一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置的制作方法

本实用新型涉及晶圆测量辅助设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置。

背景技术：

为满足全球能源逐步扩大的需求，太阳能作为绿色能源被广泛加以利用，而晶圆作为太阳能电路板的关键元件，需求量和质量均在不断提高，晶圆一般由多层不同材料(第一层为多晶硅、第二层为粘合剂、第三层为玻璃、第四层为胶带)采用压合工艺制成，一般是从第一层到第四逐层压合，各层压合后平面度和压合后厚度需要严密监控，4层全部压合后成品晶圆的平面度和厚度也需要进行检测，只有符合晶圆压合质量要求的产品才能作为合格基材进入下一道工序进行加工，并最终确保晶圆成品符合客户要求。

现在在对晶圆进行检测取料时，一般为人工将晶圆盛放盒内的晶圆取出，放置在晶圆测量仪上进行测量，劳动强度大工作效率低，生产成本高，不利于进行使用。

技术实现要素：

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置，有效的解决了现在在对晶圆进行检测取料时，一般为人工将晶圆盛放盒内的晶圆取出，放置在晶圆测量仪上进行测量，劳动强度大工作效率低，生产成本高，不利于进行使用的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：本实用新型包括装置本体，所述装置本体上设有升降机构，升降机构一侧的顶部和底部均焊接有安装块，安装块上均匀开设有第一螺栓孔，升降机构的一侧通过螺栓安装有连接箱，连接箱的内部安装有第二电机，第二电机顶端连接有转轴，转轴上连接有横梁，横梁一端的内部安装有第三电机，第三电机的一端固定有取料爪，取料爪上均匀开设有吸孔。

优选的，所述升降机构包括升降架、内腔、丝杆、导向柱、第一电机、移动块和第二螺栓孔，升降架设置在装置本体的底部，升降架内侧设有内腔，内腔的中部插接有丝杆，丝杆的两侧均设置有导向柱，丝杆的一端连接有第一电机，丝杆和导向柱上套接有移动块，移动块上均匀开设有第二螺栓孔。

优选的，所述移动块上对应丝杆和导向柱处分别开设有丝孔和导向孔。

优选的，所述吸孔与外部抽风机连接。

优选的，所述第一螺栓孔设置的数量为四个，且为对称布置。

本实用新型结构新颖，构思巧妙，便于晶圆测量时的取料，且无需人工进行取料，大大降低了劳动强度，同时也降低了企业生产成本，有利于进行使用。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

在附图中：

图1是本实用新型三维结构示意图；

图2是本实用新型第二电机安装结构示意图；

图3是本实用新型第三电机安装结构示意图；

图4为本实用新型升降机构结构示意图；

图中标记为：1、装置本体；2、升降机构；3、安装块；4、第一螺栓孔；5、升降架；6、内腔；7、丝杆；8、导向柱；9、第一电机；10、移动块；11、第二螺栓孔；12、连接箱；13、第二电机；14、转轴；15、横梁；16、第三电机；17、取料爪；18、吸孔。

具体实施方式

下面结合附图1-4对本实用新型的具体实施方式做进一步详细说明。

实施例一，由图1、图2和图3给出，本实用新型包括装置本体1，装置本体1上设有升降机构2，升降机构2一侧的顶部和底部均焊接有安装块3，安装块3上均匀开设有第一螺栓孔4，升降机构2的一侧通过螺栓安装有连接箱12，连接箱12的内部安装有第二电机13，第二电机13顶端连接有转轴14，转轴14上连接有横梁15，横梁15一端的内部安装有第三电机16，第三电机16的一端固定有取料爪17，取料爪17上均匀开设有吸孔18。

实施例二，在实施例一的基础上，由图1和图4给出，升降机构2包括升降架5、内腔6、丝杆7、导向柱8、第一电机9、移动块10和第二螺栓孔11，升降架5设置在装置本体1的底部，升降架5内侧设有内腔6，内腔6的中部插接有丝杆7，丝杆7的两侧均设置有导向柱8，丝杆7的一端连接有第一电机9，丝杆7和导向柱8上套接有移动块10，移动块10上均匀开设有第二螺栓孔11，使用时，通过外部控制开关打开第一电机9，第一电机9工作带动丝杆7转动，丝杆7转动带动移动块10进行移动，通过第一电机9的正转和翻转控制移动块10进行上移和下降，导向柱8的设置提高了升降的稳定性和精度。

实施例三，在实施例二的基础上，移动块10上对应丝杆7和导向柱8处分别开设有丝孔和导向孔，便于移动块10与丝杆7和导向柱8的配合使用。

实施例四，在实施例一的基础上，吸孔18与外部抽风机连接，便于吸孔18产生负压吸力。

实施例五，在实施例一的基础上，由图1给出，第一螺栓孔4设置的数量为四个，且为对称布置，提高安装块3安装后的稳定性。

工作原理：本实用新型使用时，通过外部控制开关打开第一电机9，第一电机9工作带动丝杆7转动，丝杆7转动带动移动块10进行移动，通过第一电机9的正转和翻转控制移动块10进行上移和下降，从而调节取料爪17处于合适的高度，导向柱8的设置提高了升降的稳定性和精度，调整完成后，关闭第一电机9，将取料爪17放置在晶圆盛放盒中晶圆的底部，打开外部吸风机，使得吸孔18产生负压对晶圆进行吸附，吸附完成后，打开第二电机13，第二电机13工作，带动横梁15转动，横梁15转动将其一端的取料爪17转动到测量仪测量位置处，再打开第三电机16，第三电机16工作带动取料爪17进行翻转，关闭外部吸风机，负压吸力消除，晶圆放置在测量位置处，即可完成取料，重复上述操作即可进行重复测量。

本实用新型结构新颖，构思巧妙，便于晶圆测量时的取料，且无需人工进行取料，大大降低了劳动强度，同时也降低了企业生产成本，有利于进行使用。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置，包括装置本体(1)，其特征在于，所述装置本体(1)上设有升降机构(2)，升降机构(2)一侧的顶部和底部均焊接有安装块(3)，安装块(3)上均匀开设有第一螺栓孔(4)，升降机构(2)的一侧通过螺栓安装有连接箱(12)，连接箱(12)的内部安装有第二电机(13)，第二电机(13)顶端连接有转轴(14)，转轴(14)上连接有横梁(15)，横梁(15)一端的内部安装有第三电机(16)，第三电机(16)的一端固定有取料爪(17)，取料爪(17)上均匀开设有吸孔(18)，第二电机(13)和第三电机(16)分别电性连接外部控制开关。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置，其特征在于，所述升降机构(2)包括升降架(5)、内腔(6)、丝杆(7)、导向柱(8)、第一电机(9)、移动块(10)和第二螺栓孔(11)，升降架(5)设置在装置本体(1)的底部，升降架(5)内侧设有内腔(6)，内腔(6)的中部插接有丝杆(7)，丝杆(7)的两侧均设置有导向柱(8)，丝杆(7)的一端连接有第一电机(9)，丝杆(7)和导向柱(8)上套接有移动块(10)，移动块(10)上均匀开设有第二螺栓孔(11)，第一电机(9)电性连接外部控制开关。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置，其特征在于，所述移动块(10)上对应丝杆(7)和导向柱(8)处分别开设有丝孔和导向孔。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置，其特征在于，所述吸孔(18)与外部抽风机连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置，其特征在于，所述第一螺栓孔(4)设置的数量为四个，且为对称布置。

技术总结
一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置，解决了现在在对晶圆进行检测取料时，一般为人工将晶圆盛放盒内的晶圆取出，放置在晶圆测量仪上进行测量，劳动强度大工作效率低，生产成本高，不利于进行使用的问题，其包括装置本体，所述装置本体上设有升降机构，升降机构的一侧通过螺栓安装有连接箱，连接箱的内部安装有第二电机，第二电机顶端连接有转轴，转轴上连接有横梁，横梁一端的内部安装有第三电机，第三电机的一端固定有取料爪，取料爪上均匀开设有吸孔，本实用新型结构新颖，构思巧妙，便于晶圆测量时的取料，且无需人工进行取料，大大降低了劳动强度，同时也降低了企业生产成本，有利于进行使用。

技术研发人员：梅华斌;黄维铭;宋瑞超
受保护的技术使用者：无锡职业技术学院
技术研发日：2020.01.02
技术公布日：2020.09.25