移送工具的制作方法

本发明涉及元件处理器，更详细地说涉及移送工具，在执行元件的检查、分类等的元件处理器中执行拾取以及移送元件。

背景技术

一般地说，dram、闪速存储器、lsi、led、wl-csp元件等半导体元件(以下，称为“元件”)，在完成半导体工艺之后完成锯切工艺、包装工艺等之后面市。

然后，为了确保已面市的产品的可靠性，通过检查装置、分类装置、检查以及分类装置等进行自动检查以及根据检查结果进行分类，据此筛选合格品之后投放到市场上。

另外，随着元件的引线框、bga等终端结构的多样化，芯片的种类也变得多样化。

最近，根据对元件的小型化以及高集成度的要求，元件不经过树脂等的成型工艺，而是最终在晶圆水准上商品化，对此呈现正在扩大的趋势。

另一方面，在诸如，sd存储器、手机sd存储器、收集cpu的诸如lsi半导体市场中，随着竞争加剧，非常迫切需要节省元件制造成本并最终提高生产率。

另外，对于半导体的生产是在无尘室内执行工艺，而在无尘室内执行各个工艺的装置的处理速度与生产率有直接联系，因此对于未经过包装工艺或者在之前的晶圆水准卸载元件的元件处理器提高装置处理速度也非常重要。

尤其是，在生产半导体时，对于在晶圆水准卸载元件的元件处理器提高装置处理速度非常重要，并且执行拾取以及移送元件的移送工具的性能是元件处理器的处理速度的重要因素。

另外，随着最近作为处理对象的元件尺寸变得非常小，据此对超小型的元件的拾取以及移送的移送工具要求非常高的精确度。

(专利文献1)kr10-2010-0081277a

(专利文献2)kr10-0580816b

(专利文献3)kr10-0443039b

(专利文献4)kr10-2004-0096409a

技术实现要素：

(要解决的问题)

为了解决如上所述的问题，本发明的目的在于提供如下的移送工具：在诸如线或带的多个旋转部件设置拾取器，旋转旋转部件来调节各个拾取器之间的间距，进而可精确且迅速地调节拾取器之间的间距。

(解决问题的手段)

为了达成如上所述的本发明的目的，本发明公开了一种如下移送工具，包括：驱动轮部100，包括多个驱动轮110、120、130、140，所述多个驱动轮110、120、130、140外径相互不同，并且通过产生旋转力的驱动马达旋转驱动；从动轮部300，包括多个从动轮310、320、330、340，所述从动轮310、320、330、340外径相互不同，并且与所述驱动轮部100相对并对应于所述驱动轮部100；多个旋转部件210、220、230、240，缠绕于所述各个驱动轮110、120、130、140以及所述各个从动轮310、320、330、340，并且两端固定在相应的所述驱动轮110、120、130、140；一个以上的拾取器400，在提前设定的位置结合于所述各个旋转部件210、220、230、240。

所述各个驱动轮110、120、130、140形成插入相应的旋转部件210、220、230、240的两个末端的一个以上的固定孔111、121、131、141，所述旋转部件210、220、230、240的两个末端可插入并固定于所述固定孔111、121、131、141。

所述旋转部件210、220、230、240的两个末端可插入于一个固定孔或者分别插入于各个固定孔。

所述旋转部件210、220、230、240的两个末端插入于所述固定孔111、121、131、141，之后可通过结合所述旋转部件210、220、230、240的两个末端的结合部件510结合并固定。

所述旋转部件210、220、230、240的两个末端插入于所述固定孔111、121、131、141，之后在所述驱动轮110、120、130、140中将所述旋转部件210、220、230、240的两个末端插入于所述固定孔111、121、131、141的部分向所述驱动轮110、120、130、140侧加压，进而可固定所述旋转部件210、220、230、240的两个末端。

所述旋转部件210、220、230、240可使用带或线。

本发明公开了一种如下移送工具，包括：驱动轮部100，包括多个驱动轮110、120、130、140，所述多个驱动轮110、120、130、140具有相互不同的外径，并且通过产生旋转力的驱动马达旋转驱动；从动轮部300，包括多个从动轮310、320、330、340，所述多个从动轮310、320、330、340外径相互不同，并且与所述驱动轮部100相对并对应于所述驱动轮部100；多个旋转部件210、220、230、240，一端固定在所述各个驱动轮110、120、130、140以及所述各个从动轮310、320、330、340中的一个，而另一端固定于所述各个驱动轮110、120、130、140以及所述各个从动轮310、320、330、340中一个；一个以上的拾取器400，在提前设定的位置结合于所述各个旋转部件210、220、230、240。

所述旋转部件210、220、230、240的一端以及另一端则可插入并固定于分别形成在相应的轮的固定孔。

所述旋转部件210、220、230、240的两个末端可插入于一个固定孔或者分别插入于各个固定孔。

所述旋转部件210、220、230、240的两个末端插入于所述固定孔，之后可通过结合所述旋转部件210、220、230、240的两个末端的结合部件510结合并固定。

所述旋转部件210、220、230、240的末端插入于所述固定孔，之后在相应的轮中将所述旋转部件210、220、230、240的末端插入于所述固定孔的部分向所述轮侧加压，进而可固定所述旋转部件210、220、230、240的末端。

所述旋转部件210、220、230、240可使用带或者线。

(发明的效果)

根据本发明的移送工具具有如下的优点：具有多个拾取器并且调节各个拾取器的间距，将拾取器结合于多个线来调节拾取器的间距，进而能够迅速并精确地调节间距。

另外，根据本发明的移送工具具有如下优点：将结合拾取器的线固定在驱动轮以及从动轮中的至少一个，进而能够坚固地固定线，因此具有不仅能够防止因线断开而引起的破损，还能够防止装置故障。

另外，根据本发明的移送工具，线固定在驱动轮以及从动轮中的一个，进而无需在驱动轮以及从动轮设置与同步带类似的结构以使线精确地旋转。

附图说明

图1是示出根据本发明的移送工具的结构的正面图。

图2是扩大图1的移送工具中驱动轮部部分的部分扩大图。

图3是扩大图1的移送工具中从动轮部部分的部分扩大图。

图4是图1中沿ⅲ-ⅲ方向的剖面图。

具体实施方法

以下，对于根据本发明的移送工具参照附图如下进行说明。

如图1至图4所示，根据本发明的移送工具包括：驱动轮部100，包括多个驱动轮110、120、130、140，所述多个驱动轮110、120、130、140外径相互不同，并且通过产生旋转力的驱动马达旋转驱动；从动轮部300，包括多个从动轮310、320、330、340，所述从动轮310、320、330、340外径相互不同，并且与所述驱动轮部100相对并对应于所述驱动轮部100；多个旋转部件210、220、230、240，缠绕于所述各个驱动轮110、120、130、140以及所述各个从动轮310、320、330、340，并且两端固定在相应的所述驱动轮110、120、130、140；一个以上的拾取器400，在提前设定的位置结合于所述各个旋转部件210、220、230、240。

在此，所述移送工具可使用于对完成检查的元件执行分类的分拣机、执行检查以及分类的处理器、粘片机等，只要是需要移送元件的装置，在任何装置都可以使用。

所述驱动轮部100是与诸如，电机等用于产生旋转力的旋转驱动装置(未示出)的旋转轴直接结合或者通过连接器等连接而旋转的结构，可具有多种结构。

尤其是，所述驱动轮部100包括多个驱动轮110、120、130、140，所述多个驱动轮110、120、130、140对应于后述的旋转部件210、220、230、240的数量，并结合于通过旋转驱动装置旋转的驱动轴10。

然后，所述多个驱动轮110、120、130、140分别具有另外的轮结构或者形成一体等，可具有多种结构。

另外，所述多个驱动轮110、120、130、140可分别形成槽119、129、139、149，所述槽119、129、139、149插入旋转部件210、220、230、240，进而使旋转部件210、220、230、240不向轴方向移动。

另外，所述多个驱动轮110、120、130、140可设置成以驱动轴10为基准外径沿长度方向逐渐增大或缩小。

所述从动轮部300可包括多个从动轮310、320、330、340，所述多个从动轮310、320、330、340外径相互不同，并且与驱动轮部100相对并对应于驱动轮部100。

所述从动轮部300除了旋转驱动于驱动轴10以外具有与驱动轮部100类似的结构。

尤其是，所述从动轮部300包括可旋转地结合于从动轴20的多个从动轮310、320、330、340。

另外，所述多个从动轮310、320、330、340具有另外的轮结构或者形成一体等多种结构等，可具有多种结构。

另外，所述多个从动轮310、320、330、340可分别形成槽219、229、239、249，所述槽219、229、239、249插入旋转部件210、220、230、240，进而使旋转部件210、220、230、240不向轴方向移动。

另外，所述从动轮310、320、330、340可设置成以从动轴20为基准外径沿长度方向逐渐增大或者缩小。

所述旋转部件210、220、230、240作为在提前设定的位置结合一个以上的拾取器400的结构，结合于驱动轮部100的相应驱动轮以及从动轮部300的相应从动轮，并且通过驱动轮以及从动轮的旋转驱动横向移动已结合的拾取器40，进而调节与邻接的拾取器40的间隔，即调节间距。

在此，所述拾取器400作为用于拾取元件的结构，只要是能够拾取元件的结构任何结构都可以使用。

作为一示例，所述拾取器400可由杆以及拾取头构成，其中杆用于传达真空压以通过真空压拾取元件，而拾取头结合于杆下端来拾取元件。

另外，对于所述拾取器40，可设置为杆直接结合于旋转部件210、220、230、240或者介入支撑部件。

另一方面，所述旋转部件210、220、230、240只要是能够与拾取器400直接或者间接结合的结构，可以是带、线等的各种结构。

另外，所述带以及线在与轮接触的部分形成齿形结构，进而能够更加精确地旋转所述带以及线，即可使用同步齿形带或同步线。

此时，所述驱动轮以及从动轮可具有齿形结构，以在接触于旋转部件的面中对应于形成在旋转部件的齿形结构。

另一方面，所述旋转部件210、220、230、240支撑拾取器400，从而发生变形导致拾取器400的位置误差等，根据旋转部件210、220、230、240的状态，尤其是与轮结合的状态，可发生拾取器400移动误差。

据此，所述旋转部件210、220、230、240优选为两端固定在相应的驱动轮110、120、130、140。

此时，结合所述旋转部件210、220、230、240的驱动轮110、120、130、140可形成插入相应的旋转部件210、220、230、240的两个末端的一个以上的固定孔111、121、131、141。

另外，所述旋转部件210、220、230、240的两个末端可插入并固定于固定孔111、121、131、141。

此时，所述旋转部件210、220、230、240的两个末端可插入一个固定孔或者可分别插入各个固定孔。

具体地说，所述旋转部件210、220、230、240两个末端插入并固定于一个固定孔，或者末端可分别插入并固定于另外的固定孔。

另一方面，在固定所述旋转部件210、220、230、240时，旋转部件210、220、230、240的两个末端插入于固定孔111、121、131、141，之后可通过结合旋转部件210、220、230、240的两个末端的结合部件510结合并固定。

具体地说，所述旋转部件210、220、230、240的两个末端插入于固定孔111、121、131、141，之后驱动轮110、120、130、140中向驱动轮110、120、130、140侧加压旋转部件210、220、230、240的两个末端插入于固定孔111、121、131、141的部分，进而可固定旋转部件210、220、230、240。

所述结合部件510作为固定插入于固定孔111、121、131、141的旋转部件210、220、230、240的末端的结构，可具有多种结构。

作为一示例，所述结合部件510可设置为只加压在驱动轮部100中形成有固定孔111、121、131、141的部分。

另一方面，在固定所述旋转部件210、220、230、240的末端时，本发明的实施例举例说明了所述旋转部件210、220、230、240的两个末端固定在驱动轮部100的示例，但是也可实施各种变形例。

作为一示例，所述旋转部件210、220、230、240的两个末端可固定在从动轮部300来代替驱动轮部100。

另外，作为另一示例，所述旋转部件210、220、230、240的一端可固定在驱动轮部100，而另一端可固定在从动轮部300。

以上不过是说明了能够由本发明实现的优选实施例的一部分，因此众所周知本发明的范围不得被上述实施例限定并解释，在以上说明的本发明的技术思想与其根本的技术思想应全部包括于本发明的范围。