不进行抓取，从而为了移除盖必须移除编码环；提供将盖连接至容器的盖上的第二环，其中，当移除盖时，破坏该环；提供具有用于移除盖的拉环的咬合式盖，其中，一旦移除了拉环就将打开盖；提供搭扣的裂片，其中，搭扣位于裂片处；提供需要特殊工具将盖从容器上剥离的咬合式盖；提供收缩盖或覆盖件，其是加热起作用或变干起作用的；提供在化学物品供给设施处在容器颈部上的部件上所形成的非螺纹盖，其中，容器部件与盖之间的干涉部件使盖保持在适当位置，从而只有利用工具或通过将其撬掉才可移除盖，并且盖的移除毁掉了盖的形成区域，使得部分盖保留在容器上并且可以利用特殊工具或垂直拉环来移除；提供如此构造和设置的盖，即盖的移除改变编码环，从而该盖将不会再与分配探针配合；提供通过安装分配探针而将其切掉的编码环，使得在移除分配探针时编码环脱落；提供在移除分配探针时被破坏的磁性结构；制造具有与盖中的凹部配合的部件的容器，从而在移除盖时，容器部件破坏并变为留在盖凹部中，且该盖不能被用于新的容器；制造具有破坏突出件的盖，该突出件将盖保持在容器上的适当位置中，并且该突出件在安装时向下滑入容器中的互补凹槽中且在移除盖时被破坏；制造带有用于在移除盖时操作以释放染料的内置染料释放机构的盖；制造具有安全型突出件的盖，该突出件在移除盖时被破坏，从而使破坏了突出件的空容器将很明显地误用；以及在容器和盖两者中提供射频识别(RFID)集成电路芯片，与防止操作者打开盖的监控软件配合。
图47-56示出了本发明的其它分配组件探针连接件实施例，其具有易于从流体储存和分配包装上移除探针连接件的改进的人机工程学特征。当前采用的探针组件可能需要施加20-30+磅的力来实现从容器上移除探针组件。移除操作的人机工程学特征对于操作者来说是不舒服和笨拙的，这需要将容器保持在一只手中，同时另一只手必须将锁定夹捏到一起并将探针组件从容器中提起。由于直到锁定夹被完全压下才能打开锁定部这一事实，使得打开锁定夹更加困难。操作者经常不能成功地移除探针组件，只是发现锁定夹没有被完全压下。图47-56中的探针组件被设计为使这种困难最小化，并提供符合人机工程学的改进的探针组件移除。
图47是根据本发明另一实施例的分配组件的连接件550的透视图。连接件550包括连接件本体552，该连接件本体连接至与凸轮558和560互连的符合人机工程学形状的手柄556。凸轮558和560又与枢轴夹562和564合作，以在手柄处于垂直直立位置时打开用于从盖554上移除连接件的枢轴夹，以及在手柄处于其下部位置(如图47所示)时，将枢轴夹保持在关闭状况。
在该实施例中，手柄由连接件本体中的复位弹簧(未示出)偏压至手柄下部位置。该手柄具有两种功能，当手柄处于上部位置时保持栓销打开，并且提供用于手动抓取和施加力来将连接件从与之相关的包装上分离开的符合人机工程学的增强手柄。
该手柄在邻近其枢轴附近具有两个附着的凸轮表面。当手柄从其起始位置邻近于连接件的壳体向下成一定角度转动至垂直位置时，凸轮使得将连接件保持至包装的盖的枢轴夹不活动。只要手柄处于垂直位置，枢轴夹就保持打开。当手柄处于垂直位置时，可以将其手动向上拉动，以使连接件与盖以及相关的容器分离。当释放处于垂直位置的手柄时，连接至凸轮的扭矩弹簧使手柄返回到其起始位置并重新启动枢轴夹。通过该设置，允许操作者完全集中在使连接件与包装分离上，而无需在对连接件施加拉力作用以使其与包装分离的同时在打开枢轴夹上白费力气。
该实施例中的每个凸轮都具有转动中心在手柄枢轴处的凸轮轮廓，其中，枢轴夹的接触面轮廓与手柄的轮廓相匹配。扭矩弹簧将连接件的壳体与手柄互连，并且可以是有效地将手柄偏压至想要的下部位置的任何适合的类型。在该实施例中，手柄凸轮和枢轴夹经常相互接触。
图48是图47中的连接件的另一个透视图，其中，相对于图47中相同的部件对应地编号，该图示出了手柄、连接件和枢轴夹部件的特征和细节。
在图47和图48所示的分配组件连接件的变型中，可以在凸轮与枢轴夹之间设置一小轮或球以减小摩擦，诸如通过在凸轮和枢轴夹中设置互补轨道、将球保持在轨道中以最小化摩擦。可选地，可以向凸轮和枢轴夹的支承面涂敷减磨涂层，用于同样的目的。这种设置系统保证复位弹簧有效地使手柄返回至其起始位置。
图49是根据本发明又一实施例的分配组件的连接件568的正视图。在该实施例中，符合人机工程学的增强手柄569安装在连接件本体570上，使得手柄相对于连接件本体可枢转地运动。利用连接部572和574将手柄连接至枢轴夹576和578。连接件本体570安装在又与容器580连接的盖582上。
图49设置中的手柄与复位弹簧(未示出)和推出部件相关联。该设置中的手柄起到打开栓销、提供用于手动抓取以及施加力来将连接件与容器分离的符合人机工程学的增强部件、并支撑启动连接件推出部件的连接部的功能。当手柄被枢转地向上移动或延迟动作(delay)时，连接部将枢轴夹驱动至打开位置，以及将力和运动传递至推出部件。
从而，当手柄从水平起始位置转动至垂直直立位置时，连接至手柄的连接部转动垂直栓销连接部来释放枢轴夹。栓销连接部的顶部中的推出部件与盖582接触。随着垂直栓销连接部继续转动，它们推动与容器连接的盖脱离连接件本体。
该设置通过破坏O形环密封件的静摩擦、向上移动连接件并减小在不受O形环拉力之前必须被拉动的距离来减小分离力。该设置的枢轴夹打开部件允许操作者全部集中在从容器分离连接件组件上，而无需努力打开枢轴夹。手柄便于迅速施加所需的分离力。当释放时，通过扭矩弹簧的作用，手柄将转动40-60°的弧度到达“锁定”位置。
图50是图49中的连接件的透视图，其中，所有的零部件都被相应地标号。
图51是根据本发明又一实施例的处于手柄606的第一位置中的分配组件的连接件600的侧视图。手柄606安装在连接件本体602上并与大辅助凸轮608连接，该辅助凸轮与图47和图48中所示类型的枢轴夹启动凸轮互连。该辅助凸轮与容器顶部接触，并在手柄转至垂直位置时帮助连接件组件从容器上分离。
在该实施例中增加大辅助推出凸轮，通过破坏连接件与盖之间的O形环密封的静摩擦，以及向上移动连接件从而减小在其不受O形环拉力之前必须被拉动的距离来减小分离力。当手柄转动至垂直位置时，连接件从盖上释放，并且在手柄被释放时，手柄中的扭矩弹簧使手柄返回至下部的起始位置。因此，该大辅助推出凸轮向容器604提供推出作用，并请求将容器推出连接件。
图52是图51中的处于手柄的第二垂直位置中的连接件600的侧视图。在该位置中，推出凸轮608挤压容器604的顶面，以提供使连接件与盖和相关联的容器脱离的推出作用。
图53是图51中的处于手柄606的第三位置中的连接件600的侧视图。在该位置中，示出了枢轴夹610。因此，当辅助凸轮接合容器的表面并提供推出/脱离作用时，通过主凸轮的作用，手柄向上朝向垂直位置的运动实现了枢轴夹与盖的脱离。
图54是根据本发明再一实施例的分配连接件的一部分的分解图。该实施例中的分配连接件包括安装于连接件壳体B上且通过紧固件C连接至凸轮F的手柄A。通过“手柄复位”扭矩弹簧D将手柄偏压至向下的接合位置。枢轴螺栓E将手柄A和凸轮F相互连接。枢轴夹G设置在连接件壳体B的每一侧，并且用来从流体储存和分配容器上的盖上锁定和打开连接件。
图55是根据本发明再一实施例的分配组件的连接件700的简化立体图。连接件700包括连接至“手柄复位”扭矩弹簧B和主驱动连接部C的手柄A。每一主驱动连接部C均通过竖直栓销连接部E连接至推出部件D。推开部件D和垂直栓销连接部E连接至锁定臂G，该锁定臂与固定有编码环H的盖F接合。
图56是图55中的连接件的装配透视图，示出了连接件本体I(在图55中未示出)，并且对图56中的所有其它零部件相对于图55中连接件的相同部件对应地编号。
参照以下非限制性的实例来更加充分地示出本发明的特征和优点。
实例1 进行测试，以确定用于在以压力为媒介从结合图3所描述的普通类型的基于衬件的流体储存和分配系统分配流体的过程中进行空检测监测的压力传感器的效力，以确定用于分配光致抗蚀剂的特定基于衬件的流体储存和分配包装的适宜性，该包装作为包括下游分配器且具有位于其上游的处理过滤器的分配序列的一部分。如在本文的上下文中所使用的，术语“下游分配器”指与流体利用工具相关的处理设备，以便以预定数量或预定速度将流体提供给该工具。该下游分配器例如包括最终分配泵(诸如可压缩管泵)、或流动计量装置、注射器、喷射器、压缩器、下部喷射头、喷管等。
当维持正的下游分配器吸入压力并且于分配端部(EOD)维持一致的分配剖面以及将所期望的化学试剂利用率维持在99.75％时，本申请中的分配操作必须使所需的光致抗蚀剂流过处理过滤器并且进入到下游分配器中。在本流体储存和分配系统中所使用的衬件的容积是4L，并且大于99.75％的化学试剂利用率要求衬件中的剩余化学试剂量小于10L。
在本测试中利用了Mykrolis冲击PCM过滤器(0.02μm)。分配方法如下1.5秒分配1mL、分配泵吸入冲程持续时间15秒、并且每分钟重复一次分配射流循环序列。在该衬件上施加驱动压力以实现例如大约7psig的压力分配。
为本测试所选择的测试粘度是1、3、10、20和30厘泊，对每种粘度均进行两次重复测试。将丙二醇混合至所需的粘度，作为测试液体。在最后的500mL分配期间，三个系统压力与分配剖面质量一起被记录。如所提及的，将分配压力设定在10psig，当分配到液体压力为1.3psig时终止测试。可以改变这种分配压力和终止压力，并且该分配操作可以例如采用10psig的分配压力和4.3psig的终止压力。
每次测试之后，通过移除衬件并挤出液体以及测量来测量剩余的化学试剂。将该测试设计为处于涂层工具中所使用的压力之下，从而使分配剖面质量的衰减可以是相同的，并且使实际利用处于所确定的分配剖面衰减开始之前。
本测试的另一目的是允许足够的驱动压力以防止出现负的下游分配器吸入压力，随着分配剖面的衰减，负的下游分配器吸入压力有可能导致溶解的气体游离并产生微气泡。基于光致抗蚀剂的粘度、过滤器的选择以及分配序列中的流动线路，期望选择的驱动压力和空检测压力对于分配剖面和利用率将是最优的。通过绘制三种系统压力，期望对于空检测压力传感器的最优位置将是相同的。
除了4L基于衬件的包装外，该测试设备包括排放至1500g天平(scale)的分配流动线路。在流动线路中设置有Entegris PFA小龙头、Entegris模式4210的0-30psig的Pdcr、直径为45mm的200mL贮液器，并且该流动线路顺序与包括SMC LVH20L-S07手动PFA阀、以上所提及的Mykrolis冲击PCM过滤器(0.02μm)、Iwaki Tube-Phragm PDS-105HB-EPW25mL的分配泵、Omega PX303-050A5V的0-50psig的Pdcr、Nupro 0.25英寸不锈钢AOV阀、以及CKD 0.25英寸PFA AOV阀的排放/排泄管线相连接。该分配管线是0.25英寸PFA管分配管，在最终阀与1500g天平之间设置有0.125英寸PFA管。
在混合至测试条件的粘度之后，在将测试液体注入到衬件中之前以及在对分配流出物进行测试之后测量该粘度。本测试开始于对于系统而言最难以担负的30厘泊的标称粘度，并且在重复两次测试之后对重新混合后的其它粘度继续执行该程序。该程序在所有测试过程中均与为处于30厘泊的第一次重复所设置的包括以下各步骤的程序一样。
利用丙二醇粘度曲线图，可以确定90％丙二醇和10％水溶液将提供大约32厘泊的粘度。将3600mL的Sierra牌丙二醇防冻剂与400mL的水相混合，并用Cole-Parmer离心圆盘黏度计测量该粘度。于所记录的23℃、25厘泊下测量其粘度。通过漏斗将400mL的溶液引入至4L衬件中。将巧妙的盖与衬件相连接，并且此后将衬件连接至位于测试设备上的分配探针。将10psig的加压空气连接至用来对衬件进行增压的分配探针。同时，通过贮液器分离器(其能够从分配的液体中分离并排放气体，以达到零或接近零的顶部空间条件)分配3500mL的液体，并且通过SMC LVH 20L-S07手动PFA阀排放该过滤器，以及开启系统控制板。记录最后500mL的分配。当Entegris模式4210压力传感器达到1.3psig时终止测试。然后，关闭PFA小龙头并将衬件从管线中取出。移除衬件，并在切断内容物并移除所剩余的丙二醇之后测试内容物，在挤压移除之前或之后进行称重。测量500mL分配排放物的粘度并记录(对于第一次测试确定23℃下为28厘泊)。此后，将新衬件充满测试流体并重复该过程。
图57是以psig位单位的压力作为时间(以一天中的时刻为单位)的函数的曲线图，示出了所分配的液体的压力(曲线A)、加压气体的压力(曲线B)、入口下游处的分配器压力(曲线C)、以及以克为单位按比例测量的累积分配液体的重量(曲线D)，表示在13:12:00至18:00:00的时间段期间粘度为25厘泊/28厘泊的测试过程1。
图58是以psig位单位的压力作为时间(以一天中的时刻为单位)的函数的曲线图，示出了所分配的液体的压力(曲线A)、加压气体的压力(曲线B)、入口下游处的分配器压力(曲线C)、以及以克为单位按比例测量的累积分配液体的重量(曲线D)和线性(比例)曲线(曲线E)，表示在17:02:24至17:45:36的时间段期间粘度为25厘泊/28厘泊的测试过程1。
分配剖面衰减的明显证据出现在分配端部(EOD)的压力达到1.3psig之前的那20分钟。这些总计为20mL的光致抗蚀剂以及作为分配剖面衰减结果而受到影响的20-300mm的晶片。EOD变焦曲线图(图58)示出了在该EOD部分期间下游分配器的压力处于大气压力之下。该下游分配器的压力在最终的空状态时衰减至-4psig。这明显指出当采用这种下游分配器方法利用0.02μm的Mykrolis过滤器来分配30厘泊的光致抗蚀剂时，对于最优操作希望该驱动压力至少是大约15psig。
下游分配器的压力低很多并且由于通过过滤器时的压力衰减而易受尖峰脉冲的影响，建议将主压力传感器设置在过滤器的下游，例如处于下游分配器自身中。
本发明的另一方面涉及用于材料储存和分配包装(诸如基于衬件的包装)的连接件，在该包装中连接件具有与此相关的安全锁定装置。
如果将具有固定于其上的连接件的材料储存和分配容器拆开，同时该容器包括处于超出大气压的压力下的材料，则压力释放的结果可能导致容器内容物的压力调节扩散到容器的周围环境中。例如，在液体化学试剂以30磅/平方英寸(psi)的压力储存于基于衬件的包装中的情况下，连接件从相关容器上的拆卸可能导致化学试剂沿各个方向喷溅，当该化学试剂在特性上是有毒的或有害的时将造成严重危险。
本方明于本发明的一个实施例中针对该安全问题，提供了一种具有安全锁定部件的连接件，以防止当容器处于压力下时使用者从相关容器上拆开该连接件。因而，提供锁定和/或压力释放措施以确保该连接件不会通过意外打开或其它方式从加压的包装上吹走。
本发明的一个实施例提供了一种用于材料储存和分配包装的连接件。该连接件包括主体部，包括安装于主体部上的并在其上枢轴地转动的手柄。该连接件适合于与用来对其进行封闭的材料储存和分配容器相连接，并且包括用于从该容器分配材料的分配组件、以及与手柄可操作地连接的并且当手柄处于下部位置时适合于防止连接件从材料储存和分配容器上移除的压力释放装置。止挡件与该压力释放装置可操作地连接，以在手柄枢轴地转动至下部位置时将该手柄维持在下部位置。选择地脱开该止挡件，以使压力释放装置将容器中的压力排放至周围环境，并且允许该手柄向上枢转地转动，此后当手柄处于上部位置时将该连接件从容器上脱开，从而能够在环境压力下从容器上脱开该连接件。
在这种连接件的一个实施例中，压力释放装置在手柄的相对端部与该手柄可操作地连接。手柄在相对端部包括与该连接件的主体部相连接的轮轴部。
在另一实施例中，连接件包括两个止挡件，并且每个轮轴部均包括与止挡件中对应的一个止挡件相接合的凸轮面。每个止挡件均包括被弹性偏压至锁定位置以防止手柄运动的按钮，并且手工地按压按钮以将该按钮从其锁定位置脱开，从而使手柄能够运动。
该连接件可以采用任何适宜的形式，包括以当容器与连接件相连接时适于加压气体流入容器中的加压气体入口组件为特征的连接件。该压力释放装置可以包括三通阀或在使用时其它促使排放与连接件相关的容器中的气体的压力释放装置，从而允许连接件的手柄升高以使连接件与该容器脱离。
一个实施例中的止挡件包括在与手柄相接合的锁定位置与释放位置之间手动地移动的滑动件。该止挡件可选地可以包括气缸，该气缸选择地促使突出件的延伸部与手柄相接合并且不促使与手柄脱离的突出件缩回。该突出件可以被构造和设置为接合手柄的轮轴部，并且该突出件可以通过与突出件相连接的偏压弹簧的作用而运动。
本发明的再一方面涉及一种包括材料储存和分配容器的材料储存和分配包装以及如上所述的与容器相连接以封闭该容器的连接件。
该材料储存和分配包装可以是适合在终端使用中使用的任一适宜类型。例如，该包装可以是筒中袋(BID)、瓶中袋(BIB)、或者使用用于保持最终待分配的材料的衬件的其它形式。例如，该衬件可以保持化学试剂，诸如光致抗蚀剂材料或其它适合于在制造微电子器件产品时所使用的材料。在这种应用中，可以将该材料储存和分配包装连接至半导体加工工具或设备、或其它终端使用设备或与从该包装中分配的特定材料相一致的处理系统。
包括容器和连接件的包装可以包括容器中的衬件，其中连接件具有用来连接流动线路或其它用于将所分配的材料传送至同一使用地点的传输结构。该连接件还可以包括用于连接至加压气体源的辅助压力端口，以将压力施加于容器中的衬件上用来压紧该衬件，从而当液体或其它所容纳的材料被从包装相应地分配时容纳材料的衬件的容积逐渐变得更小。
因此，本发明旨在提供一种储存和分配材料的方法，其中，材料被设置于容器中，并且连接件与该容器相连接以形成容纳包装，其中，连接件是如上所述类型的具有手柄的连接件，该手柄可在容器中具有压力的第一锁定位置与在容器和包装的周围环境之间没有压差的情况下从该容器上移除连接件的第二位置之间转动。本方法包括在手柄处于第一位置时选择地减少容器中的压力，以使手柄能够从第一锁定位置转动至第二位置。
根据以上所述很显然，连接件和相关的容器可以具有各种结构和形状。
在一个特定实施例中，连接件包括三通阀，该三通阀连接至容器的内容积、以及压力源和通向包装的周围环境(诸如大气)的排气口。这种三通阀通常处于打开的状态，以允许对容器进行加压，从容器中对材料进行压力分配。例如，这种压力分配操作可以包括在容器中的衬件的外表面上施加压力，以逐渐地压紧衬件，迫使衬件中的内容物通过分配喷管，该分配喷管与连接于适于利用所分配材料的下游设备的外部流动线路接合。
在这个实施例中，连接件采用按钮，该按钮可以例如是开关、杠杆或其它手动致动件的形式，或可选地是自动致动件，并能够被按压以阻断压力并将容器中的压力排放至大气或容器所处的其它周围环境。
可以通过释放杠杆(例如连接件的可转动手柄)而将这种三通阀的安全特性结合到连接件中。可以将三通阀设置于连接件本体上，例如位于连接件的外围部分上。可以在释放杠杆中设置槽口，以允许在释放杠杆处于下部位置时打开该装置。于是，为了从容器上移除连接件，使用者必需推动按钮以促使容器排放。该按钮的作用是防止释放杠杆的枢转转动，从而在对容器加压时不会从容器上移除连接件，除非按下按钮。
在另一实施例中，通过在连接件与容器相接合且释放杠杆转动至下部位置时与处于锁定位置的释放杠杆相接合的滑动件的作用，采用三通压力释放装置来锁定释放杠杆。接着，滑动件必须向上转动以从释放杠杆上脱开该滑动件，从而使释放杠杆可以枢转地转动以允许连接件从容器上脱开。于是，滑动件的向上转动将促使压力释放阀排放该容器并允许连接件从该容器上安全地脱开。
在再一实施例中，可以采用气缸或线性致动器作为用于连接件的锁定装置。在一个实施例中，当存在加压条件时，该气缸可以被启动以伸长，并且当容器被降压或处于环境压力时，该气缸可以通过弹簧的偏压作用而缩回。
可以沿水平的或可选地沿垂直的方向将这种气缸装置结合到连接件结构中。可以将气缸装置制造成具有可伸长的气缸杆，以水平地伸长到释放杠杆或枢轴夹凸轮的一侧。该气缸杆也可以设置在连接件的背部上，并且布置成伸长以便在释放杠杆上施加向下的力，以在容器处于加压条件期间将其保持在适当位置。通过这种方法，在容器处于加压条件期间可以将释放杠杆锁定于封闭位置，从而防止连接件的脱离直到停止压力且容器中的压力下降至适应连接件从容器上脱开的较低的压力，而不会出现不利情况。
以下参照图59-67来更全面地描述这种安全锁定机构。
图59是根据本发明一个实施例的连接件800的透视图。连接件800包括具有顶部主表面804的主壳体部802，在该顶部主表面上设置有将开口端806限定为分配端口的分配装置805，该开口端连接于管道或其它流动线路，用于将所分配的材料运送至下游使用地点。
在该连接件的顶面804上还设置有加压管806，该加压管具有加压介质进入端口808，用于在连接件800与容纳有待分配材料的容器相连接时将加压气体引入至容器中。该容器例如可以是瓶中袋(BIB)类型的，其中，加压气体被引入到容器的内容积中，流动到位于内容器壁与容器中的衬件的外表面之间的内容积区域。通过这种方式，加压气体在衬件上施加压缩力以逐渐地压紧衬件，从而使其中的材料在所施加的压力下从容器中被分配出来。
连接件800包括手柄810形式的释放杠杆，该手柄具有枢转地固定至壳体802的相应轮轴部812和814。这种设置允许手柄810自图中所示的完全下部位置向完全上部位置枢转地运动，在上部位置时手柄处于垂直方位且向上延伸于主体部802之上。
在该实施例中，两个三通压力释放降压装置816和820安装于连接件的顶面804上。三通压力释放装置816具有与其相关的可按压按钮818，在按钮被压下时允许容器排放超高的压力至容器的周围环境。
以同样的方式，三通压力释放装置820可操作地连接至可按压按钮822，在按钮被压下时，其以与上述的三通压力释放装置816相同的方式允许从容器中排放超高的压力。
图60是图59中的连接件800的侧视图，其中，所有的部件和特征均被相应地编号。
图61是相应的透视图，相对于图59和图60中所示的参考标号其也被编号。
如图59-61中所示，当手柄810处于下部位置时，可按压按钮818和可按压按钮822被偏压至向外的位置，如图60中所示，借助于位于手柄每一侧且位于轮轴上的凸轮件830的凸轮表面来防止手柄810的转动运动。
因此，当连接件连接至材料储存和分配容器且手柄转动至下部位置时，弹簧偏压的可按压按钮从其相关的壳体中“突出”并将手柄锁定在下部位置。
随后，当期望加压容器降压且将连接件从容器上脱离时，压下可按压按钮818和822，从而促使压力释放装置816和820将超高的压力排放至包装的周围环境。在所示设置的另一替换方式中，仅采用一个而不是两个这种按钮来执行释放动作。当已将超高的压力从容器中排出时，位于壳体侧部上的机械锁832可以通过手柄向上地移动而从容器上脱离以自动解开锁定。参照图60可以看出，由于将机械锁设置于手柄轮轴的法兰部之上，通过压力释放装置上的可按压按钮的“突出”动作使手柄810的锁定防止了机械锁832被启动。
因此，提供了避免当连接件脱开时容器中的加压内容物有害扩散的安全包装结构。
图62是根据本发明另一实施例的连接件840的透视图。
连接件840包括其上安装有手柄844形式的释放杠杆的主体部842。该实施例中的连接件设置有包括与装置的主体846连接的滑动件847的三通压力释放装置845。如图63中的示意性透视图所示，当手柄844降低时，手柄滑过压力释放装置845的滑动件847并且因此滑动件将手柄锁定在适当位置，从而此后被滑动件847固定的手柄844不能升高或向上转动。
随后，当期望脱开连接件时，将滑动件847手动地转动到向上的方向，从而使滑动件升高于手柄844之上。由于滑动件847的向上移动促使压力释放装置845从容器中通过装置的主体846排放超高的压力，因而允许手柄844自由枢转地向上转动。以这种方式，在连接件从相关容器上脱离时，避免了有害的超高压情况。
图64是根据本发明另一实施例的连接件850的透视图，其中，示例性地采用了两种不同类型的锁定机构。
图64中所示的连接件850包括壳体852和加压装置858，该壳体具有顶面，包括限定了分配端口857的分配装置856，并且通过可以该加压装置导引加压气体，有助于材料从与连接件相关的容器中排放。
连接件850以手柄854为特征，通过气缸862的作用或可选地或附加地通过气缸860的作用可以将手柄锁定在一定位置。
因此，可以启动气缸862，以使气缸或其凸件相对于手柄854向下运动，以将手柄锁定在适当位置而防止其进一步运动。
该手柄同样地或可选地可以通过气缸860的一部分的向外移动而固定，从而使该气缸或其凸件接合手柄的轮轴并且防止手柄围绕由手柄的轮轴部所限定的轮轴进行转动运动。
参照图65，其中，所有的部件和特征均相对于图64的相应地编号，由于凸件自气缸862延伸以承载手柄854并因此将其锁定于适当位置，因此示出了通过气缸862锁定的手柄854。
在锁定位置中，手柄854的轮轴部覆盖机械锁861，从而使机械锁不能被压下以将连接件从容器上移除。
图66是图64和图65中所示连接件的透视图，其中，所有部件和特征被相应地编号。在该实施例中，位于连接件的顶面上的气缸860具有突出部，该突出部可移动以与手柄854的轮轴有效接合，从而将手柄锁定于适当位置。为此，手柄的轮轴可以在其中具有开口或空腔，该空腔被气缸860的突出部接合，以限制手柄854运动。
图67是图64中所示普通类型连接件850的透视图，但仅具有一个气缸862形式的锁定件。从该气缸延伸出承载手柄854并且与手柄表面中的容纳空腔870相接合的锁定突出件868。
从以上描述中将认识到可以提供各种手柄固定件和超高压释放装置，从而可以安全地适应存在于容器中的超高压条件，进而使连接件不会从容器上脱离以及不会随之出现容器中的内容物向周围环境扩散或喷溅的情况。
尽管在此参照本发明的特定方面、特征和示例性实施例描述了本发明，应该理解的是本发明的效用并不限于此，而是延伸至和包含许多其它变更、修改以及替换实施例，因而建议本发明所属领域的普通技术人员可以基于在此所公开的内容作出各种变更、修改和替换。相应地，在此所要求的发明旨在广泛地解释和说明所有这些在本发明精神和范围内的变更、修改和替换实施例。
权利要求
1.一种预连接确认接合件，包括第一接合件本体、包括第一键码结构和互锁的环、以及包括第二键码结构的第二接合件本体，所述环与所述第一接合件本体配合，以在与所述第二接合件本体的后确认接合中允许该本体相对于环的平移运动，所述互锁防止所述第一键码结构与所述第二键码结构的确认接合之前的这种平移运动。
2.根据权利要求1所述的预连接确认接合件，其中，所述第一接合件本体包括分配组件的分配头。
3.根据权利要求2所述的预连接确认接合件，其中，所述分配头包括探针。
4.根据权利要求1所述的预连接确认接合件，其中，所述第二接合件本体连接至流体容器。
5.根据权利要求4所述的预连接确认接合件，其中，所述第二接合件本体包括所述流体容器的盖。
6.根据权利要求5所述的预连接确认接合件，其中，所述盖包括隔膜，并且所述第一接合件本体包括适于在所述第一接合件本体与所述第二接合件本体的后确认连接时刺破所述隔膜的探针。
7.根据权利要求6所述的预连接确认接合件，其中，所述隔膜包括选自由橡胶、纤维材料以及聚合物材料组成的组中的材料。
8.根据权利要求4所述的预连接确认接合件，其中，所述流体容器包括刚性第二层包装中的柔性衬件。
9.根据权利要求8所述的预连接确认接合件，其中，所述柔性衬件中容纳有高纯度液体。
10.根据权利要求8所述的预连接确认接合件，其中，所述柔性衬件是三维的封闭头部的衬件。
11.根据权利要求8所述的预连接确认接合件，其中，所述柔性衬件由吹制管状聚合薄膜材料形成。
12.根据权利要求8所述的预连接确认接合件，其中，所述柔性衬件是封闭头部的衬件。
13.根据权利要求8所述的预连接确认接合件，其中，所述柔性衬件由原聚合物材料形成。
14.根据权利要求8所述的预连接确认接合件，其中，所述柔性衬件包括选自由聚四氟乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚氨酯、聚偏二氯乙烯、聚氯乙烯、聚甲醛、聚苯乙烯、聚丙烯腈、聚丁烯、以及包括一种或多种上述聚合物的单体的共聚物组成的组中的材料。
15.根据权利要求8所述的预连接确认接合件，其中，所述柔性衬件具有的厚度在大约5密耳至大约30密耳的范围内。
16.根据权利要求8所述的预连接确认接合件，进一步包括无线射频识别标贴。
17.根据权利要求1所述的预连接确认接合件，其中，所述第一和第二键码结构包括凹槽和销件。
18.根据权利要求1所述的预连接确认接合件，其中，所述第一和第二键码结构包括通道和突出件。
19.根据权利要求1所述的预连接确认接合件，其中，所述第一和第二键码结构包括沿周向横向尺寸变化的互相交叉的凸缘。
20.根据权利要求1所述的预连接确认接合件，其中，所述第一和第二键码结构包括凸榫和凹槽件。
21.根据权利要求1所述的预连接确认接合件，其中，所述第一接合件本体和所述环彼此相互连接，在所述第一键码结构与所述第二键码结构确认接合之前，通过偏压结构将所述第一接合件本体偏压到缩回位置，并且在这种确认接合之后，通过在所述第一接合件本体上手动地施加向下的力使所述第一接合件本体向下平移至延伸位置，从而使所述第一接合件本体向下平移穿过所述环，实现所述偏压结构的压缩。
22.根据权利要求21所述的预连接确认接合件，其中，所述偏压结构包括偏压弹簧。
23.根据权利要求1所述的预连接确认接合件，其中，所述互锁包括选自由电子互锁机构、电子机械互锁机构、及机械互锁机构组成的组中的机构。
24.根据权利要求1所述的预连接确认接合件，其中，所述互锁包括偏压弹簧转臂，所述偏压弹簧转臂响应所述第一接合件本体的键码结构与所述第二接合件本体的键码结构的接合。
25.根据权利要求24所述的预连接确认接合件，其中，通过缩回所述偏压弹簧转臂响应所述第一接合件本体的键码结构与所述第二接合件本体的键码结构的接合，以便在所述第一接合件本体上手动地施加直接向下的压力时允许所述第一接合件本体向下平移穿过所述环。
26.一种流体储存和分配包装，包括适于连接至流动线路的流体储存和分配容器以及流体分配组件，所述流体储存和分配包装包括如权利要求1中所要求保护的预连接确认接合件，所述流体分配组件包括所述第一接合件本体和所述环，并且所述流体储存和分配包装具有位于其上的盖，其中，所述盖包括所述第二接合件本体。
27.根据权利要求26所述的流体储存和分配包装，其中，所述盖覆盖于隔膜之上，并且所述流体分配组件包括适于在所述第一接合件本体和所述第二接合件本体彼此完全接合时刺破所述隔膜的探针。
28.根据权利要求27所述的流体储存和分配包装，其中，所述流体储存和分配容器包括刚性第二层包装中的柔性衬件。
29.根据权利要求28所述的流体储存和分配包装，其中，所述柔性衬件中容纳有半导体加工流体。
30.根据权利要求29所述的流体储存和分配包装，其中，所述流体分配组件与所设置的流体流动线路相连接，以将所分配的流体传输至使用位置。
31.根据权利要求30所述的流体储存和分配包装，其中，所述流体流动线路于所述使用位置连接至流体利用设备。
32.根据权利要求31所述的流体储存和分配包装，其中，所述流体利用设备包括半导体加工设备。
33.根据权利要求26所述的流体储存和分配包装，其中，所述流体分配组件包括流体排放管。
34.根据权利要求33所述的流体储存和分配包装，其中，所述流体排放管包括适于连接至所述流体流动线路的连接结构。
35.根据权利要求26所述的流体储存和分配包装，其中，当所述第一接合件本体向下平移至与所述第二接合件本体完全接合时，通过锁定结构将所述第一接合件本体锁定于完全接合位置。
36.根据权利要求35所述的流体储存和分配包装，其中，所述锁定结构包括卡口锁定结构。
37.根据权利要求35所述的流体储存和分配包装，其中，所述锁定结构包括凹球状的棘爪结构。
38.一种预连接确认接合件，包括第一接合件本体和与所述第一接合件本体相配合的环，以允许所述本体在与包括第二键码结构的第二接合件本体的后确认接合中相对于所述环的平移运动，其中，所述环包括第一键码结构以及互锁，所述互锁防止所述第一键码结构与所述第二键码结构的确认接合之前的这种平移运动。
39.一种流体供给系统，包括基于衬件的流体储存和分配包装，该包装与用于从所述包装中的衬件向使用位置传输流体的流动线路相连接，其中，所述基于衬件的流体储存和分配包装与加压气体源相连接，所述加压气体源适于将加压气体输送到所述包装中以在所述衬件上施加压力，用于以压力为媒介将流体从所述衬件分配到所述流动线路中；压力传感器，所述压力传感器适于感测从所述衬件分配到所述流动线路中的流体的压力，并产生指示所述压力的传感器输出；以及处理器，所述处理器适于接收所述传感器输出并确定所述流体的压力变化率，以及提供指示与所述衬件中的流体开始排尽相关的增加变化率的处理器输出。
40.根据权利要求39所述的流体供给系统，其中，所述加压气体包括选自由氩、氦、氮和空气组成的组中的气体。
41.根据权利要求39所述的流体供给系统，其中，所述衬件中容纳有选自由光致抗蚀剂液体合成物和化学机械抛光浆组成的组中的液体介质。
42.根据权利要求39所述的流体供给系统，进一步包括被设置成用于对从所述衬件分配到所述流动线路中的流体进行过滤的过滤器。
43.根据权利要求39所述的流体供给系统，进一步包括处于所述流动线路中的分配泵。
44.根据权利要求43所述的流体供给系统，其中，所述分配泵包括选自由隔膜泵、活塞泵、蠕动泵、喷射式泵、以及计量泵组成的组中的泵。
45.根据权利要求39所述的流体供给系统，其中，所述使用位置包括半导体加工工具。
46.根据权利要求45所述的流体供给系统，其中，所述半导体加工工具包括选自由涂敷工具、蚀刻工具、抛光工具、掩模工具、沉积工具、挥发工具、热解工具、包装工具、混合工具、以及消除工具组成的组中的工具。
47.根据权利要求39所述的流体供给系统，其中，所述处理器设置成用来对从所述衬件中分配的流体以及对分配出的流体的应用进行控制。
48.根据权利要求47所述的流体供给系统，其中，所述处理器自选自由通用可编程计算机、微处理器、微控制器、以及可编程逻辑控制器组成的组。
49.根据权利要求39所述的流体供给系统，其中，所述处理器还适于控制所述加压气体源，以调节所述加压气体源的气流。
50.根据权利要求39所述的流体供给系统，其中，所述处理器还适于控制以下中的至少一个自所述加压气体源排出的加压气体的流率；所述使用位置处的流体处理；所述流动线路中的阀；以及所述流动线路中的泵。
51.根据权利要求39所述的流体供给系统，其中，所述处理器被设置成将所述处理器输出传输至显示监视器。
52.根据权利要求39所述的流体供给系统，其中，所述处理器适于监控所述加压气体的压力。
53.一种流体供给系统，包括基于衬件的流体储存和分配包装，所述包装包括适于容纳液体介质的衬件；加压气体源，所述加压气体源适于从外部施加气体压力于所述衬件上，用于以压力为媒介从所述衬件分配出液体介质；以及监视器，所述监视器适于监控从所述衬件中分配的所述液体介质的压力变化率，并适于输出指示从衬件开始排尽液体介质的斜度下倾状况。
54.根据权利要求53所述的流体供给系统，其中，所述监视器包括压力传感器和处理器，所述压力传感器被设置成监控从所述衬件分配的所述液体介质的压力，所述处理器可操作地连接至所述传感器，以接收传感器输出信号以便进行信号处理，从而确定并输出指示从所述衬件开始排尽液体介质的斜度下倾状况。
55.根据权利要求53所述的流体供给系统，以流体介质传输关系可操作地接合于半导体加工工具。
56.根据权利要求55所述的流体供给系统，其中，所述衬件容纳有光致抗蚀剂材料。
57.一种从包括容纳有流体的衬件的基于衬件的流体储存和分配包装向使用位置供给流体的方法，所述方法包括施加外部压力至所述衬件，以逐渐挤压所述衬件并从所述衬件中分配出流体；以及监控作为时间的函数的所分配流体的压力，以确定指示在分配操作期间从所述衬件开始排尽流体的斜度下倾。
58.根据权利要求57所述的方法，进一步包括响应所述斜度下倾的确定，准备用于分配操作的另一基于衬件的流体储存和分配包装。
59.根据权利要求58所述的方法，进一步包括接入所述另一基于衬件的流体储存和分配包装，以实现向所述使用位置的连续分配。
60.根据权利要求57所述的方法，其中，所述使用位置是半导体加工工具。
61.一种从承受压力的可挤压衬件供给流体以实现流体分配的方法，所述方法包括监控作为时间的函数的所分配流体的压力；以及确定作为指示从所述衬件预定接近排尽流体的压力-时间函数的斜度下倾。
62.根据权利要求61所述的方法，其中，将从所述衬件中分配出的流体泵送到所分配流体的流动线路中，并将所述流体从所述流动线路输送至所述使用位置。
63.根据权利要求62所述的方法，其中，由计量泵来实现所述泵送，并且所述使用位置包括半导体加工工具。
64.根据权利要求63所述的方法，其中，所述衬件中容纳有选自由光致抗蚀剂和化学机械抛光合成物组成的组中的流体。
65.根据权利要求61所述的方法，其中，当所述预定的接近排尽状态达到时，输出警告。
66.根据权利要求61所述的方法，其中，当所述预定的接近排尽状态达到时，启动转换操作以从另一衬件继续进行分配。
67.根据权利要求61所述的方法，其中，当所述预定的接近排尽状态达到时，以与所述衬件中的剩余流体总量相应的方式更改所述分配操作，以终止分配操作。
68.一种流体储存和分配系统，所述系统包括适于将流体容纳在其内容积中的流体储存和分配容器，所述容器具有端口孔、与所述端口孔相接合以对其密封的盖、以及包括与所述盖相接合的连接件的分配组件，以通过所述分配组件进入用于分配流体的所述容器中的流体，所述连接件包括与所述盖接合以将所述连接件锁定地保持在用于分配的适当位置中的至少一个接合件、以及与所述至少一个接合件连接的手握件，所述手握件可在第一偏压位置与第二释放位置之间手动地移动，在所述第一偏压位置，所述至少一个接合件将所述连接件锁定地保持在用于分配的适当位置中，在所述第二释放位置，所述至少一个接合件与所述盖脱离以防止从所述盖上移除所述连接件。
69.根据权利要求68所述的流体储存和分配系统，包括相对于彼此安装于所述连接件的径向相对侧的两个接合件。
70.根据权利要求69所述的流体储存和分配系统，其中，在没有对所述手握件进行手动移动的情况下，通过包括适于将所述手握件移动至所述第一偏压位置的转动凸轮件的接合组件，所述两个接合件与所述手握件相接合。
71.根据权利要求70所述的流体储存和分配系统，其中，所述接合件是可枢转移动的夹件。
72.根据权利要求71所述的流体储存和分配系统，其中，所述手握件包括手柄。
73.根据权利要求72所述的流体储存和分配系统，其中，所述手柄包括指状的弯曲手柄。
74.根据权利要求72所述的流体储存和分配系统，其中，处于所述第二释放位置的所述手柄是垂直直立的，并且处于所述第一偏压位置的所述手柄被设置成与所述第二释放位置成至少90°。
75.根据权利要求74所述的流体储存和分配系统，其中，处于所述第一偏压位置的所述手柄被设置成与所述第二释放位置成大于90°。
76.根据权利要求75所述的流体储存和分配系统，其中，处于所述第一偏压位置的所述手柄是向下定向的并且与所述容器相接触。
77.根据权利要求70所述的流体储存和分配系统，其中，所述手握件由弹簧件偏压至所述第一偏压位置。
78.根据权利要求77所述的流体储存和分配系统，其中，所述弹簧件包括扭矩弹簧件。
79.根据权利要求70所述的流体储存和分配系统，其中，所述转动凸轮件包括至少一个推出凸轮，所述至少一个推出凸轮被设置成在所述手握件处于所述第二释放位置时施加推出压力。
80.根据权利要求70所述的流体储存和分配系统，其中，所述连接件包括限定止挡部件，所述限定止挡部件确定处于所述第二释放位置的所述手握件的位置。
81.根据权利要求80所述的流体储存和分配系统，其中，所述限定止挡部件包括突出件，所述突出件在所述手握件处于第二释放位置时与所述手握件邻接接合。
82.根据权利要求70所述的流体储存和分配系统，其中，所述转动凸轮件接合推出结构，所述推出结构在所述手握件处于所述第二释放位置时相对于所述容器施加支承压力，以有助于所述连接件的脱离。
83.根据权利要求82所述的流体储存和分配系统，其中，所述推出结构包括至少两个与所述容器支承接触的柱。
84.根据权利要求82所述的流体储存和分配系统，其中，所述推出结构包括至少四个与所述容器支承接触的柱。
85.根据权利要求84所述的流体储存和分配系统，其中，所述推出结构包括四个与所述容器支承接触的柱，包括组件，所述组件包括两个位于所述连接件的相对侧的柱；以及连接结构，与所述连接件的每一所述相对侧的柱相接合。
86.根据权利要求68所述的流体储存和分配系统，其中，所述手握件与所述至少一个接合件相接合，并且所述手握件可在第一偏压位置与第二释放位置之间手动地移动，在所述第一偏压位置，所述至少一个接合件将所述连接件锁定地保持在用于分配的适当位置中，在所述第二释放位置，所述至少一个接合件与所述盖脱离以防止从所述盖上移除所述连接件，所述手握件包括通过手动地施加压紧力于其上而手动地将其从所述第一偏压位置按压至所述第二释放位置的侧平台。
87.根据权利要求86所述的流体储存和分配系统，包括位于所述连接件的每一相对侧的侧平台。
88.根据权利要求68所述的流体储存和分配系统，其中，所述流体储存和分配容器包括适于将流体容纳于其中的衬件。
89.根据权利要求88所述的流体储存和分配系统，其中，所述衬件中容纳有用于半导体加工的高纯度液体。
90.根据权利要求70所述的流体储存和分配系统，其中，所述转动凸轮件包括枢轴夹凸轮和安装在轮轴上的推出凸轮。
91.根据权利要求90所述的流体储存和分配系统，其中，手柄接合至所述转动凸轮件。
92.根据权利要求91所述的流体储存和分配系统，其中，所述接合件包括枢轴夹，并且当通过所述手柄的相应运动而使所述枢轴夹凸轮向上转动时，所述枢轴夹凸轮启动所述枢轴夹。
93.根据权利要求92所述的流体储存和分配系统，其中，在这种转动期间，所述枢轴夹凸轮倾斜向上并且向内按压所述枢轴夹，以产生关于枢轴夹轴的力矩，进而使所述枢轴夹从与所述盖的接合中释放出来。
94.根据权利要求93所述的流体储存和分配系统，其中，所述接合组件包括使所述手柄降落至所述第一偏压位置的扭矩弹簧。
95.根据权利要求94所述的流体储存和分配系统，其中，当所述手柄转动至上部位置即所述第二释放位置时，所述推出凸轮推出所述盖的顶部。
96.根据权利要求95所述的流体储存和分配系统，其中，所述连接件在其侧表面上具有使所述手柄停止于垂直位置即所述第二释放位置的突出件。
97.一种储存和分配流体的方法，包括根据权利要求68至96中任一项的流体储存和分配系统的使用。
98.一种装配密封件，包括主盘状体和以小于所述主盘状体半径的半径自所述主盘状体向下延伸形成的柱形密封壁，从而所述主盘状体形成外围法兰，所述主盘状体具有主顶面和从所述主顶面向上延伸的环状凸台，并在所述主盘状体的中央部形成相应的井部。
99.根据权利要求98所述的装配密封件，其中，所述井具有平坦底部，所述平坦底部位于与包括所述主盘状体的其余部分的平面移位的平面中。
100.根据权利要求98所述的装配密封件，其中，所述主盘状体具有主底面，并且所述环状凸台和所述井形成位于所述主盘状体的所述主底面上的突出件。
101.根据权利要求98所述的装配密封件，其中，所述外围法兰具有倾斜的外边缘部。
102.根据权利要求98所述的装配密封件，其中，所述柱形密封壁在其下端部具有向内倾斜的外表面。
103.根据权利要求98所述的装配密封件，位于装配件中。
104.根据权利要求103所述的装配密封件，其中，所述装配件具有与之固定的适于容纳流体的衬件。
105.根据权利要求98所述的装配密封件，由柔弹性材料形成。
106.根据权利要求105所述的装配密封件，其中，所述柔弹性材料包括选自由橡胶和聚合物材料组成的组中的材料。
107.根据权利要求103所述的装配密封件，干涉装配在所述装配件中。
108.一种包括装配件的流体储存和分配容器，其中，所述装配件由权利要求98中所要求保护的装配密封件来密封。
109.根据权利要求98所述的装配密封件，进一步包括适于手握以安装和拆卸所述装配密封件的拉环。
110.一种适于与容器锁定接合的盖，在所述容器的颈部上具有一组周向间隔开的锁定孔，所述盖包括主盖体，所述主盖体包括柱形侧壁和于其上端连接于所述柱形侧壁的圆形顶壁，所述柱形侧壁在所述侧壁的下部具有一系列周向间隔开的切口，每个所述切口在所述切口的上端连接至向下延伸形成的抗转动指状件，所述抗转动指状件在其上没有施加力的情况下被偏压到向外展开的位置，每个所述指状件包括于其上端连接到所述切口上端的细长条，并在其下端连接到径向向内指向的凸片，所述凸片适于在被适于与所述盖相接合的连接件过度适配时与所述锁定孔之一相接合。
111.根据权利要求110所述的盖，其中，所述指状件向下延伸至所述径向向内指向的凸片，所述指状件的下部和所述凸片位于所述柱形侧壁的下边缘之下。
112.根据权利要求111所述的盖，其中，所述指状件被偏压至与所述连接件颈部上的所述锁定孔脱离接合的位置。
113.一种流体储存和分配包装，包括适于容纳流体的容器，所述容器在所述容器的颈部上具有一组周向间隔开的锁定孔；以及盖，适于与所述容器锁定地接合，所述盖包括主盖体，所述主盖体包括柱形侧壁和圆形顶壁，所述圆形顶壁于其上端连接至所述柱形侧壁，所述柱形侧壁在所述侧壁的下部具有一系列周向间隔开的切口，每个所述切口在其上端连接至向下延伸形成的抗转动指状件，每个所述指状件包括细长条，所述细长条于其上端连接至所述切口的上端并且于其下端连接至径向向内指向的凸片，所述凸片适于在被适于与所述盖相接合的连接件过度适配时与所述锁定孔之一相接合。
114.根据权利要求113所述的流体储存和分配包装，其中，所述柱形侧壁在其内表面上具有螺纹，并且所述容器的所述颈部在其外表面上具有互补螺纹，用于与所述盖内表面的螺纹匹配接合。
115.根据权利要求114所述的流体储存和分配包装，进一步包括过度适配所述盖的分配连接件，所述指状件设置在所述容器的颈部与所述连接件的内表面之间，并且所述凸片与所述容器颈部上的锁定孔相接合。
116.根据权利要求115所述的流体储存和分配包装，其中，所述容器中容纳有用于半导体加工的流体。
117.根据权利要求116所述的流体储存和分配包装，其中，所述容器将所述流体容纳于衬件中。
118.根据权利要求117所述的流体储存和分配包装，其中，所述分配连接件包括探针，所述探针适于与所述衬件中的流体相接触并且被设置成用于使来自所述容器的分配流体从中流过。
119.一种防止盖与连接件一起从用于流体储存和分配包装的容器上移除的方法，所述包装包括所述容器、所述盖以及所述连接件，所述方法包括提供在容器的颈部区域具有锁定孔的所述容器，以及提供包括主盖体的盖，所述主盖体包括柱形侧壁和圆形顶壁，所述圆形顶壁于其上端与所述柱形侧壁连接，所述柱形侧壁在所述侧壁的下部具有一系列周向间隔开的切口，每个切口于切口的上端连接至向下延伸形成的抗转动指状件，每个所述指状件包括细长条，所述细长条于其上端连接到切口的上端并且于其下端连接到直接径向向内指向的凸片，所述凸片适于在被连接件过度适配时与所述锁定孔之一相接合。
120.一种适于与流体储存和分配容器相接合以及适于与分配组件相接合的盖，所述分配组件包括适于共同过度适配所述盖的分配连接件，所述盖在其下部具有向外突出的突出件，所述突出件与流体储存和分配容器上的锁定结构相接合。
121.根据权利要求120所述的盖，在所述盖的接合表面上具有与所述连接件上的互补螺纹匹配接合的螺纹。
122.根据权利要求121所述的盖，所述盖由选自橡胶和聚合物材料组成的组中的结构材料形成。
123.根据权利要求122所述的盖，所述盖由选自聚乙烯、聚丙烯、及聚四氟乙烯组成的组中的结构材料形成。
124.一种流体储存和分配包装，包括适于容纳流体的容器，所述容器在容器表面上包括端口和锁定结构；以及适于与所述端口相接合的盖，其中，所述盖适于与分配组件相接合，所述分配组件包括适于共同过度适配所述盖的分配连接件，所述盖在其下部具有向外突出的突出件，在所述分配连接件过度适配所述盖时该突出件与所述锁定结构相接合。
125.根据权利要求124所述的流体储存和分配包装，其中，所述锁定结构包括与所述盖的所述突出件相接合以防止所述盖的转动运动的棘齿结构。
126.根据权利要求125所述的流体储存和分配包装，其中，当所述分配连接件未接合成过度适配所述盖时，所述突出件被偏压至未接合位置。
127.根据权利要求124所述的流体储存和分配包装，其中，所述锁定结构包括位于所述容器的表面上的直立柱。
128.根据权利要求127所述的流体储存和分配包装，其中，所述盖在其下部具有通道，并且所述突出件包括终止所述通道的杆柱，从而所述直立柱与所述杆柱相接合以防止所述盖的转动。
129.一种流体储存和分配包装，包括于容纳流体的容器，所述容器在容器表面上包括端口和锁定结构；以及适于与所述端口相接合的盖，其中，所述盖适于与分配组件相接合，所述分配组件包括适于共同过度适配所述盖的分配连接件，所述盖在其下部具有第二锁定结构，当所述分配连接件过度适配所述盖时，所述第二锁定结构与所述锁定结构相接合，并且其中，当所述分配连接件未过度适配所述盖时，所述第二锁定结构与所述第一锁定结构不接合。
130.根据权利要求129所述的流体储存和分配包装，其中，所述第一锁定结构包括位于所述容器的颈部区域上的凸部，并且所述第二锁定结构包括位于所述盖下部上的切口。
131.一种流体储存和分配包装，包括适于容纳流体的容器，所述容器包括端口；以及适于与所述端口相接合的盖，其中，所述盖适于与分配组件相接合，所述分配组件包括适于共同过度适配所述盖的分配连接件，所述盖具有锁定结构，当所述分配连接件过度适配所述盖时所述锁定结构起作用，并且当所述分配连接件未过度适配所述盖时所述锁定结构不起作用。
132.根据权利要求131所述的流体储存和分配包装，其中，所述锁定结构包括拉环。
133.一种流体储存和分配包装，包括容器，所述容器包括端口；所述容器中的适于容纳流体的衬件；包括用于流体流出的孔的装配件，所述装配件连接至所述衬件并且连接至所述端口；以及适于与所述端口相接合的盖，其中，所述盖还适于与分配组件相接合，所述分配组件包括适于共同过度适配所述盖以在所述衬件上施加外部压力时停止从衬件中流出流体的分配连接件，所述分配连接件适于连接至加压气体，用于在衬件上施加外部压力时使加压气体流入容器中，设置于所述盖与所述装配件之间的气体密封件用以密封所述容器内的加压气体，以及于所述装配件处用于防止流体从所述衬件中溢出的塞子密封件。
134.根据权利要求133所述的流体储存和分配包装，其中，所述气体密封件包括环形密封件。
135.根据权利要求133所述的流体储存和分配包装，其中，所述塞子密封件连接至所述盖上的拉环。
136.根据权利要求133所述的流体储存和分配包装，其中，所述盖包括用于使加压气体从中流过的加压开口。
137.根据权利要求136所述的流体储存和分配包装，包括用于密封所述加压开口的塞子。
138.根据权利要求133所述的流体储存和分配包装，其中，所述分配连接件包括可插入到所述衬件中用于使流体从中通过的探针，所述探针的插入并没有破坏隔膜密封。
139.根据权利要求133所述的流体储存和分配包装，其中，所述盖在其上具有聚四氟乙烯涂层。
140.一种流体储存和分配包装，包括适于容纳流体的容器，所述容器包括第一接合结构；适于与所述容器相接合的盖；与所述盖相接合以形成盖/编码环组件的编码环，其中，所述盖/编码环组件适于与包括分配连接件的分配组件相接合，所述分配连接件适于共同过度适配所述盖/编码环组件用于停止从所述容器中流出流体，其中，所述盖/编码环组件包括与所述第一接合结构相接合的第二接合结构，以将所述盖/编码环组件固定地设置在所述容器上并且防止其移除。
141.根据权利要求140所述的流体储存和分配包装，其中，利用工具可将所述编码环从所述盖上移除。
142.根据权利要求141所述的流体储存和分配包装，其中，所述工具包括螺丝刀。
143.根据权利要求140所述的流体储存和分配包装，其中，一旦从所述盖/编码环组件上移除所述编码环，就可从所述容器上移除所述盖。
144.根据权利要求143所述的流体储存和分配包装，其中，在从所述盖/编码环组件上移除所述盖后，所述盖不可再次使用。
145.根据权利要求140所述的流体储存和分配包装，其中，所述容器包括防止将错误的分配连接件安装于所述盖/编码环组件上的误连接干涉部件。
146.一种包括螺纹的盖，用于将所述盖连接至具有互补螺纹的容器，所述盖包括在所述盖与所述容器的初始接合之后使得所述盖不可再次使用的不可再次使用结构，所述不可再次使用结构适于在所述初始接合之后企图或实现从容器上移除所述盖时损毁、破坏或移除所述螺纹，其中，所述不可再次使用结构从由以下结构组成的组中选出用于切开或破坏螺纹上方的区域的齿状锁；试图移除所述盖而导致螺纹裂开或破坏的设置；两片式盖，其在容器颈部上与制动挡块螺纹接合，从而当所述盖被移除时在高力矩下剥离所述螺纹；具有防止所述盖被旋开的抗转动部件的旋上盖；所述盖具有位于该螺纹上通过旋开操作而起作用的撕裂区的设置，其中，通过拉动垂直拉环来移除剩下的螺纹区域；两片式螺纹；裂开式螺纹；自旋开的螺旋状螺纹；以及盖上的螺纹，所述螺纹以较大面积另外形成于所述容器颈部上，从而在从容器上移除盖时破坏所述盖螺纹。
147.一种包括螺纹的盖，用于将所述盖连接至具有互补螺纹的容器，所述盖包括防止盖移除和/或再次使用的盖改进结构，其中，所述盖改进结构从由以下结构组成的组中选出提供具有需要工具以将其按压到位的夹子的盖，其中，当将所述夹子按压到位时能够以迅速方式安装或移除所述盖；提供将所述盖保持在适当位置的销，而移除工具适于将所述销从固定盖的位置拔出；提供具有压进销以防止盖旋开的旋上盖，其中，仅可以使用特定工具来移除所述销进而旋开所述盖；提供具有抗转动锁的旋上盖，其中，必须移除编码环以打开盖，并且其中，所述锁包括必须被拉出的销或必须被挤压到一起以解开所述锁的凸片；提供具有抗转动锁的旋上盖，其中，必须移除该编码环以打开盖，其中，所述抗转动锁是棘齿型的，在所述盖上具有齿并且在所述容器上具有齿，从而需要利用特定工具来移除盖的高力矩；具有抓取特征的编码环力矩工具的利用仅是为了旋上盖；提供位于所述盖上以将盖连接至容器的第二环，其中，当所述盖被移除时所述环被折断；提供带有拉环以移除盖的咬合式盖，其中，一旦拉环被移除将不能锁上所述盖；提供搭扣的裂片，其中，搭扣处于裂片处；提供需要特定工具以将所述盖从容器上切断的咬合式盖；提供热作用或由湿变干起作用的收缩盖或覆盖件；提供形成于容器颈部上的部件上的非螺纹盖，其中，容器部件与盖之间的干涉将盖保持在适当位置，从而只有利用工具或通过将其撬掉才可移除所述盖，并且所述盖的移除毁掉了盖的形成区域，使得所述盖的一部分保留在容器上并且可以利用特定工具或垂直拉环来移除这部分盖；提供如此构造和设置的盖，即盖的移除改变编码环，从而所述盖不再与分配探针一起工作；提供通过分配探针的安装而切断的编码环，从而当移除分配探针时编码环脱落；提供在移除分配探针时被破坏的磁性结构；制造具有与盖中的凹部相配合的部件的容器，从而当盖被移除时容器部件被破坏并残留于盖凹部中，进而该盖不能与新的容器一起使用；加工具有破坏突出件的盖，该突出件将盖保持于容器上的适当位置，并且在安装时向下滑入容器中的互补凹槽中并且在移除盖时被破坏；加工具有在盖被移除时操作以释放染料的内置染料释放机构的盖；加工具有安全型突出件的盖，从而使破坏了突出件的空容器不会被误用；以及在所述包装上提供射频识别(RFID)集成电路芯片，与防止操作者打开盖的监控软件配合。
148.一种流体储存和分配系统，适于通过其间的流动线路与流体利用工具相连接，所述系统包括适于以压力为媒介从包装中的衬件分配出流体的基于衬件的流体储存和分配包装，并且所述流动线路包括过滤器、泵以及压力传感器，所述压力传感器被设置成用于监控分配流体的压力并启动适于调节分配操作的控制器，其中，所述压力传感器在所述流动线路中位于所述流体利用工具的流体入口处。
149.根据权利要求148所述的流体储存和分配系统，其中，所述泵包括分配射流泵。
150.根据权利要求148所述的流体储存和分配系统，其中，所述利用工具具有与其相关的下游分配器。
151.一种在流体储存和分配包装的衬件中实现零或接近零的顶部空间状况的方法，其中，通过在所述衬件上施加压力来实现分配，用于逐渐压紧所述衬件，以便通过与所述衬件相连接的探针的排放通道从所述衬件的内容积中排放流体，其中，所述探针是具有末端的短粗探针，所述末端包括连接至所述排放通道的孔，并且所述短粗探针的末端设置于所述衬件内容积的上部，用于在从所述衬件中排放流体之前移除顶部空间气体。
152.一种从承受压力的可挤压衬件供给流体以实现流体分配的方法，所述方法包括监控作为时间的函数的所分配流体的压力；以及确定作为指示从衬件预定接近排尽流体的压力-时间函数的斜度下倾，并且在从所述衬件预定接近排尽流体时，在所述衬件上施加压力尖峰脉冲以实现从所述衬件进一步分配流体。
153.根据权利要求152所述的方法，其中，在所述衬件上施加压力尖峰脉冲之后，从所述衬件分配出的流体流动到一贮液器，所述贮液器用于在从所述衬件排尽流体期间过渡性地供给流体。
154.一种用于与流体储存和分配容器的盖相连接的分配组件，所述分配组件包括连接件本体；安装在所述连接件本体上的手柄，所述手柄用于在连接件本体上进行从连接件本体处于所述盖上的锁定位置中的第一位置向通过所述手柄的向上拉动来释放所述连接件本体的第二位置的可枢转运动；夹子，所述夹子安装在所述连接件本体上并且适于在夹子锁定地接合所述盖的第一位置与夹子释放所述盖的第二位置之间移动，所述手柄在其端部与凸轮相接合，所述凸轮在手柄第一位置和夹子第一位置与所述夹子相接合，并且在手柄第二位置和夹子第二位置与所述夹子脱离。
155.根据权利要求154所述的分配组件，其中，所述手柄与扭矩弹簧相接合并且与所述连接件本体和所述手柄相互连接，以有助于所述手柄在其第一和第二位置之间的所述运动。
156.根据权利要求154所述的分配组件，进一步包括与所述手柄相接合的轮，以在所述手柄移动至其第二位置时将所述夹子移动至所述第二位置。
157.根据权利要求154所述的分配组件，进一步包括至少一个推出凸轮，所述至少一个推出凸轮与所述手柄相接合，并且适于在所述手柄移动至其第二位置时接合所述容器的表面并在所述表面上施加力以助于从所述盖移除连接件头部。
158.一种包括流体利用设备、包括流体储存和分配包装的流体供给的处理系统，所述流体储存和分配包装包括衬件，适于在衬件上施加加压气体以对所述衬件进行压缩并从中分配出流体，其中，所述衬件连接至用于在分配操作期间从所述衬件流出流体的连接件，以及连接至所述连接件并连接至所述流体利用设备的流动线路，所述衬件包括位于其上部的流体分配端口，并且所述连接件包括用于与所述流体分配端口相连接的探针，其中，所述探针包括短粗探针，从而在分配操作之前使顶部空间气体可以从所述衬件中排出，以及此后在所述分配操作期间通过所述处理系统而使顶部空间最小化。
159.一种连接件，包括短粗探针并且适于与包括盖的流体储存和分配包装的所述盖相连接。
160.根据权利要求159所述的连接件，连接至流体储存和分配包装的盖。
161.一种通过流体线路连接至盖式流体储存和分配包装的半导体加工工具，其中，所述流动线路连接至与所述盖相接合的连接件，并且其中，所述盖和所述连接件包括权利要求1中所要求保护的预确认接合件。
162.一种半导体加工系统，包括流体利用工具和如权利要求39中所要求保护的流体供给系统，所述半导体加工系统通过所述流动线路以流体分配关系可操作地接合到所述流体利用工具。
163.一种半导体加工系统，包括流体利用工具和如权利要求53中所要求保护的流体供给系统。
164.一种半导体加工系统，包括流体利用工具和如权利要求68中所要求保护的流体供给系统。
165.一种适于与流体储存和分配容器的盖相接合的连接件，其中，所述盖具有与其接合以防止所述盖的误连接和再次使用的键码结构，并且所述连接件包括短粗探针。
166.根据权利要求165所述的连接件，具有安装于其上的手柄，所述手柄在第一锁定位置和第二释放位置之间运动。
167.一种盖组件，包括适于与流体储存和分配容器相接合的盖，以及接合至所述盖以防止所述盖的误连接和再次使用的键码结构。
168.一种加工半导体产品的方法，包括流体试剂的使用，其中，从包括用于容纳所述流体试剂的衬件的流体储存和分配包装中供给所述流体试剂，其中，在所述衬件上施加外部压力以用于所述流体的压力分配，其中，在所述流体的压力分配期间所述衬件保持在零或接近零的顶部空间状态。
169.根据权利要求168所述的方法，其中，所述流体储存和分配包装通过流动线路连接至半导体加工工具，并且在所述流体的压力分配期间所述流动线路中保持最小的顶部空间。
170.根据权利要求169所述的方法，其中，在所述流体的压力分配期间所述流动线路中保持最小的顶部空间。
171.根据权利要求168所述的方法，其中，在所述流体的压力分配期间所述衬件连接至包括短粗探针的连接件。
172.根据权利要求168所述的方法，其中，所述流体储存和分配包装包括如权利要求26中所要求保护的流体储存和分配包装。
173.根据权利要求168所述的方法，其中，所述流体储存和分配包装包括与所述衬件相接合的盖，其中，所述衬件设置于刚性的第二层包装中，并且所述盖与包括用于使压力分配的流体从中流过的短粗探针的连接件相接合。
174.根据权利要求168所述的方法，其中，所述流体储存和分配包装与用于从所述衬件向利用所述流体的半导体加工工具输送流体的流动线路相连接，包括在压力分配期间感测从所述衬件分配到所述流动线路中的流体压力，并且监控所述流体的压力变化率以确定与从所述衬件中开始排尽流体相关的增加的压力变化率。
179.一种加工半导体产品的方法，包括通过权利要求57所述的方法为所述加工供给流体。
180.一种加工半导体产品的方法，包括使用如权利要求68中所要求保护的流体储存和分配包装，以便为所述加工供给流体。
181.一种加工半导体产品的方法，包括使用包括如权利要求98中所要求保护的装配密封件的流体储存和分配系统，以便为所述加工供给流体。
182.一种加工半导体产品的方法，包括使用包括如权利要求110中所要求保护的盖的流体储存和分配系统，以便为所述加工供给流体。
183.一种加工半导体产品的方法，包括使用如权利要求113中所要求保护的流体储存和分配包装，以便为所述加工供给流体。
184.一种加工半导体产品的方法，包括使用包括如权利要求120中所要求保护的盖的流体储存和分配系统，以便为所述加工供给流体。
185.一种加工半导体产品的方法，包括使用如权利要求124中所要求保护的流体储存和分配包装，以便为所述加工供给流体。
186.一种加工半导体产品的方法，包括使用如权利要求131中所要求保护的流体储存和分配包装，以便为所述加工供给流体。
187.一种加工半导体产品的方法，包括使用如权利要求133中所要求保护的流体储存和分配包装，以便为所述加工供给流体。
188.一种加工半导体产品的方法，包括使用如权利要求140中所要求保护的流体储存和分配包装，以便为所述加工供给流体。
189.一种加工半导体产品的方法，包括使用包括如权利要求146中所要求保护的盖的流体储存和分配系统，以便为所述加工供给流体。
190.一种加工半导体产品的方法，包括使用包括如权利要求147中所要求保护的盖的流体储存和分配系统，以便为所述加工供给流体。
191.一种加工半导体产品的方法，包括使用如权利要求148中所要求保护的流体储存和分配系统，以便为所述加工供给流体。
192.一种制作流体储存和分配包装的方法，包括制造具有根据权利要求1的预连接确认接合件的包装。
193.一种制作流体储存和分配包装的方法，包括制造具有根据权利要求38的预连接确认接合件的包装。
194.一种制作流体储存和分配包装的方法，包括制造具有根据权利要求98的装配密封件的包装。
195.一种制作流体储存和分配包装的方法，包括制造具有根据权利要求110的盖的包装。
196.一种制作流体储存和分配包装的方法，包括制造具有根据权利要求120的盖的包装。
197.一种制作流体储存和分配包装的方法，包括制造具有根据权利要求146的盖的包装。
198.一种制作流体储存和分配包装的方法，包括制造具有根据权利要求147的盖的包装。
199.一种制作流体储存和分配包装的方法，包括制造具有盖连接件的包装，所述盖连接件具有包括键码环的连接件。
200.一种制作流体储存和分配包装的方法包括，加工具有接合于其以防止盖的误接合和再次使用的密码结构的包装。
201.一种有助于从与流体储存和分配容器相连接的盖上移除探针连接件的方法，其中，所述探针连接件具有用于将所述探针连接件锁定地固定至所述盖的夹子，所述方法包括制造具有手柄的探针连接件，所述手柄可从所述夹子与所述盖锁定地接合的下部位置向所述手柄允许释放所述夹子并且通过向上拉动所述手柄而移除所述探针连接件的上部位置移动。
202.根据权利要求201所述的方法，其中，所述探针连接件包括参照图9-17、图28-31、图35-36以及图38-44中任一幅所示出和描述的结构。
203.一种分配头连接件，包括参照图9-17、图28-31、图35-36以及图38-44中任一幅所示出和描述的结构。
204.一种盖组件，包括参照图45和图46中任一幅所示出和描述的结构。
205.一种用于材料储存和分配包装的连接件，所述连接件包括主体部，所述主体部包括安装于所述主体部上并且在其上的上部位置与下部位置之间枢转移动的手柄，其中，所述连接件适于与材料储存和分配组件容器连接以用于对其进行封闭，并且所述连接件包括用于从所述容器分配材料的分配组件；压力释放装置，所述压力释放装置与所述手柄可操作地连接并且适于在所述手柄处于下部位置时防止所述连接件从所述材料储存和分配容器上移除；以及止挡件，所述止挡件与所述压力释放装置可操作地连接，以在所述手柄枢转移动至下部位置时将所述手柄保持在所述下部位置，所述止挡件选择性地脱开，以使所述压力释放装置将容器压力排放至环境压力并且允许所述手柄向上枢转移动，并且在所述手柄处于所述上部位置时使得所述连接件从所述容器上脱离，从而所述连接件从所述容器上的脱离能够在所述环境压力下发生。
206.根据权利要求205所述的连接件，其中，压力释放装置在所述手柄的相对端中的每一端与所述手柄可操作地接合。
207.根据权利要求206所述的连接件，其中，所述手柄在所述相对端包括与所述连接件的所述主体部相接合的轮轴部。
208.根据权利要求207所述的连接件，包括两个所述止挡件，其中，每个所述轮轴部包括与对应的一个所述止挡件相接合的凸轮表面，并且每个所述止挡件包括按钮，所述按钮被弹簧偏压至锁定位置以防止所述手柄的运动，并且所述按钮可手动压低，以使其从锁定位置脱离，因而使得所述手柄能够运动。
209.根据权利要求205所述的连接件，进一步包括适于在加压气体与所述连接件相连接时使加压气体流动到容器中的加压气体入口组件。
210.根据权利要求205所述的连接件，其中，所述压力释放装置包括三通阀。
211.根据权利要求205所述的连接件，其中，所述止挡件包括滑动件，所述滑动件可手动地在与所述手柄相接合的锁定位置与释放位置之间移动。
212.根据权利要求205所述的连接件，其中，所述止挡件包括气缸，所述气缸选择性地启动以促使突出件的延伸部与所述手柄相接合，并且不启动以促使所述突出件与所述手柄脱离而缩回。
213.根据权利要求212所述的连接件，其中，所述突出件接合所述手柄的轮轴部。
214.根据权利要求212所述的连接件，其中，通过与所述突出件相接合的偏压弹簧使所述突出件移动。
215.一种材料储存和分配包装，包括材料储存和分配容器以及如权利要求205中所要求保护的连接件，所述连接件与所述容器相连接以封闭所述容器。
216.根据权利要求215所述的材料储存和分配包装，进一步包括位于所述容器中的衬件。
217.根据权利要求216所述的材料储存和分配包装，其中，所述衬件中容纳有化学试剂。
218.根据权利要求217所述的材料储存和分配包装，其中，所述化学试剂包括光致抗蚀剂。
219.根据权利要求217所述的材料储存和分配包装，连接至半导体加工工具。
220.根据权利要求215所述的材料储存和分配包装，其中，所述连接件进一步包括加压气体入口，用于从所述容器通过所述连接件的所述分配组件的材料的压力辅助分配。
221.一种储存和分配材料的方法，其中，所述材料被放置在容器中，并且连接件与所述容器相连接以形成容纳包装，其中，所述连接件包括手柄，所述手柄可在所述容器中具有压力的第一锁定位置与第二位置之间移动，在所述第二位置，在所述容器与所述包装的周围环境之间没有压差的情况下可从所述容器上移除所述连接件，所述方法包括在所述手柄处于第一位置时选择性地对所述容器进行减压，以使所述手柄能够从所述第一锁定位置移动至所述第二位置。
全文摘要
本发明公开了流体储存和分配系统以及方法，涉及用于流体储存和分配的各种装置、结构和设置、以及技术和方法，包括但不限于有效地用于流体储存和分配包装的应用中以确保正确接合并避免流体污染问题的预连接确认接合件，有效地用于与流体分配操作中被压扁的衬件相结合的流体储存和分配包装的空检测系统，用于辅助从盖式容器上移除分配连接件的符合人机工程学的改进结构，用于防止容器盖的误用的盖整体性确保系统，以及用于确保正确的分配组件和容器的接合的键码系统。描述了流体储存和分配系统，实现了零或接近零的顶部空间特征，并且防止或改进了从第二层包装容器中的衬件分配流体时的溶解效应。
文档编号B67D99/00GK101223100SQ200680026054
公开日2008年7月16日 申请日期2006年6月5日 优先权日2005年6月6日
发明者约翰·R·金格里, 丹尼斯·布雷斯托万斯基, 凯文·T·奥多尔蒂, 格伦·M·汤姆, 柯克·米克尔森, 马修·史密斯, 唐纳德·D·韦尔, 格雷格·纳尔逊, 罗伯特·哈帕拉, 鲁塞尔·奥贝格, 蒂姆·霍伊特, 贾森·杰罗尔德, 凯文·内斯达尔, 约翰·扬切克 申请人:高级技术材料公司