平运动。
[0037]请参阅图5，图5是本发明一较佳实施例的一种气垫运输装置的控制模块结构原理示意图。如图5所示，控制模块2可采用控制器形式，其可设有伺服控制电路单元12和流量控制单元11。流量控制单元11设于主进气管与各支进气管之间，伺服控制电路单元12通过控制流量控制单元11，来分别调节从主进气管输入各支进气管的气体压力和流量。
[0038]请继续参阅图5。具体而言，流量控制单元11设有分别控制输入各支进气管气体压力和流量的压力和流量控制阀。控制器2设有主进气管接口 16和各支进气管接口 15，用于连接主进气管和各支进气管。流量控制单元11的各压力和流量控制阀分别设置在对应的支进气管接口 15与主进气管接口 16之间并分别连通主进气管。伺服控制电路单元12通过分别控制流量控制单元11的各压力和流量控制阀，即可实现分别调节从主进气管输入各支进气管的气体压力和流量，将待运物体平稳地抬起并精确控制其移动及定位。待运物体被抬举的高度及移动速度可由伺服控制电路单元通过调节输入各支进气管的气体压力和流量来控制。
[0039]请继续参阅图5。控制模块还可设有运动检测模块13，用于监测待运物体的运动状态。运动检测模块13可以是三维加速度传感器或陀螺仪，将其连接到伺服控制电路单元12，可检测待运物体在X-Y-Z轴方向上的漂移，实施运动检测;伺服控制电路单元将自动控制输入各气垫模块侧喷口和下喷口高压气体的压力和流量，来纠正运动偏差，防止待运物体发生意外。并且，当三维加速度传感器或陀螺仪检测到待运物体的运动速率超过容限值时，可通过伺服控制减小或关闭各气垫模块下喷口向下喷出的高压气体，将待运物体水平平稳地放置于地面上，以实现对待运物体的保护。
[0040]请继续参阅图5。控制模块还可设有气压检测模块14，用于监测从主进气管输入的气体压力。气压检测模块14可以是压力传感器或压力表，将其连接到伺服控制电路单元，当压力传感器或压力表监测到压缩气体的压力波动时，将自动通过控制器(伺服控制电路单元)来伺服控制流量控制单元的各压力和流量控制阀补偿压力波动的影响，以保证待运物体平稳安全高效地转运。
[0041]下面结合附图，对本发明的一种基于上述的气垫运输装置的气垫运输方法进行详细说明。
[0042 ]本发明的一种基于上述的气垫运输装置的气垫运输方法，可包括以下步骤:
[0043]步骤一:将待运物体放置在分散设置的若干个气垫模块上，将控制模块安装在待运物体上，并连接各气垫模块。
[0044]请参阅图2。首先，在待运物体5例如精密半导体集成电路设备或货物等的下面放置若干个气垫模块I，一般可在四角承载位置放置4个，但不限于此，用于承载待运物体。然后，将控制器2(控制模块)安装在待运物体5上，在控制器2和各气垫模块I之间连接好支进气管3;并将主进气管4连接至压缩空气栗或气站。
[0045]步骤二:打开主进气管4，通入压缩气体，并通过控制模块分别伺服控制通向各气垫模块的气体压力和流量，使各气垫模块的下喷口向下喷出高压气体产生对应高度的气垫，将待运物体水平抬举起。
[0046]接着，通过控制器2以伺服控制方式分别调节从压缩空气栗或气站输入各气垫模块的气体压力和流量，使各气垫模块I的下喷口 7向下喷出高压气体产生气垫(请参考图3)，水平抬举起待运物体5，这样待运物体就漂浮在气垫上了。
[0047]步骤三:通过控制模块分别控制各气垫模块某同侧的侧喷口喷出高压气体，使之联合产生一致的侧向推力，来控制待运物体向前后或左右运动进行运输。
[0048]接着，再通过控制器2控制各气垫模块I从某一方向的侧喷口(例如从侧喷口8a或侧喷口 8b，侧喷口 9a或侧喷口 9b)喷出高压气体(请参考图3、图4)，使各气垫模块I联合产生一致的侧向推力，来控制待运物体5向前后或左右运动，从而实现对待运物体进行气垫运输。
[0049]与此同时，可通过安装在待运物体5上的控制器2中的运动检测模块13(请参考图
5)，监测待运物体5的运动状态，并通过伺服控制对通入各气垫模块下喷口及侧喷口的压缩气体流量进行自动控制，来纠正运动偏差，防止待运物体5发生意外。并且，当运动检测模块13中的三维加速度传感器或陀螺仪检测到运动速率超过容限值时，将通过伺服控制减小或关闭各气垫模块下喷口向下喷出的高压气体，将待运物体5水平平稳地放置于地面上，以实现对待运物体5的保护。
[0050]还可通过安装在待运物体5上的控制器2中的气压检测模块14(请参考图5)，监测从主进气管输入的压缩气体的压力。当监测压缩气体的气压检测模块14监测到压力波动时，将自动通过控制器2来控制伺服阀补偿压力波动的影响，来保证待运物体5的平稳安全高效的转运。
[0051]到达运输目的地时，通过控制器2控制停止向各气垫模块I的侧喷口通入高压气体，使待运物体5停止运动;并通过控制器2控制逐渐减小向各气垫模块I的下喷口通入高压气体，使待运物体5缓慢落下，实现安全运输以及精确定位。可通过遥控方式对控制器2进行作业指挥。
[0052]综上所述，本发明以若干气垫模块分散承载待运物体，通过控制模块对通入各气垫模块下喷口、侧喷口的气体流量分别进行伺服控制，可使各气垫模块产生对应高度的气垫以及一致的侧向推力，将待运物体平稳地水平抬举起并推进其水平运动;还可通过结合运动姿态检测和驱动控制，来精确控制待运物体的平移和定位，从而可消除潜在的安全隐串
■/Ql、O
[0053]以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。
【主权项】
1.一种气垫运输装置，其特征在于，包括: 若干气垫模块，其分散承载待运物体，各气垫模块的下端面设有多数个下喷口，用于喷出气体产生气垫，抬举起待运物体;各气垫模块的四侧分设有多数个侧喷口，用于喷出气体产生对待运物体的侧向推力； 控制模块，固定放置在待运物体上，其对通入各气垫模块下喷口、侧喷口的气体流量分别进行伺服控制，以使各气垫模块产生对应高度的气垫以及一致的侧向推力，将待运物体水平抬举起并推进其水平运动。2.根据权利要求1所述的气垫运输装置，其特征在于，各气垫模块的下喷口、每侧的侧喷口通过支进气管分别连接主进气管，所述控制模块设有伺服控制电路单元和流量控制单元，所述流量控制单元设于主进气管与支进气管之间，所述伺服控制电路单元通过流量控制单元分别调节从主进气管输入各支进气管的气体压力和流量。3.根据权利要求2所述的气垫运输装置，其特征在于，所述气垫模块包括本体，下喷口设于本体的下端面，侧喷口设于本体的四侧;本体设有进气口，进气口 一端连接下喷口、侧喷口，并通过阀组对每侧的侧喷口进行切换，另一端连接支进气管，所述阀组连接伺服控制电路单元。4.根据权利要求2所述的气垫运输装置，其特征在于，所述流量控制单元在各支进气管分别设有压力和流量控制阀。5.根据权利要求2所述的气垫运输装置，其特征在于，所述控制模块还设有运动检测模块，用于监测待运物体的运动状态，所述运动检测模块连接伺服控制电路单元。6.根据权利要求5所述的气垫运输装置，其特征在于，所述运动检测模块为三维加速度传感器或陀螺仪。7.根据权利要求2所述的气垫运输装置，其特征在于，所述控制模块还设有气压检测模块，用于监测从主进气管输入的气体压力，所述气压检测模块连接伺服控制电路单元。8.根据权利要求7所述的气垫运输装置，其特征在于，所述气压检测模块为压力传感器或压力表。9.一种基于权利要求1所述的气垫运输装置的气垫运输方法，其特征在于，包括: 步骤一:将待运物体放置在分散设置的若干个气垫模块上，将控制模块固定放置在待运物体上，并连接各气垫模块； 步骤二:打开主进气管，通入压缩气体，并通过控制模块分别伺服控制通向各气垫模块的气体压力和流量，使各气垫模块的下喷口向下喷出高压气体产生对应高度的气垫，将待运物体水平抬举起； 步骤三:通过控制模块分别控制各气垫模块某同侧的侧喷口喷出高压气体，使之联合产生一致的侧向推力，来控制待运物体向前后或左右运动进行运输。10.根据权利要求9所述的气垫运输方法，其特征在于，通过控制模块设有的气压检测模块，对从主进气管输入的压缩气体压力进行监测，并在气体压力波动超过容限值时，通过伺服控制来补偿压力波动的影响;通过控制模块设有的运动检测模块，对待运物体的运动状态进行监测，并通过伺服控制对通入各气垫模块下喷口及侧喷口的压缩气体流量进行自动控制，来纠正运动偏差;其中，当待运物体的运动速率超过容限值时，通过伺服控制减小或关闭各气垫模块下喷口向下喷出的高压气体，将待运物体水平平稳放置于地面，以实现 bO /ΓΜ/Ι
【专利摘要】本发明公开了一种气垫运输装置及方法，以若干气垫模块分散承载待运物体，通过控制模块对通入各气垫模块下喷口、侧喷口的气体流量分别进行伺服控制，可使各气垫模块产生对应高度的气垫以及一致的侧向推力，将待运物体平稳地水平抬举起并推进其水平运动；还可通过结合运动姿态检测和驱动控制,来精确控制待运物体的平移和定位，从而可消除潜在的安全隐患。
【IPC分类】B65G51/02
【公开号】CN105564989
【申请号】CN201610055151
【发明人】任大清
【申请人】上海集成电路研发中心有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2016年1月27日