一种基板支撑杆及对位装置的制作方法

文档序号:12519444阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基板支撑杆,其特征在于,包括:

杆体;

可转动的设置于所述杆体一端的滚珠;

用于在基板对位后防止所述滚珠转动的限位结构。

2.根据权利要求1所述的基板支撑杆,其特征在于,所述杆体的顶端设有用于容纳所述滚珠的容纳槽,滚珠外露于所述容纳槽以承载基板,所述容纳槽的开口的内径小于所述滚珠的直径。

3.根据权利要求2所述的基板支撑杆,其特征在于,所述限位结构包括:

设置于所述杆体内的第一气体通道,所述第一气体通道与外界气体输入结构连接;

设置于所述容纳槽底部的第二气体通道,与所述第一气体通道连通;

用于控制所述第一气体通道导通与关闭以使得所述滚珠在第一状态和第二状态变化的阀门;

其中,所述第一状态为所述滚珠在从所述第二气体通道流出的气体的作用下固定不动;所述第二状态为所述滚珠可自由转动的设置于所述容纳槽内。

4.根据权利要求3所述的基板支撑杆,其特征在于,所述滚珠与所述容纳槽开口之间具有可供气体流出的缝隙。

5.根据权利要求3所述的基板支撑杆,其特征在于,所述阀门为电磁阀。

6.根据权利要求3所述的基板支撑杆,其特征在于,所述第二气体通道内设有用于缓冲气体流出速度的缓冲结构。

7.根据权利要求6所述的基板支撑杆,其特征在于,所述缓冲结构包括:

相对设置的第一挡板和第二挡板,所述第一挡板上设有与所述容纳槽内连通的第一通孔,所述第二挡板上设有与所述第一气体通道连通的第二通孔,所述第一通孔与所述第二通孔交错设置;

位于所述第一通孔和所述第二通孔之间的所述第一挡板向靠近所述第二挡板的方向凸设有至少一个第一凸起部,位于所述第一通孔和所述第二通孔之间的所述第二挡板上设有至少一个第二凸起部,所述第一凸起部和所述第二凸起部交错设置以形成一弯折通道。

8.根据权利要求7所述的基板支撑杆,其特征在于,所述第二通孔的截面面积小于所述第一通孔的截面面积。

9.根据权利要求7所述的基板支撑杆,其特征在于,相邻的第一凸起部和所述第二凸起部之间形成子通道,沿着从所述第二通孔到所述第一通孔的方向设置的子通道的内径越来越大。

10.根据权利要求3所述的基板支撑杆,其特征在于,所述第一气体通道内设有气体过滤结构。

11.根据权利要求1所述的基板支撑杆,其特征在于,所述杆体的另一端设有用于将所述杆体固定的螺纹结构。

12.一种对位装置,其特征在于,包括权利要求1-11任一项所述的基板支撑杆。

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