物品搬送设备的制作方法
【专利摘要】本发明涉及物品搬送设备。将高位置用载置部设置在比低位置用载置部中的载置物品的载置面的高度更高且比载置于低位置用载置部的物品的上端更低的高度。在该低位置用载置部的移动轨迹与载置于高位置用载置部的物品的移动轨迹具有重复的重复部分和不重复的非重复部分且该重复部分和该非重复部分沿移动方向并排的状态下，设置低位置用载置部，在该高位置用载置部的移动轨迹与载置于低位置用载置部的物品的移动轨迹具有重复的重复部分和不重复的非重复部分且该重复部分和该非重复部分沿移动方向并排的状态下，设置高位置用载置部。
【专利说明】物品搬送设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及物品搬送设备，其设有在第一搬送部位与第二搬送部位之间搬送物品的搬送装置，作为所述第一搬送部位，设定有低位置第一搬送部位和被设定于比该低位置第一搬送部位更高的位置的高位置第一搬送部位，作为所述第二搬送部位，设定有低位置第二搬送部位和被设定于比该低位置第二搬送部位更高的位置的高位置第二搬送部位，作为所述搬送装置，设有:低位置搬送装置，使载置物品的低位置用载置部沿水平方向移动，在所述低位置第一搬送部位与所述低位置第二搬送部位之间搬送物品；以及高位置搬送装置，使载置物品的高位置用载置部沿水平方向移动，在所述高位置第一搬送部位与所述高位置第二搬送部位之间搬送物品。
【背景技术】
[0002]在上述那样的物品搬送设备中，例如，设置在第一搬送部位与自身之间可交接(授受)物品的顶部搬送车，利用该顶部搬送车，在低位置第一搬送部位或高位置第一搬送部位与自身之间搬送物品，设置在第二搬送部位与自身之间可交接物品的塔式起重机，利用该塔式起重机，在低位置第二搬送部位或高位置第二搬送部位与自身之间搬送物品。而且，构成为:使低位置搬送装置的低位置用载置部移动，在低位置第一搬送部位与低位置第二搬送部位之间搬送物品，使高位置搬送装置的高位置用载置部移动，在高位置第一搬送部位与高位置第二搬送部位之间搬送物品。通过如此地双路径设置在第一搬送部位与第二搬送部位之间搬送物品的路径，从而高效地搬送物品。
[0003]作为物品搬送设备的一个示例，具有以下设备:高位置用载置部和低位置用载置部中的每一个以与另一载置部的移动轨迹和载置于另一载置部的物品的移动轨迹从上下方向看重复的状态设置，谋求高位置搬送装置与低位置搬送装置在水平方向上的设置空间的节省空间化(例如，参照日本特开2010-137961号公报(专利文献I))。
[0004]而且，在上述专利文献I的物品搬送设备中，构成为:将高位置搬送装置设在比载置于低位置用载置部的物品的上端更高的高度，在用低位置搬送装置搬送物品时，该物品不干涉高位置搬送装置。
[0005]然而，在上述专利文献I的物品搬送设备中，虽然通过将低位置搬送装置和高位置搬送装置以从上下方向看重复的状态设置，从而谋求水平方向的设置空间的节省空间化，但是为了在用低位置搬送装置搬送物品时避免低位置用载置部或载置于该低位置用载置部的物品与高位置搬送装置干涉，高位置搬送装置被设在比载置于低位置用载置部的物品的上端更高的高度。因此，高位置搬送装置和低位置搬送装置以沿上下方向较大地分离的状态设置，为了设置高位置搬送装置和低位置搬送装置，在上下方向上需要大设置空间。
【发明内容】
[0006]鉴于上述背景，希望实现设置高位置搬送装置和低位置搬送装置而使搬送效率提高同时能够谋求高位置搬送装置和低位置搬送装置的设置空间的节省空间化的物品搬送设备。
[0007]根据本发明的物品搬送设备具备以下:
搬送装置，其在第一搬送部位与第二搬送部位之间搬送物品；
在此，作为所述第一搬送部位，设定有低位置第一搬送部位和被设定于比该低位置第一搬送部位更高的位置的高位置第一搬送部位；作为所述第二搬送部位，设定有低位置第二搬送部位和被设定于比该低位置第二搬送部位更高的位置的高位置第二搬送部位；作为所述搬送装置，设有:低位置搬送装置，其使载置物品的低位置用载置部沿水平方向移动，在所述低位置第一搬送部位与所述低位置第二搬送部位之间搬送物品；以及高位置搬送装置，其使载置物品的高位置用载置部沿水平方向移动，在所述高位置第一搬送部位与所述高位置第二搬送部位之间搬送物品，
所述高位置用载置部被设置在比所述低位置用载置部中的载置物品的载置面的高度更高且比载置于所述低位置用载置部的物品的上端更低的高度，
所述低位置用载置部中，载置于该低位置用载置部的物品的移动轨迹与所述高位置用载置部的移动轨迹和载置于该高位置用载置部的物品的移动轨迹从上下方向看，具有重复的重复部分和不重复的非重复部分，并且，该重复部分和该非重复部分以沿所述低位置用载置部的移动方向并排的状态设置，
所述高位置用载置部中，该高位置用载置部的移动轨迹和载置于该高位置用载置部的物品的移动轨迹与载置于所述低位置用载置部的物品的移动轨迹从上下方向看，具有重复的重复部分和不重复的非重复部分，并且，该重复部分和该非重复部分以沿所述高位置用载置部的移动方向并排的状态设置。
[0008]S卩，在低位置用载置部的移动轨迹具有与载置于高位置用载置部的物品的移动轨迹从上下方向看重复的部分而且高位置用载置部的移动轨迹具有与载置于低位置用载置部的物品的移动轨迹从上下方向看重复的部分的状态下，设置低位置用载置部和高位置用载置部。
[0009]因此，在高位置用载置部和载置于该高位置用载置部的物品与低位置用载置部的移动轨迹从上下方向看不重复的状态下，当使载置物品的低位置用载置部移动时，高位置用载置部或载置于该高位置用载置部的物品不会成为妨碍，通过使低位置用载置部移动至对应于低位置第一搬送部位的位置和对应于低位置第二搬送部位的位置，从而能够在低位置第一搬送部位与低位置第二搬送部位之间搬送物品。
[0010]另外，在载置于低位置用载置部的物品与高位置用载置部的移动轨迹和载置于该高位置用载置部的物品的移动轨迹从上下方向看不重复的状态下，当使载置物品的高位置用载置部移动时，载置于低位置用载置部的物品不会成为妨碍，通过使高位置用载置部移动至对应于高位置第一搬送部位的位置和对应于高位置第二搬送部位的位置，从而能够在高位置第一搬送部位与高位置第二搬送部位之间搬送物品。
[0011]作为在第一搬送部位与第二搬送部位之间搬送物品的路径，设有使低位置用载置部移动而搬送物品的路径和使高位置用载置部移动而搬送物品的路径这两条路径，因此能够高效地在第一搬送部位与第二搬送部位之间搬送物品。
[0012]而且，通过使低位置用载置部的移动轨迹与高位置用载置部的移动轨迹和载置于该高位置用载置部的物品的移动轨迹从上下方向看一部分重复，从而能够谋求低位置搬送装置与高位置搬送装置在水平方向上的设置空间的节省空间化。
[0013]另外，由于高位置用载置部被设置在比低位置用载置部中的载置物品的载置面的高度更高且比载置于低位置用载置部的物品的上端更低的高度，因而能够谋求低位置搬送装置与高位置搬送装置在上下方向上的设置空间的节省空间化。
[0014]这样，设置高位置搬送装置和低位置搬送装置而使搬送效率提高，同时能够谋求高位置搬送装置和低位置搬送装置在水平方向和上下方向上的设置空间的节省空间化。
[0015]以下，说明本发明的优选实施方式的示例。
[0016]在根据本发明的物品搬送设备的实施方式中，优选地，所述低位置搬送装置被设置成使所述低位置用载置部围绕沿铅垂方向的轴心旋转移动自如，所述高位置搬送装置被设置成使所述高位置用载置部围绕沿铅垂方向的轴心旋转移动自如。
[0017]S卩，在使物品被载置于低位置用载置部的状态下，通过使低位置用载置部旋转移动而能够在低位置第一搬送部位与低位置第二搬送部位之间搬送物品，另外，在使物品被载置于高位置用载置部的状态下，通过使高位置用载置部旋转移动而能够在高位置第一搬送部位与高位置第二搬送部位之间搬送物品。
[0018]而且，载置部的旋转移动例如能够以将载置部连结至围绕沿铅垂方向的旋转轴心旋转自如的连结部并用电动马达使该连结部旋转等简单的构成来实现，因而能够谋求搬送装置的构成的简单化。
[0019]在根据本发明的物品搬送设备的实施方式中，优选地，所述低位置用载置部和所述高位置用载置部被设置成围绕同一轴心旋转移动自如。
[0020]S卩，由于低位置用载置部和高位置用载置部被设置成围绕同一轴心旋转自如，因而与围绕不同轴心旋转自如地设置这些载置部的情况相比，能够以轴心不分离的程度谋求在水平方向上的设置空间的节省空间化。
[0021]在根据本发明的物品搬送设备的实施方式中，优选地，所述搬送装置构成为将自如容纳多块基板的容器作为物品来搬送，设有对所述基板进行处理的基板处理装置，并设有基板搬送装置，其从在载置于所述载置部的状态下位于所述第二搬送部位的所述容器取出所述基板，将该基板搬送至所述基板处理装置。
[0022]S卩，由于高位置用载置部被设置在比低位置用载置部中的载置物品的载置面的高度更高且比载置于低位置用载置部的物品的上端更低的高度，因而高位置用载置部与低位置用载置部的高度差小。因此，当基板搬送装置在载置于低位置用载置部的容器或载置于高位置用载置部的容器与基板处理装置之间搬送基板时，能够抑制为了将基板取出所需要的基板搬送装置的升降移动量，能够沿上下方向紧凑地构成基板搬送装置。
[0023]另外，由于能够在使容器被载置于搬送装置的载置部的状态下由基板搬送装置取出基板，因而不必将容器搬送至被设定为从搬送装置的载置部上取出基板用的基板取出部位等另外的部位，能够高效地搬送基板。
[0024]在根据本发明的物品搬送设备的实施方式中，优选地，所述低位置第一搬送部位和所述高位置第一搬送部位被设定在从上下方向看相同的位置。
[0025]S卩，低位置第一搬送部位和高位置第一搬送部位被设定在从上下方向看相同的位置。因此，在物品的搬送对象部位为低位置第一搬送部位的情况和物品的搬送对象部位为高位置第一搬送部位的情况下，由于物品的搬送对象部位的位置是在水平方向上相同的位置，因而易于进行将低位置第一搬送部位或高位置第一搬送部位作为搬送对象部位的物品的搬送。
[0026]在根据本发明的物品搬送设备的实施方式中，优选地，设有具有在所述第一搬送部位与自身之间搬送物品的机构并沿水平方向移动自如的搬送车，所述搬送车构成为:在停止于对所述低位置第一搬送部位和所述高位置第一搬送部位通用设定的停止位置的状态下，在所述低位置第一搬送部位或所述高位置第一搬送部位与自身之间自如地搬送物
品O
[0027]S卩，低位置第一搬送部位和高位置第一搬送部位被设定于从上下方向看相同的位置，搬送车不论在低位置第一搬送部位与自身之间搬送物品时，还是在高位置第一搬送部位与自身之间搬送物品时，都能够在停止于通用停止位置的状态下搬送物品。因此，例如在由搬送车将容器卸在低位置第一搬送部位之后，不使该搬送车沿水平方向移动就能够从高位置第一搬送部位抬起物品等，能够由搬送车高效地搬送物品。
[0028]在根据本发明的物品搬送设备的实施方式中，优选地，设有顶部搬送车，其在被配设于顶部的行驶轨道引导支撑的状态下沿所述行驶轨道行驶自如且升降自如地具备支撑物品的支撑体，所述顶部搬送车构成为:为了将物品卸于所述载置部，使所述支撑体下降移动而将物品搬送至所述第一搬送部位，并且，为了从所述载置部抬起物品，使所述支撑体上升移动而从所述第一搬送部位搬送物品。
[0029]S卩，由于高位置用载置部被设置在比低位置用载置部中的载置物品的载置面的高度更高且比载置于低位置用载置部的物品的上端更低的高度，因而高位置用载置部与低位置用载置部的高度差小。因此，能够将低位置用载置部的高度设置在高位置上，能够抑制在顶部搬送车与低位置第一搬送部位之间搬送物品时的升降体的升降量，能够在顶部搬送车与低位置第一搬送部位之间高效地搬送物品。
【专利附图】
【附图说明】
[0030]图1是物品搬送设备的立体图。
[0031 ] 图2是物品搬送设备的俯视图。
[0032]图3是物品搬送设备的侧视图。
[0033]图4是显示低位置搬送装置与高位置搬送装置的立体图。
[0034]图5是显示低位置搬送装置与高位置搬送装置的俯视图。
[0035]图6是显示载置于低位置用载置部的容器的移动轨迹与高位置用载置部和载置于该载置部的容器的移动轨迹的俯视图。
[0036]图7是显示载置于高位置用载置部的容器的移动轨迹与低位置用载置部和载置于该载置部的容器的移动轨迹的俯视图。
[0037]图8是显示载置部的支撑构造的图。
[0038]图9是控制框图。
[0039]图10是流程图。
[0040]符号说明:
I第一搬送部位 IL低位置第一搬送部位 IH高位置第一搬送部位 2第二搬送部位 2L低位置第二搬送部位 2H高位置第二搬送部位 3容器(物品)
4基板 5搬送装置 5L低位置搬送装置 5H高位置搬送装置 6顶部搬送车(搬送车)
7基板处理装置 8基板搬送装置 11载置部 IlL低位置用载置部 IlH高位置用载置部 20行驶轨道 21支撑体 P 轴心。
【具体实施方式】
[0041]以下，基于【专利附图】
【附图说明】本发明的实施方式。
[0042]如图1至图3所示，在物品搬送设备上设有:搬送装置5，其在第一搬送部位(参照图2和图3)与第二搬送部位(参照图2和图3)之间搬送自如地容纳多块基板4的容器3 ;顶部搬送车6，其在第一搬送部位与自身之间搬送容器3 ;基板处理装置7，其对基板4进行处理；以及基板搬送装置8，其在位于第二搬送部位2的容器3与基板处理装置7之间搬送基板4。在本例中，顶部搬送车6具有在第一搬送部位I与自身之间搬送容器3的机构，并且构成为沿水平方向移动自如。
[0043]而且，物品搬送设备构成为:由顶部搬送车6将容器3搬送至第一搬送部位，由搬送装置5将容器3从第一搬送部位I搬送至第二搬送部位2，由基板搬送装置8从位于第二搬送部位2的容器3取出基板4并将该基板4向基板处理装置7搬送。
[0044]另外，物品搬送设备构成为:由基板搬送装置8将由基板处理装置7进行的处理完成后的基板4从基板处理装置7向位于第二搬送部位2的容器3搬送并将该基板4容纳于容器3，由搬送装置5将容器3从第二搬送部位2搬送至第一搬送部位1，由顶部搬送车6从第一搬送部位I搬送容器3。
[0045]物品搬送设备被设置于清洁室内，作为基板4，用于液晶面板等的、形成为矩形状的玻璃基板被容纳于容器3中。容器3相当于由搬送装置5搬送的物品，在横侧面上，形成有用于放入取出基板4的开口，被顶部搬送车6的支撑体21支撑的凸缘部被设于上表面。另外，虽然图示省略，但基板4以水平姿势且在沿上下方向邻接的基板4彼此之间形成有间隙的状态下被容纳于容器3。[0046]此外，在基板处理装置7中，对基板4进行涂布、曝光以及显影等规定的处理。
[0047]如图3所示，设有顶部搬送车6而由该顶部搬送车6搬送容器3的容器搬送区域El和设有基板处理装置7和基板搬送装置8而由该基板搬送装置8搬送基板4的基板搬送区域E2由分隔壁9分隔。而且，搬送装置5构成为:以向容器搬送区域El突出自如的状态设于基板搬送区域E2，在容器搬送区域El与基板搬送区域E2之间搬送容器3。
[0048]此外，第一搬送部位I被设定于容器搬送区域El，第二搬送部位2被设定于基板搬送区域E2。
[0049]如图4和图5所示，作为第一搬送部位I，设定有低位置第一搬送部位IL和被设定于比该低位置第一搬送部位更高的位置的高位置第一搬送部位IH ;作为第二搬送部位2，设定有低位置第二搬送部位2L和被设定于比该低位置第二搬送部位2L更高的位置的高位置第二搬送部位2H。
[0050]而且，搬送装置5构成为:通过使载置容器3的单一载置部11沿水平方向移动，从而在第一搬送部位I与第二搬送部位2之间搬送容器3。单一载置部11由从上下方向看形成为2字状(成方形的U字状)的板状部件构成。
[0051]作为搬送装置5，设有:低位置搬送装置5L，使载置容器3的低位置用载置部IlL沿水平方向移动，在低位置第一搬送部位IL与所述低位置第二搬送部位2L之间搬送容器3 ;以及高位置搬送装置5H，使载置容器3的高位置用载置部IlH沿水平方向移动，在高位置第一搬送部位IH与高位置第二搬送部位2H之间搬送容器3。
[0052]如图1和图3所示，低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H这一对搬送装置5的组以沿上下方向并排的状态设置两组。这些上侧的低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H与下侧的低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H除高度不同外同样地构成。另外，上侧的低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H与下侧的低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H被相同支撑框支撑于上下方向上不同的高度。
[0053]低位置搬送装置5L设置成使低位置用载置部IlL围绕沿铅垂方向的轴心P旋转移动自如。
[0054]如果施加说明，则如图8所示，低位置连结部14L围绕轴心P旋转自如地被连结于低位置电动马达13L的输出轴，低位置用载置部IlL悬臂状地被连结于该低位置连结部14L。而且构成为:通过用低位置电动马达13L使低位置连结部14L围绕轴心P旋转驱动，从而使低位置用载置部IlL围绕轴心P旋转移动而在低位置第一搬送部位IL与低位置第二搬送部位2L之间搬送容器3。
[0055]另外，同样地，高位置搬送装置5H也被设置成使高位置用载置部IlH围绕沿铅垂方向的轴心P旋转移动自如，构成为:通过用高位置电动马达13H使高位置连结部14H围绕轴心P旋转驱动，从而使高位置用载置部IlH围绕轴心P旋转移动而在高位置第一搬送部位IH与高位置第二搬送部位2H之间搬送容器3。
[0056]这样，低位置用载置部IlL和高位置用载置部IlH被设置成围绕同一轴心旋转自如。
[0057]低位置电动马达13L和高位置电动马达13H在低位置电动马达13L位于高位置电动马达13H更上方的状态下被支撑框12支撑。
[0058]低位置电动马达13L以输出轴向上方突出的姿势被设置，从低位置连结部14L的上侧连结部分14a向上方突出的上突部分14c以一体旋转的状态连结至该低位置电动马达13L的输出轴。
[0059]另外，高位置电动马达13H以输出轴向下方突出的姿势被设置，从高位置连结部14H的下侧连结部分14b向下方突出的下突部分14d以一体旋转的状态连结至该高位置电动马达13H的输出轴。
[0060]而且，低位置连结部14L的下侧连结部分14b以围绕轴心P旋转自如的状态被连结至高位置连结部14H的下突出部分14d，高位置连结部14H的上侧连结部分14a以围绕轴心P旋转自如的状态被连结至低位置连结部14L的上突出部分14c。
[0061]另外，在低位置连结部14L的上侧连结部分14a与高位置连结部14H的下侧连结部分14b之间，介入有被支撑框12支撑的部件15，低位置连结部14L的上侧连结部分14a以围绕轴心P旋转自如的状态被连结至部件15的上端部，高位置连结部14H的下侧连结部分14b以围绕轴心P旋转自如的状态被连结至部件15的下端部。
[0062]这样，低位置连结部14L和高位置连结部14H以沿上下方向被夹持于低位置电动马达13L与高位置电动马达13H之间的状态设置。而且，从上起按高位置连结部14H的上侧连结部分14a、低位置连结部14L的上侧连结部分14a、高位置连结部14H的下侧连结部分14b、低位置连结部14L的下侧连结部分14b的顺序排列，使低位置连结部14L的上侧连结部分14a位于高位置连结部14H的上侧连结部分14a与下侧连结部分14b之间，使高位置连结部14H的下侧连结部分14b位于低位置连结部14L的上侧连结部分14a与下侧连结部分14b之间。由此，能够将低位置连结部14L和高位置连结部14H中的每一个以沿上下方向较宽的间隔连结至支撑框12侧，同时谋求低位置连结部14L和高位置连结部14H在上下方向上的设置空间的节省空间化。
[0063]而且，连结至低位置连结部14L的低位置用载置部IIL和连结至高位置连结部14H的高位置用载置部IlH在以下状态下设置:高位置用载置部IlH位于比低位置用载置部IlL中的载置容器3的载置面(载置部IlH的上表面)的高度更高且比载置于低位置用载置部IlL的容器3的上端更低的高度。
[0064]接下来，说明低位置用载置部IlL和高位置用载置部IlH的旋转移动以及从上下方向看的位置关系。此外，将容器搬送区域El与基板搬送区域E2并排的方向称为设备前后方向(图2和图5中由箭头X所示的方向)且将与设备前后方向正交的方向称为设备左右方向(图2和图5中由箭头Y所示的方向)来说明。在本例中，设备前后方向和设备左右方向中的每一个为平行于水平面的方向。
[0065]如图5所示，支撑框12被设置于基板搬送区域E2，轴心P位于基板搬送区域E2。
[0066]低位置用载置部IlL构成为:通过使其以轴心P为中心从上下方向看逆时针方向旋转移动而向容器搬送区域El突出移动，从而旋转移动至对应于低位置第一搬送部位IL的位置(图5(a)中由实线所示的位置)。此时，低位置用载置部IlL相对于轴心P位于设备前后方向的容器搬送区域El所位于的一侧。
[0067]另外，低位置用载置部IlL构成为:通过使其以轴心P为中心从上下方向看顺时针方向旋转移动而向基板搬送区域E2退出移动，从而旋转移动至对应于低位置第二搬送部位2L的位置(图5(a)中由假想线所示的位置)。此时，低位置用载置部IlL相对于轴心P位于设备左右方向的一侧(顶部搬送车6的行驶方向上游侧)。[0068]而且，高位置用载置部IlH构成为:通过使其以轴心P为中心从上下方向看顺时针方向旋转移动而向容器搬送区域El突出移动，从而旋转移动至对应于高位置第一搬送部位IH的位置(图5(b)中由实线所示的位置)。此时，高位置用载置部IlH相对于轴心P位于设备前后方向的容器搬送区域El所位于的一侧。
[0069]另外，高位置用载置部IlH构成为:通过使其以轴心P为中心从上下方向看逆时针方向旋转移动而向基板搬送区域E2退出移动，从而旋转移动至对应于高位置第二搬送部位2H的位置(图5(b)中由假想线所示的位置)。此时，高位置用载置部IlH相对于轴心P位于设备左右方向的另一侧(顶部搬送车6的行驶方向下游侧)。
[0070]此外，对应于搬送部位(低位置第一搬送部位IL等)的位置是指在容器3位于搬送部位时载置该容器3的载置部11所存在的位置。另外，低位置用载置部IlL和高位置用载置部IlH中的每一个的摆动角度被设定为90°。
[0071]顺便提及，位于图3中上侧的低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H的组成为图5(b)所示的位置关系，位于图3中下侧的低位置搬送装置5L和高位置搬送装置5H的组成为图5(a)所示的位置关系。
[0072]如图5所示，低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH都被设定在相对于轴心P而设备前后方向的容器搬送区域El所位于的一侧，低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH被设定于从上下方向看相同的位置。于是，旋转移动至对应于低位置第一搬送部位IL的位置的低位置用载置部IlL和旋转移动至对应于高位置第一搬送部位IH的位置的高位置用载置部IlH都移动至相对于轴心P而设备前后方向的容器搬送区域El所位于的一侧，这些低位置用载置部IlL和高位置用载置部IlH位于从上下方向看相同的位置。
[0073]另外，低位置第二搬送部位2L相对于轴心P被设定在设备左右方向的一侧，高位置第二搬送部位2H相对于轴心P被设定在设备左右方向的另一侧，低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H被设定在从上下方向看不同的位置。于是，旋转移动至对应于低位置第一搬送部位IL的位置的低位置用载置部IlL相对于轴心P移动到设备左右方向的一侧，旋转移动至对应于高位置第一搬送部位IH的位置的高位置用载置部IlH相对于轴心P移动到设备左右方向的另一侧，低位置用载置部IlL和高位置用载置部IlH位于从上下方向看不同的位置。
[0074]而且，如图5至图7所示，低位置用载置部IlL设置成:在使其移动至对应于低位置第一搬送部位IL的位置的状态下，与高位置用载置部IlH的移动轨迹和载置于该高位置用载置部IlH的容器3的移动轨迹从上下方向看重复，在使其移动至对应于低位置第二搬送部位2L的位置的状态下，与高位置用载置部IlH的移动轨迹和载置于该高位置用载置部IlH的容器3的移动轨迹从上下方向看不重复。
[0075]另外，高位置用载置部IlH设置成:在使其移动至对应于高位置第一搬送部位IH的位置的状态下，与低位置用载置部IlL的移动轨迹和载置于该低位置用载置部IlL的容器3的移动轨迹从上下方向看重复，在使其移动至对应于高位置第二搬送部位2H的位置的状态下，与低位置用载置部IlL的移动轨迹和载置于该低位置用载置部IlL的容器3的移动轨迹从上下方向看不重复。
[0076]此外，在图6中，由一点划线3LT表示载置于低位置用载置部IlL的容器3的移动轨迹，由一点划线IlHT表示高位置用载置部IlH的移动轨迹和载置于该高位置用载置部IlH的容器3的移动轨迹。另外，在图7中，由一点划线3HT表示载置于高位置用载置部IlH的容器3的移动轨迹，由一点划线IlLT表示低位置用载置部IlL的移动轨迹和载置于该低位置用载置部IlL的容器3的移动轨迹。
[0077]这样，低位置用载置部IlL中，该低位置用载置部IlL的移动轨迹和载置于该低位置用载置部IlL的容器3的移动轨迹与高位置用载置部IlH的移动轨迹和载置于该高位置用载置部IlH的容器3的移动轨迹从上下方向看，具有重复的重复部分和不重复的非重复部分，该重复部分和该非重复部分以沿着低位置用载置部IlL的移动方向并排的状态设置。另外，高位置用载置部IlH中，该高位置用载置部IlH的移动轨迹和载置于该高位置用载置部IlH的容器3的移动轨迹与低位置用载置部IlL的移动轨迹和载置于该低位置用载置部IlL的容器3的移动轨迹从上下方向看，具有重复的重复部分和不重复的非重复部分，该重复部分和该非重复部分以沿着高位置用载置部IlL的移动方向并排的状态设置。
[0078]而且，高位置用载置部IIH和低位置用载置部IlL中的每一个构成为:在另一方的载置部IlLUlH位于不重复部位的状态下，在第一搬送部位I与第二搬送部位2之间自如地搬送容器3。
[0079]S卩，如图5 (a)所示，在高位置用载置部IIH位于对应于高位置第二搬送部位2H的位置的状态下，能够不接触高位置用载置部IlH或载置于该高位置用载置部IlH的容器3而使低位置用载置部IlL移动至对应于低位置第一搬送部位IL的位置或对应于低位置第二搬送部位2L的位置，将容器3搬送至低位置第一搬送部位IL或低位置第二搬送部位2L。
[0080]另外,如图5(b)所示,在低位置用载置部IlL位于对应于低位置第二搬送部位2L的位置的状态下，能够不接触低位置用载置部IlL或载置于该低位置用载置部IlL的容器3而使高位置用载置部IlH移动至对应于高位置第一搬送部位IH的位置或对应于高位置第二搬送部位2H的位置，将容器3搬送至高位置第一搬送部位IH或高位置第二搬送部位2H。
[0081]基板搬送装置8具备在设备前后方向上设置于搬送装置5与基板处理装置7之间的升降移动自如的升降台17和沿设备左右方向自如地移动该升降台17的移动机械手18而被构成。在移动机械手18上，升降移动自如、围绕铅垂轴心旋转移动自如以及沿水平方向退出移动自如地具备叉状的支撑部18a。
[0082]该基板搬送装置8构成为:通过升降台17的升降移动和移动机械手18沿设备左右方向的移动以及支撑部18a的升降、旋转和退出，从而如以下这样动作。即，基板搬送装置8构成为:从在载置于低位置用载置部IlL的状态下位于低位置第二搬送部位2L的容器3取出基板4而将该基板4搬送至基板处理装置7，从在载置于高位置用载置部IlH的状态下位于高位置第二搬送部位2H的容器3取出基板4而将该基板4搬送至基板处理装置7，并且将由基板处理装置7结束处理后的基板4向在载置于高位置用或低位置用载置部11的状态下位于第二搬送部位2的容器3搬送而将该基板4容纳于容器3。
[0083]基板搬送装置8构成为:在容器3位于四处第二搬送部位2 (两处低位置第二搬送部位2L和两处高位置第二搬送部位2H)中任何一处的状态下，都从容器3自如地放入取出基板4。而且，能够将四处第二搬送部位2中的、由基板搬送装置8放入取出基板4的容器3所存在的第二搬送部位2以外的第二搬送部位2用作暂时保存容器3的缓冲区。[0084]如图1至图3所示，顶部搬送车6构成为:在被配设于顶部的行驶轨道20引导支撑的状态下，沿行驶轨道20行驶自如。另外，顶部搬送车6升降自如且围绕沿上下方向的轴心旋转自如地具备支撑容器3的支撑体21而被构成。顺便提及，顶部搬送车6在搬送装置5的附近沿着设备左右方向而向一个方向(在图1中从左上到右下)行驶。另外，顶部搬送车6相当于具有在第一搬送部位I与自身之间搬送物品的机构而沿水平方向移动自如的搬送车。在本例中，支撑体21构成在第一搬送部位I与顶部搬送车6(搬送车)之间搬送物品的机构。
[0085]而且，如图3所示，顶部搬送车6构成为在使支撑体21上升移动至上升位置的状态下行驶移动自如。另外，顶部搬送车6构成为:在使支撑体21从上升位置下降移动而将容器3卸于载置部11的形态下将容器3搬送至第一搬送部位I，在使支撑体21上升移动至上升位置而将容器3从载置部11上拉起的形态下从第一搬送部位I搬送容器3。通过这样，顶部搬送车6进行将第一搬送部位I作为搬送对象部位的容器3的搬送，在第一搬送部位I与自身之间转移(交接)容器3。
[0086]如果施加说明，则顶部搬送车6构成为:在停止于第一搬送部位I正上方的停止位置的状态下，使支撑容器3的支撑体21下降移动，解除支撑体21对容器3的支撑而将容器3向载置部11卸下，容器3被搬送至第一搬送部位I。
[0087]另外，顶部搬送车6构成为:在停止于第一搬送部位I正上方的停止位置的状态下，使未支撑容器3的支撑体21下降移动，由支撑体21支撑位于第一搬送部位I的容器3，使支撑容器3的支撑体21上升移动，由此从第一搬送部位I搬送容器3。
[0088]而且，顶部搬送车6构成为:在停止于对低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH通用设定的停止位置的状态下，在低位置第一搬送部位IL或高位置第一搬送部位IH与自身之间自如搬送(转移自如)容器3。
[0089]顺便提及，在使顶部搬送车6停止于停止位置的状态下，当低位置用载置部IlL位于对应于第一搬送部位I的位置时，在顶部搬送车6与低位置第一搬送部位IL之间搬送容器3 ;当高位置用载置部IIH位于对应于第一搬送部位I的位置时，在顶部搬送车6与高位置第一搬送部位IH之间搬送容器3。
[0090]第一搬送部位I (低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位1H)被设定在以下部位:在载置于载置部11的状态下，位于第一搬送部位I的容器3的上端比行驶用状态的顶部搬送车6的支撑体21的下端更位于下方，并且比被行驶用状态的顶部搬送车6支撑的容器3的下端更位于上方。
[0091]由于能够将第一搬送部位I设定在接近顶部搬送车6的部位，因而能够减少在顶部搬送车6将容器3搬送至第一搬送部位I时的支撑体21的下降量，能够快速地将容器3搬送至第一搬送部位I。另外，即使容器3存在于第一搬送部位1，也能够使未支撑容器3的行驶用状态的顶部搬送车6自由地行驶移动。
[0092]如图9所示，在物品搬送设备上，设有控制搬送装置5、顶部搬送车6以及基板搬送装置8的动作的搬送控制装置H。
[0093]搬送控制装置H构成为为了执行以下处理而控制顶部搬送车6的动作:交接前行驶处理，使顶部搬送车6行驶移动至位于第一搬送部位I正上方的停止位置；交接后行驶处理，使顶部搬送车6从第一搬送部位I正上方的停止位置行驶移动；卸下处理，由顶部搬送车6将容器3搬送至第一搬送部位I ;捞取处理，由顶部搬送车6从第一搬送部位I搬送容器3。
[0094]另外，搬送控制装置H构成为为了执行以下处理而控制搬送装置5的动作:退出处理，使载置部11从对应于第一搬送部位I的位置移动至对应于第二搬送部位2的位置；突出处理，使载置部11从对应于第二搬送部位2的位置移动至对应于第一搬送部位I的位置。
[0095]接下来，基于图10所示的流程图列举了以下情况:通过搬送控制装置H执行卸下处理，由顶部搬送车6将容器3搬送至低位置第一搬送部位1L，通过搬送控制装置H执行捞取处理，由顶部搬送车6从高位置第一搬送部位IH搬送容器3 ;说明了在顶部搬送车6与搬送装置5之间搬送容器3的搬送控制。此外，通常，载置部11移动至对应于第二搬送部位2的位置。
[0096]如果将容器3搬送至低位置第二搬送部位2L的搬入指令被指示，则搬送控制装置H首先执行交接前行驶处理和突出处理。在交接前行驶处理和突出处理中，为了使支撑搬入对象容器3的顶部搬送车6行驶至第一搬送部位I正上方的停止位置且使低位置用载置部IlL突出移动至对应于低位置第一搬送部位LI的位置，控制顶部搬送车6和搬送装置5的动作。此后，搬送控制装置H在执行了卸下处理之后执行退出处理。在卸下处理中，为了将容器3卸在低位置用载置部IlL上而使容器3被搬送至低位置第一搬送部位1L，控制顶部搬送车6的动作。另外，在退出处理中，为了使低位置用载置部IlL移动至对应于低位置第二搬送部位2L的位置而将容器3搬送至低位置第二搬送部位2L，控制搬送装置5的动作。
[0097]顺便提及，在交接前行驶处理和突出处理中，通常，交接前行驶处理一方需要长的时间，在顶部搬送车6移动至第一搬送部位I正上方的停止位置之前，载置部11已完成向对应于第一搬送部位I的位置的移动。因此，在使顶部搬送车6行驶至第一搬送部位I的正上方之后，不必使卸下处理的开始伺机直到载置部11突出移动至第一搬送部位1，能够快速地将容器3搬送至第一搬送部位I。
[0098]如上所述，为了在执行退出处理而将容器3搬送至低位置第二搬送部位2L之后，如果搬出指令没有被指示，则执行交接后行驶处理而使未支撑容器3的顶部搬送车6从第一搬送部位I正上方的停止位置行驶，搬送控制装置H控制顶部搬送车6的动作。
[0099]另外，如果有搬出指令，则搬送控制装置H执行突出处理。在突出处理中，为了使高位置用载置部IlH突出移动至对应于高位置第一搬送部位IH的位置，控制搬送装置5的动作。此后，搬送控制装置H在执行了捞取处理之后执行交接后行驶处理和退出处理。在捞取处理中，为了由顶部搬送车6支撑搬出对象容器3，控制顶部搬送车6的动作。另外，在交接后行驶处理和退出处理中，为了使支撑搬出对象容器3的顶部搬送车6从第一搬送部位I正上方的停止位置行驶且使高位置用载置部IlH退出移动至对应于高位置第二搬送部位2H的位置，控制顶部搬送车6和搬送装置5的动作。
[0100]而且，在搬入指令没有被指示而只有搬出指令被指示的情况下，搬送控制装置H首先执行交接前行驶处理和突出处理。在交接前行驶处理和突出处理中，为了使未支撑容器3的顶部搬送车6行驶至第一搬送部位I正上方的停止位置且使高位置用载置部11突出移动至对应于高位置第一搬送部位IH的位置，控制顶部搬送车6和搬送装置5的动作。此后，搬送控制装置H在执行了捞取处理之后，执行交接后行驶处理和退出处理。在捞取处理中，为了由顶部搬送车6支撑搬出对象容器3，控制顶部搬送车6的动作。另外，在交接后行驶处理和退出处理中，为了使支撑搬出对象容器3的顶部搬送车6从第一搬送部位I正上方的停止位置行驶且使高位置用载置部IlH退出移动至对应于高位置第二搬送部位2H的位置，控制顶部搬送车6和搬送装置5的动作。
[0101]这样，由于低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH被设定于从上下方向看相同的位置，因而在顶部搬送车6将容器3转交至低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH中的一个第一搬送部位I之后，该顶部搬送车6不行驶移动就能够从另一第一搬送部位I接收容器3。
[0102]另外，由于高位置用载置部IlH被设置在比低位置用载置部IlL中的载置容器3的载置面的高度更高且比载置于低位置用载置部IlL的容器3的上端更低的高度，因而能够谋求低位置搬送装置5L与高位置搬送装置5H在上下方向上的设置空间的节省空间化。另外，通过使低位置用载置部IlL的移动轨迹与高位置用载置部IlH的移动轨迹和载置于该高位置用载置部的容器3的移动轨迹从上下方向看一部分重复，从而能够谋求低位置搬送装置5L与高位置搬送装置5H在水平方向上的设置空间的节省空间化。
[0103]再者，在高位置用载置部IlH位于对应于高位置第二搬送部位2H的位置的状态下，即使使低位置用载置部IlL移动，被低位置用载置部IlL支撑的容器3也不干涉高位置用载置部IlH或被该高位置用载置部IlH支撑的容器3，能够在低位置第一搬送部位IL与低位置第二搬送部位2L之间搬送容器3。
[0104]另外，在低位置用载置部IlL位于对应于低位置第二搬送部位2L的位置的状态下，即使使高位置用载置部IlH移动，高位置用载置部IlH或被该高位置用载置部IlH支撑的容器3也不干涉被低位置用载置部IlL支撑的容器3，能够在高位置第一搬送部位IH与高位置第二搬送部位2H之间搬送容器3。
[0105]因此，谋求了低位置搬送装置5L与高位置搬送装置5H在水平方向和上下方向上的设置空间的节省空间化，同时能够由低位置搬送装置5L在低位置第一搬送部位IL与低位置第二搬送部位2L之间搬送容器3，而且能够由高位置搬送装置5H在高位置第一搬送部位IH与高位置第二搬送部位2H之间搬送容器3。
[0106][其它实施方式]
(I)在上述实施方式中，将低位置用载置部IlL和高位置用载置部IlH设置成围绕同一轴心旋转移动自如，但是也可以将低位置用载置部IlL和高位置用载置部IlH设置成围绕互不相同的轴心旋转移动自如。
[0107]另外，虽然构成为通过使低位置用载置部IlL和高位置用载置部IlH中的每一个围绕沿铅垂方向的轴心旋转移动而使其移动至对应于第一搬送部位I的位置和对应于第二搬送部位2的位置，但是也可构成为:通过使低位置用载置部IlL和高位置用载置部IlH中的每一个沿水平方向直线移动，使其移动至对应于第一搬送部位I的位置和对应于第二搬送部位2的位置。
[0108](2)在上述实施方式中，顶部搬送车6构成为在第一搬送部位I与自身之间搬送物品，但是例如也可构成为:升降自如地具备载置部11而在地面上行驶移动自如的移动平板车等其它形态的装置在第一搬送部位I与自身之间搬送物品。
[0109]另外，在上述实施方式中，构成为由基板搬送装置8对位于第二搬送部位2的容器3放入取出基板4，但是也可构成为:设置物品搬送装置，物品搬送装置在第二搬送部位2与自身之间搬送容器3 (物品)。
[0110](3)在上述实施方式中，将低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H设定于从上下方向看不同的位置，但也可以将低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H设定于从上下方向看相同的位置。
[0111]顺便提及，在将低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH设定于从上下方向看相同的位置且将低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H设定于从上下方向看相同的位置的情况下，可考虑以由这些载置部11从上下方向看形成圆形移动轨迹的方式设置低位置用载置部IlL和高位置用载置部11H。
[0112](4)在上述实施方式中，将低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH设定于从上下方向看相同的位置，但是也可以将低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH设定于从上下方向看不同的位置。
[0113]顺便提及，在将低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH设定于从上下方向看不同的位置且将低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H设定于从上下方向看不同的位置的情况下，可考虑以由这些载置部11从上下方向看形成X状移动轨迹的方式设置低位置用载置部IlL和高位置用载置部11H。
[0114](5)在上述实施方式中，将容纳有多块基板4的容器3作为物品而搬送，但是也可以将货板及载置于其的货物作为物品来搬送或者将纸板箱作为物品来搬送等物品的形态适当变更。
[0115]另外，也可以由搬送装置5搬送高度不同的多种物品，该情况在将身长最高的种类的物品载置于低位置用载置部IlL的情况下将高位置用载置部IlH设定于比该物品的上端更低的高度即可。
[0116](6)在上述实施方式中，将低位置用载置部IlL在该低位置用载置部IlL的移动轨迹与高位置用载置部IlH的移动轨迹从上下方向看具有重复的部分和非重复的部分的状态下设置，将高位置用载置部IlH在该高位置用载置部IlH的移动轨迹与低位置用载置部IlH的移动轨迹从上下方向看具有重复的部分和非重复的部分的状态下设置，但是也可以在各自的移动轨迹从上下方向看不重复的状态下设置这些低位置用载置部IlL和高位置用载置部11H。
[0117]具体而言，例如，在上述实施方式中，也可以构成为通过将载置部11的俯视形状形成为梳齿状等而使对应于低位置第一搬送部位IL的位置的低位置用载置部IlL与对应于高位置第一搬送部位IH的位置的高位置用载置部IlH从上下方向看不重叠，在各自的移动轨迹从上下方向看不重复的状态下设置低位置用载置部IlL和高位置用载置部11H。
[0118](7)在上述实施方式中，构成为由顶部搬送车6构成搬送车且通过在使顶部搬送车6停止于第一搬送部位I正上方的状态下使支撑体21升降移动而在顶部搬送车6与第一搬送部位I之间搬送物品，但是也可构成为:通过在使顶部搬送车停止于第一搬送部位I的横侧方的状态下使支撑体水平移动和升降移动，从而在顶部搬送车与第一搬送部位之间搬送物品。
【权利要求】
1.一种物品搬送设备，具备以下: 搬送装置，其在第一搬送部位与第二搬送部位之间搬送物品； 在此，作为所述第一搬送部位，设定有低位置第一搬送部位和被设定于比该低位置第一搬送部位更高的位置的高位置第一搬送部位； 作为所述第二搬送部位，设定有低位置第二搬送部位和被设定于比该低位置第二搬送部位更高的位置的高位置第二搬送部位； 作为所述搬送装置，设有:低位置搬送装置，其使载置物品的低位置用载置部沿水平方向移动，在所述低位置第一搬送部位与所述低位置第二搬送部位之间搬送物品；以及高位置搬送装置，其使载置物品的高位置用载置部沿水平方向移动，在所述高位置第一搬送部位与所述高位置第二搬送部位之间搬送物品， 其具有以下特征: 所述高位置用载置部被设置在比所述低位置用载置部中的载置物品的载置面的高度更高且比载置于所述低位置用载置部的物品的上端更低的高度， 所述低位置用载置部中，载置于该低位置用载置部的物品的移动轨迹与所述高位置用载置部的移动轨迹和载置于该高位置用载置部的物品的移动轨迹从上下方向看，具有重复的重复部分和不重复的非重复部分，并且，该重复部分和该非重复部分以沿所述低位置用载置部的移动方向并排的状态设置， 所述高位置用载置部中，该高位置用载置部的移动轨迹和载置于该高位置用载置部的物品的移动轨迹与载置于所述低位置用载置部的物品的移动轨迹从上下方向看，具有重复的重复部分和不重复的非重复部分，并且，该重复部分和该非重复部分以沿所述高位置用载置部的移动方向并排的状态设置。
2.根据权利要求1所述的物品搬送设备，具有以下特征: 所述低位置搬送装置被设置成使所述低位置用载置部围绕沿铅垂方向的轴心旋转移动自如， 所述高位置搬送装置被设置成使所述高位置用载置部围绕沿铅垂方向的轴心旋转移动自如。
3.根据权利要求2所述的物品搬送设备，具有以下特征: 所述低位置用载置部和所述高位置用载置部被设置成围绕同一轴心旋转移动自如。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的物品搬送设备，具有以下特征: 所述搬送装置构成为将自如容纳多炔基板的容器作为物品来搬送， 设有对所述基板进行处理的基板处理装置， 设有基板搬送装置，其从在载置于所述载置部的状态下位于所述第二搬送部位的所述容器取出所述基板，将该基板搬送至所述基板处理装置。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的物品搬送设备，具有以下特征: 所述低位置第一搬送部位与所述高位置第一搬送部位被设定于从上下方向看相同的位置。
6.根据权利要求5所述的物品搬送设备，具有以下特征: 设有搬送车，其具有在 所述第一搬送部位与自身之间搬送物品的机构并沿水平方向移动自如，所述搬送车构成为:在停止于对所述低位置第一搬送部位和所述高位置第一搬送部位通用设定的停止位置的状态下，在所述低位置第一搬送部位或所述高位置第一搬送部位与自身之间自如地搬送物品。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的物品搬送设备，具有以下特征: 设有顶部搬送车，其在被配设于顶部的行驶轨道引导支撑的状态下沿所述行驶轨道行驶自如且升降自如地具备支撑物品的支撑体， 所述顶部搬送车构成为:为了将物品卸于所述载置部，使所述支撑体下降移动而将物品搬送至所述第一搬送部位，并且，为了从所述载置部抬起物品，使所述支撑体上升移动而从所述第一搬送部位搬 送物品。
【文档编号】B65G1/137GK103803232SQ201310543073
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2013年11月6日 优先权日:2012年11月7日
【发明者】村山繁人 申请人:株式会社大福