一种圆形件的传送翻转载具的制作方法

本发明属于晶圆制造领域，具体涉及一种圆形件的传送翻转载具。

背景技术：

光罩，在制作ic的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。材质：石英玻璃、金属铬和感光胶，是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为：曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。

晶圆的蚀刻需要对光罩高精度的定位，在光罩的放置、更换、搬运等过程中，均需要保持光罩的稳定性，从而保证定位的准确性。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种圆形件的传送翻转载具，本发明的部分实施例能够高精度地完成对圆形件的搬运，将圆形件从水平状态调整为竖直状态。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种圆形件的传送翻转载具，所述载具包括：框架；第一夹持机构，所述第一夹持机构铰接在所述框架上，所述第一夹持机构包括两组能够沿着y轴相向或者反向运动的滑臂，所述滑臂上设置有与所述圆形件轮廓相匹配的凹槽；第一气缸，所述第一气缸的一端铰接在所述框架上，所述第一气缸的另一端铰接在所述第一夹持机构上，所述第一气缸伸长时，所述第一夹持机构平行于z轴，所述第一气缸缩短时，所述第一夹持机构平行于x轴；第二气缸，所述第二气缸平行于z轴设置，所述第二气缸的一端固定在所述框架上，所述第二气缸的另一端固定连接有托举槽，所述托举槽能够自下方支撑所述圆形件；以及

第二夹持机构，所述第二夹持机构包括平行于z轴设置的两个夹持臂，所述夹持臂能够自左右两侧夹持住所述圆形件。

优选地，所述圆形件为光罩。

优选地，所述第二夹持机构能够平行于x轴运动，所述第二夹持机构能够平行于z轴运动。

优选地，所述第二夹持机构包括沿着y轴方向设置的固定杆，所述固定杆的下方固定连接所述夹持臂，每个所述夹持臂上设置有一个卡托，所述卡托之间的距离小于所述圆形件的直径。

优选地，所述固定杆和所述夹持臂之间连接有三角板。

优选地，所述第二气缸为双杆气缸，所述托举槽托举的所述圆形件的弧度大于30°且小于100°。

优选地，所述第一夹持机构还包括两组第三气缸、连接座，所述第三气缸沿着y轴方向设置，所述第三气缸的一端与所述滑臂连接，所述第三气缸的另一端与所述连接座连接，所述连接座铰接在所述框架上。

优选地，所述第一夹持机构还包括一条滑轨，所述滑轨沿着y轴方向固定在所述连接座上，所述滑臂滑动连接在所述滑轨上。

优选地，所述连接座包括延伸杆，所述延伸杆与所述第一气缸铰接。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

1、通过第一夹持机构上的滑轨，使得滑臂的稳定性提高，配合凹槽具有弹力的内壁，可以稳定夹持水平状态的圆形件，能够适应圆形件较大范围内的尺寸误差，且不会出现掉落，夹持失败等故障；

2、第一气缸配合延伸杆等部件完成对第一夹持机构的旋转，角度控制更为精确；

3、第二气缸采用双杆气缸使得托举槽的托举动作更为稳定，托举槽的弧度设置，使得圆形件能够牢靠的放置在托举槽中，既不会干涉后续第二夹持机构的动作，又不会因弧度过小导致轻易的掉落。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例的整体轴侧结构示意图。

图2为本发明实施例的侧向示意图。

图3为本发明实施例的正视图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

如图1-3所示，本实施例提供一种圆形件的传送翻转载具，载具包括：框架1；第一夹持机构2，第一夹持机构2铰接在框架1上，第一夹持机构2包括两组能够沿着y轴相向或者反向运动的滑臂21，滑臂21上设置有与圆形件轮廓相匹配的凹槽22；第一气缸3，第一气缸3的一端铰接在框架1上，第一气缸3的另一端铰接在第一夹持机构2上，第一气缸3伸长时，第一夹持机构2平行于z轴，第一气缸3缩短时，第一夹持机构2平行于x轴；第二气缸4，第二气缸4平行于z轴设置，第二气缸4的一端固定在框架1上，第二气缸4的另一端固定连接有托举槽5，托举槽5能够自下方支撑圆形件；以及

第二夹持机构6，第二夹持机构6包括平行于z轴设置的两个夹持臂61，夹持臂61能够自左右两侧夹持住圆形件。

圆形件为光罩。

第二夹持机构6能够平行于x轴运动，第二夹持机构6能够平行于z轴运动。

第二夹持机构6包括沿着y轴方向设置的固定杆62，固定杆62的下方固定连接夹持臂61，每个夹持臂61上设置有一个卡托63，卡托63之间的距离小于圆形件的直径。

固定杆62和夹持臂61之间连接有三角板64。

第二气缸4为双杆气缸，托举槽5托举的圆形件的弧度大于30°且小于100°。

第一夹持机构2还包括两组第三气缸23、连接座24，第三气缸23沿着y轴方向设置，第三气缸23的一端与滑臂21连接，第三气缸23的另一端与连接座24连接，连接座24铰接在框架1上。

第一夹持机构2还包括一条滑轨25，滑轨25沿着y轴方向固定在连接座24上，滑臂21滑动连接在滑轨25上。

连接座24包括延伸杆241，延伸杆241与第一气缸3铰接。

第一夹持机构首先松开再夹紧从而夹持住水平状态的圆形件，第一气缸推动整个第一夹持机构转动，使得圆形件进入竖直状态，第二气缸推动托举槽上行，使得圆形件底部嵌入托举槽中，第一夹持机构再松开，第一气缸复位，使得第一夹持机构旋转恢复水平状态。

第二夹持机构先下降至卡托低于圆形件一定高度，然后第二夹持机构沿水平运动至圆形件下方，第二夹持机构然后再向上升起，利用圆形件本身的重量，使得圆形件滑入卡托中，卡托的内部结构与准备夹持的圆形件的外沿轮廓相一致，从而实现对圆形件的稳定夹持。

尽管上述实施例已对本发明作出具体描述，但是对于本领域的普通技术人员来说，应该理解为可以在不脱离本发明的精神以及范围之内基于本发明公开的内容进行修改或改进，这些修改和改进都在本发明的精神以及范围之内。