本发明涉及一种例如装卸自如地对柔性液晶显示器(lcd)、柔性有机el显示器(oled)等柔性显示器中使用的薄膜基板、平板显示器(fpd)中使用的覆盖膜等薄膜状工件进行保持而移送的工件传送装置及工件传送方法。
本发明涉及一种装入工件传送装置而将薄膜状工件彼此贴合，或者将薄膜状工件与玻璃基板等板状工件贴合的工件贴合装置及利用工件传送方法的工件贴合方法。
背景技术：
以往，作为这种工件传送装置及工件贴合装置，存在如下对齐贴合装置，其具备对形成有cf图案的卷状薄膜进行支承的真空腔内的下工作台和供给形成有tft图案的片状薄膜的薄片传送装置，且薄片传送装置具备向真空腔内的上工作台供给片状薄膜的供给机械手和使供给机械手移动的机械手驱动机构(例如，参阅专利文献1)。
专利文献1中，通过真空吸附方式，片状薄膜从供给机械手被吸附到上工作台，随着真空腔内的减压，将真空吸附方式切换为静电卡盘而对片状薄膜进行保持，在真空状态下使片状薄膜的tft图案与卷状薄膜的cf图案对位之后，使上工作台朝向下工作台进行接近移动而将卷状薄膜与片状薄膜进行贴合。
详细而言，供给机械手具备对片状薄膜的周边部进行保持的框型保持部件和使气体流入被保持部件包围的空间的流入孔，保持部件中以规定间隔而设有多个抽吸孔，且将片状薄膜的周边部向框型保持部件吸附。吸附片状薄膜之后，气体从流入孔流入而使片状薄膜以其中心部凸出的方式挠曲，以使该片状薄膜与上工作台相对的方式使供给机械手反转。接着，使供给机械手朝向上工作台进行接近移动，片状薄膜从凸出的中心部开始朝向外周而吸附于上工作台。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2009-265265号公报
技术实现要素：
发明要解决的问题
这种以往的工件传送装置及工件贴合装置中，因气体的流入而鼓成凸状的片状薄膜从其中心部开始朝向外周被吸附到上工作台，由此，将片状薄膜以不产生褶皱的方式向上工作台的表面移交。
然而，基于气体的片状薄膜的鼓出形状很难反复控制成相同的形状，尤其将片状薄膜的尺寸大型化时，鼓出量也增大，因此控制变得非常困难，会因在腔内产生略微的气流变化等略微的变化因素而导致片状薄膜的鼓出形状局部松弛。因此，越将片状薄膜的尺寸大型化，则越在进行针对上工作台的表面的片状薄膜的移交时，存在在片状薄膜中容易产生褶皱，并且tft图案等功能部与供给机械手接触等对tft图案等功能部赋予不良影响的问题。
进而，为了可靠地使片状薄膜鼓出，需要将框型保持部件设为完全封闭的结构，因此若将片状薄膜的尺寸大型化，则随之，包含保持部件的供给机械手整体的重量会变得非常重。该情况下，还需要将使供给机械手移动的机械手驱动机构大型化，但其有界限，根据尺寸而也有可能无法传送片状薄膜。由此，存在尤其不适合大型显示器装置的制造中的问题。
并且，片状薄膜的鼓出形状不稳定，因此进行针对上工作台的表面的片状薄膜的移交时，片状薄膜容易偏移，无法以高精度对位于下工作台的卷状薄膜而进行贴合。由此，存在片状薄膜的对位精度变差，尤其制造大型显示器装置时，产品的一部分变差的问题。
用于解决问题的方案
为了解决这种课题，本发明所涉及的工件传送装置是一种单片式工件传送装置，用于接收在表面形成有功能部的大致矩形薄膜状的工件并对其进行保持，且向朝向下方的保持面移送而进行移交，该工件传送装置的特征在于，具备：多个机械手部件，该多个机械手部件具有用于装卸自如地夹持所述工件中的至少一组对边的多个夹持部；机械手驱动机构，其用于使所述多个机械手部件从所述工件的接收位置，经由所述工件的背面向与所述保持面交叉的方向分开配置的中间位置，朝向向与所述保持面交叉的方向越过所述保持面的延长平面地配置的移交位置移动；所述保持面，其形成为比所述工件的尺寸小的大致矩形，且具有以所述工件的所述表面朝向下方的方式装卸自如地保持背面的中央部位的卡盘机构；及控制部，其分别对所述多个夹持部的驱动源、所述机械手驱动机构及所述卡盘机构进行动作控制，所述控制部以如下方式进行控制：在所述接收位置使所述多个夹持部朝向所述对边的夹持方向移动，且在所述多个夹持部已向夹持方向移动的状态下，使所述多个机械手部件从所述接收位置朝向所述中间位置移动，使所述工件中的至少所述一组对边从所述中间位置朝向所述移交位置移动而拉拽所述工件，在所述工件沿所述保持面整体绷紧的状态下利用所述卡盘机构对所述背面的所述中央部位进行保持，且在所述移交位置使所述多个夹持部朝向夹持解除方向移动。
并且，为了解决这种课题，本发明所涉及的工件传送方法为如下的工件传送方法，在工件传送方法中，在接收在表面形成有功能部的大致矩形薄膜状的工件并对其进行保持的状态下，直接向以比所述工件的尺寸小的大致矩形朝向下方地形成的保持面移送而进行移交，该工件传送方法的特征在于，包括：夹持工序，在该夹持工序中，在接收位置利用多个机械手部件的夹持部分别对所述工件中的至少一组对边进行夹持；第一移送工序，在该第一移送工序中，在利用所述多个夹持部夹持所述工件的至少所述一组对边的状态下，使所述多个机械手部件从所述接收位置朝向所述工件的背面向与所述保持面交叉的方向分开配置的中间位置移动；第二移送工序，在该第二移送工序中，在利用所述夹持部夹持所述工件的至少所述一组对边的状态下，使所述多个机械手部件从所述中间位置朝向向与所述保持面交叉的方向越过所述保持面的延长平面地配置的移交位置移动而拉拽所述工件，且使所述工件的所述背面压接于所述保持面；及夹持解除工序，在该夹持解除工序中，在利用所述保持面完成对所述工件的保持之后，在所述移交位置解除所述多个机械手部件的所述夹持部针对所述工件的至少所述一组对边的夹持，在所述第二移送工序中，在随着所述工件的拉拽而所述工件沿所述保持面整体绷紧的状态下，利用所述保持面的卡盘机构，以所述工件的所述表面朝向下方的方式装卸自如地保持所述背面的中央部位。
进而，为了解决这种课题，本发明所涉及的工件贴合装置为如下的工件贴合装置，该工件贴合装置用于将在表面形成有显示器的功能部的大致矩形薄膜状的第一工件与第二工件进行对位贴合，该工件贴合装置的特征在于，具备：上侧的第一工作台，其具有用于装卸自如地保持所述第一工件的、朝向下方的保持面；下侧的第二工作台，其与所述第一工件相对，用于保持所述第二工件；接近远离用驱动部，其用于使所述第一工作台和所述第二工作台中的任一者向另一者进行接近移动、或者使两者相对地进行接近移动；多个机械手部件，其具有用于装卸自如地夹持所述第一工件中的至少一组对边的多个夹持部；机械手驱动机构，其用于使所述多个机械手部件从所述第一工件的接收位置，经由所述第一工件的背面向与所述保持面交叉的方向分开配置的中间位置，朝向向与所述保持面交叉的方向越过所述保持面的延长平面地配置的移交位置移动；及控制部，其用于分别对所述接近远离用驱动部、所述多个夹持部的驱动源及所述机械手驱动机构进行动作控制，所述控制部以如下方式进行控制：在所述接收位置使所述多个夹持部朝向所述对边的夹持方向移动，且在所述多个夹持部已向夹持方向移动的状态下，使所述多个机械手部件从所述接收位置朝向所述中间位置移动，使第一工件中的至少所述一组对边从所述中间位置朝向所述移交位置移动而拉拽所述第一工件，在所述第一工件沿所述保持面整体绷紧的状态下，将所述背面的所述中央部位保持于所述保持面，且在所述移交位置使所述多个夹持部朝向夹持解除方向移动。
并且，为了解决这种课题，本发明所涉及的工件贴合方法为如下的工件贴合方法，在该工件贴合方法中，移送在表面形成有显示器的功能部的大致矩形薄膜状的第一工件，并通过具有用于装卸自如地保持所述第一工件的、朝向下方的保持面的上侧的第一工作台与用于保持第二工件的第二工作台的相对接近移动，将所述第一工件与所述第二工件进行对位贴合，该工件贴合方法的特征在于，包括：夹持工序，在该夹持工序中，在接收位置利用多个机械手部件的夹持部分别对所述第一工件中的至少一组对边进行夹持；第一移送工序，在该第一移送工序，在利用所述多个夹持部夹持所述第一工件的至少所述一组对边的状态下，使所述多个机械手部件从所述接收位置朝向所述第一工件的背面向与所述保持面交叉的方向分开配置的中间位置移动；第二移送工序，在该第二移送工序，在利用所述夹持部夹持所述第一工件的至少所述一组对边的状态下，使所述多个机械手部件从所述中间位置朝向向与所述保持面交叉的方向越过所述保持面的延长平面地配置的移交位置移动而拉拽所述工件，在随着所述第一工件的拉拽而所述第一工件沿所述保持面整体绷紧的状态下，将所述背面的中央部位保持于所述保持面；及夹持解除工序，在该夹持解除工序，在利用所述保持面完成对所述第一工件的保持之后，在所述移交位置解除所述多个机械手部件的所述夹持部针对所述第一工件的至少所述一组对边的夹持。
附图说明
图1为表示本发明的实施方式所涉及的工件传送装置的整体结构的说明图，图1的(a)为表示工件传送方法的夹持工序的纵剖主视图，图1的(b)为该工序的俯视图。
图2为表示本发明的实施方式所涉及的工件贴合装置的工作状态的说明图，图2的(a)为表示工件传送方法的第一移送工序的缩小纵剖主视图，图2的(b)为该工序的缩小纵剖侧视图。
图3的(a)为表示工件传送方法的第二移送工序的缩小纵剖主视图，图3的(b)为该工序的缩小纵剖侧视图。
图4的(a)为表示工件传送方法的夹持解除工序的缩小纵剖主视图，图4的(b)为该工序的缩小纵剖侧视图。
图5的(a)为表示工件传送方法的第一移送工序的缩小纵剖主视图，图5的(b)为该工序的缩小纵剖侧视图。
图6的(a)为表示工件传送方法的第二移送工序的缩小纵剖主视图，图6的(b)为该工序的缩小纵剖侧视图。
图7的(a)为表示工件传送方法的夹持解除工序的缩小纵剖主视图，图7的(b)为该工序的缩小纵剖侧视图。
图8的(a)为表示工件贴合方法的贴合工序的缩小纵剖主视图，图8的(b)为该工序的缩小纵剖侧视图。
图9的(a)为表示工件贴合方法的送出工序的缩小纵剖主视图，图9的(b)为该工序的缩小纵剖侧视图。
图10的(a)为表示工件贴合方法的送出工序的缩小纵剖主视图，图10的(b)为该工序的缩小纵剖侧视图。
图11的(a)为表示工件贴合方法的送出工序的缩小纵剖主视图，图11的(b)为该工序的缩小纵剖侧视图。
图12为表示将本发明的实施方式所涉及的工件传送装置应用于储藏库时的动作状态的说明图，图12的(a)为表示工件传送方法的第一移送工序的缩小纵剖主视图，图12的(b)为表示第一移送工序的缩小纵剖主视图，图12的(c)为表示夹持解除工序的缩小纵剖主视图。
附图标记说明
a-工件传送装置，1-机械手部件，1a-夹持部，1b-驱动源，2-机械手驱动机构，3-控制部，b-工件贴合装置，11-第一工作台，12-第二工作台，13-卡盘机构，21-接近远离用驱动部，h-保持面，p1-接收位置，p2-中间位置，p3-移交位置，w-工件，wa-表面，wb-背面，wc-一组对边，we-中央部，w1-第一工件，w2-第二工件。
具体实施方式
以下，基于附图对本发明的实施方式进行详细说明。
如图1～图12所示，本发明的实施方式所涉及的工件传送装置a为接收由柔性显示器等薄膜基板(塑胶薄膜)、平板显示器等覆盖膜等构成的薄膜状工件w并装卸自如地对其进行保持，朝向平滑的保持面h等移送而进行移交的单片式薄膜传送装置。
薄膜状工件w形成为比后述的保持面h的尺寸大的矩形(包含长方形及正方形的角为直角的四边形)或与其类似的形状(大致矩形)。在工件w的表面wa或背面wb中的任一者中，在除了其外周部以外的中央的活动区域形成tft图案或cf图案等功能部(未图示)。为图示例的情况下，将形成功能部的面设为表面wa。
工件w具有相对的二组对边wc、wd，且以其中任一个对边wc、wd与后述的多个机械手部件1相对的方式被供给。
保持面h形成为比工件w的尺寸小的矩形或与其类似的大致矩形，且为了装卸自如地对工件w进行保持而具有后述的卡盘机构。
本发明的实施方式所涉及的工件贴合装置b为包含液晶显示器(lcd)和有机el显示器(oled)等柔性显示器或平板显示器等的贴合器件d的制造装置。利用工件传送装置a朝向工件贴合装置b供给构成贴合器件d的第一工件w1和第二工件w2。
工件贴合装置b将第一工件w1保持于第一工作台11，将第二工件w2保持于第二工作台12，并通过第一工作台11与第二工作台12的相对接近移动而使第一工件w1及第二工件w2以高精度对位而进行贴合。
详细而言，如图2～图11所示，工件贴合装置b具备如下构件来作为构成要件：保持第一工件w1的第一工作台11；与第一工作台11相对而保持第二工件w2的第二工作台12；使第一工作台11和第二工作台12中的任一者向另一者进行接近移动、或者使两者相对地进行接近移动的接近远离用驱动部21；及使第一工作台11和第二工作台12中的任一者向与相对方向交叉的方向相对移动、或者使两者向与相对方向交叉的方向相对移动的对齐用驱动部22。
第一工件w1或第二工件w2中的任一者或第一工件w1及第二工件w2这两者为薄膜状工件w。第一工件w1或第二工件w2中的仅任一者为薄膜状工件w的情况下，第一工件w1或第二工件w2中的另一者则为玻璃基板等板状工件。
第一工作台11或第二工作台12中的任一者或第一工作台11及第二工作台12这两者具有对第一工件w1或第二工件w2中的任一者或这两者进行保持的保持面h。
保持面h中设有装卸自如地保持第一工件w1或第二工件w2的卡盘机构13。作为卡盘机构13，使用真空吸附方式吸附卡盘或静电卡盘或粘合卡盘等。优选同时使用吸附卡盘和静电卡盘。
此外，第一工作台11及第二工作台12通常被配置成向上下方向相对，以下将利用上侧的第一工作台11和下侧的第二工作台12贴合第一工件w1及第二工件w2的方向称为“z方向”。以下将沿与z方向交叉的第一工件w1及第二工件w2的方向称为“xy方向”或“xyθ方向”。
作为工件贴合装置b的具体例而示于图2～图11的情况下，作为贴合器件d而生产柔性显示器等，因此第一工件w1及第二工件w2这两者为薄膜状工件w。以表面wa相对于上侧的第一工作台11的保持面h朝向下方的方式对第一工件w1进行保持，并且以表面wa相对于下侧的第二工作台12的保持面h朝向上方的方式对第二工件w2进行保持。
优选第一工作台11及第二工作台12配设于真空腔30的内部，且贴合被第一工作台11的保持面h保持的第一工件w1和被第二工作台12的保持面h保持的第二工件w2。在真空腔30的内部形成能够减压的贴合空间s，且在减压气氛下使被第一工作台11的保持面h保持的第一工件w1与被保持于第二工作台12的保持面h的第二工件w2重合。
真空腔30具有真空泵和压缩机等减压用驱动源30a，且能够对贴合空间s在从大气气氛至规定真空度的减压气氛之间进行调整。尤其，优选在第一工件w1与第二工件w2的贴合后，使贴合空间s返回到大气气氛，由此与贴合器件d的密封空间的内压之间产生压力差，且通过该压力差而直至规定间隙为止对贴合器件d均等地进行加压。
进而，为了使第一工件w1及第二工件w2进出贴合空间s而真空腔30的整体或一部分被构成为开闭自如，且横跨贴合空间s和真空腔30的外部空间o而设置了工件传送装置a。
为图示例的情况下，在真空腔30的一部分开设有进出口31，且工件传送装置a被配设成能够通过进出口31而移动，并且工件贴合时用开闭门32封闭进出口31。
并且，作为其他例虽未图示，但如日本特开2009-265265号公报中所记载，也能够将真空腔30分割为多个来开闭自如地进行连结。
另一方面，本发明的实施方式所涉及的工件传送装置a具备沿工件w中的二组对边wc、wd中的至少一组对边wc而设置的多个机械手部件1、使多个机械手部件1朝向保持面h移动的机械手驱动机构2及对机械手驱动机构2等进行动作控制的控制部3来作为主要构成要件。
机械手部件1形成为沿工件w中的各边wc、wd的大致总长的帯板状。
多个机械手部件1沿工件w中的一组对边wc而形成为大致平行状，或者沿二组对边wc、wd而形成为四角框型，或者沿连续的三边(一组对边wc及两者之间的任一个边wd)形成为“コ”字状。
多个机械手部件1中设有沿其厚度方向(z方向)分别夹持对边wc、wd的多个夹持部1a，且利用多个夹持部1a来保持(吊持)工件w。
尤其，多个机械手部件1形成为大致平行状或“コ”字状的情况下，在整体均匀下垂状态或均匀松紧状态下保持工件w，因此优选在多个机械手部件1中将相对的一端侧设为向工件w的宽度方向(x方向)摆动自如地进行支承等能够调整移动。
多个夹持部1a隔开比保持面h的宽度方向(x方向或y方向中的任一个或这两个方向)的尺寸长的间隔而配设。
多个夹持部1a的间隔优选以在工件w中与至少一组对边wc相比中央部位we更下垂的方式固定配置。
并且，作为其他例虽未图示，但能够进行如下变更：与针对保持面h的工件w的移送联动而使多个夹持部1a向保持面h的宽度方向(x方向)彼此接近或远离的方式将其配置成能够移动，或者为了调整工件w整体的下垂状态或松紧状态而使多个夹持部1a向工件w的宽度方向(x方向)接近或远离的方式将其配置成能够移动。
优选多个夹持部1a具有可动部位1c，该可动部位1c在工件w的各边wc、wd上与表面wa或背面wb中的任一者或表面wa及背面wb这两者相对并抵接。
可动部位1c利用驱动源1b被支承为能够向工件w的厚度方向(z方向)移动自如。
驱动源1b由旋转致动器等旋转式驱动部构成，且由后述的控制部3进行动作控制。优选驱动源1b安装于可动部位1c的基端，使可动部位1c的前端侧向z方向旋转而使其开闭移动。
进而，优选多个夹持部1a中分别设有始终向闭合方向对可动部位1c施力的按压机构(未图示)，而防止工件w的脱落。作为这些按压机构，例如优选使用永久磁铁等。
并且，优选在多个夹持部1a的工件抵接面分别设有防滑机构(未图示)，而防止工件w的脱落。作为该防滑机构，例如优选使用由聚氨酯树脂或聚硅氧树脂等构成的能够弹性变形的缓冲材料。
作为多个机械手部件1的具体例而示于图1～图12的情况下，两条多个机械手部件1沿工件w的一组对边wc而分别配置成大致平行状。作为多个夹持部1a的可动部位1c使转动片分别朝向一组对边wc的背面wb开闭移动自如地抵接，且隔着一组对边wc在反对侧设有无法移动的不动部位1d。
在两条大致平行状的机械手部件1，横跨两者之间而架设连结片1e、1f来组装成框型，由此在与工件w的一组对边wc相比中央部位we更下垂的状态下固定配置多个夹持部1a的间隔。因此，工件w被吊持成与用多个夹持部1a夹持(clamp)的一组对边wc相比中央部位we更靠下侧的曲面状。
并且，作为其他例虽未图示，但能够进行如下变更：将多个机械手部件1变更为夹持二组对边wc、wd的四边框型、拆卸连结片1e、1f中的任一者而夹持连续的三边wc、wd的“コ”字状，或者不设置不动部位1d而在各边wc、wd分别使一对可动部位1c抵接于表面wa及背面wb这两者等。
机械手驱动机构2具有致动器等驱动部2a，并利用后述的控制部3进行动作控制，该致动器等驱动部2a使多个机械手部件1从工件w的接收位置p1经由中间位置p2而朝向针对保持面h的移交位置p3向xy方向及z方向往返移动。
工件w的接收位置p1是指，为了向工件贴合装置b等传送目的地供给薄膜状工件w而配置成为传送源的机器等的部位。作为成为传送源的机器的具体例，可列举暂时储存多个工件w的工件储存器等储藏库c。在后面对储藏库c进行叙述。
中间位置p2被配置成用多个机械手部件1的夹持部1a夹持的工件w的背面wb向与保持面h交叉的方向(z方向)分开规定间隔。
移交位置p3被配置成用多个机械手部件1的夹持部1a夹持的工件w的一组对边wc向与保持面h交叉的方向(z方向)越过保持面h的延长平面。
控制部3不仅是与夹持部1a的驱动源1b、机械手驱动机构2的驱动部2a电连接的控制器，而且还是与设置于保持面h的卡盘机构13的驱动源(未图示)、接近远离用驱动部21、对齐用驱动部22、真空腔30的减压用驱动源30a、开闭门32的驱动源32a等电连接的控制器。
接近远离用驱动部21由使第一工作台11或第二工作台12中的任一者或第一工作台11及第二工作台12这两者向z方向往返移动的致动器等构成。
对齐用驱动部22由使第一工作台11或第二工作台12中的任一者或第一工作台11及第二工作台12这两者向xy方向或xyθ方向调整移动的致动器等构成。
成为控制部3的控制器按照预先设定在其控制电路(未图示)的程序，在预先设定的时刻而依次分别进行动作控制。
而且，作为接收工件w并装卸自如地对其进行保持，在保持着工件w的状态下向平滑的保持面h进行移送的工件传送方法及用于生产贴合器件d的工件贴合方法，对设定在控制部3的控制电路的程序进行说明。
本发明的实施方式所涉及的工件传送方法作为主要工序包括：夹持工序，在接收位置p1利用多个机械手部件1的夹持部1a夹持工件w的一组对边wc；第一移送工序，使多个机械手部件1从接收位置p1朝向中间位置p2移动；第二移送工序，使多个机械手部件1从中间位置p2朝向移交位置p3移动；及夹持解除工序，在利用保持面h完成对工件w的保持之后，在移交位置p3解除多个机械手部件1的夹持部1a针对工件w的一组对边wc的夹持。
所述夹持工序中，如图1的(a)、图1的(b)所示，控制部3在接收位置p1使夹持部1a的驱动源1b动作，夹持部1a(可动部位1c)向夹持方向移动。
因此，在多个机械手部件1中多个夹持部1a(可动部位1c)分别夹持一组对边wc而使其无法脱落，该一组对边wc被配置成在工件w上隔开至少比保持面h的宽度尺寸长的间隔。
所述第一移送工序中，如图2的(a)、图2的(b)及图5的(a)、图5的(b)所示，控制部3使机械手驱动机构2的驱动部2a动作，多个机械手部件1从接收位置p1朝向中间位置p2而向y方向或x方向中的任一个或这两个方向等移动。
因此，用多个夹持部1a横跨两者之间而保持的工件w从接收位置p1移送至中间位置p2，且工件w的背面wb在保持面h向z方向分开而相对。
将已移送的薄膜状且易变形的工件w(第一工件w1)保持于第一工作台11的朝向下方的保持面h时，与工件w的一组对边wc相比中央部位we因重力而更下垂成曲面状，导致中央部位we远离朝向下方的保持面h。
于是，所述第二移送工序中，如图3的(a)、图3的(b)及图6的(a)、图6的(b)所示，控制部3使机械手驱动机构2的驱动部2a动作，多个夹持部1a与多个机械手部件1一同从中间位置p2朝向移交位置p3而向z方向转换方向，越过保持面h的延长平面而移动至比保持面h更靠里侧的移交位置p3。
因此，横跨多个夹持部1a而保持的工件w中，至少一组对边wc从中间位置p2越过保持面h的延长平面而移送至比保持面h更靠里侧的移交位置p3。
由此，工件w中至少一组对边wc比保持面h更朝向里侧而向z方向分别被拉拽，因此工件w的背面wb的中央部位we接近保持面h，且沿保持面h而工件w整体呈绷紧的状态。
该状态下，保持面h的卡盘机构13动作而将工件w的背面wb的中央部位we保持为无法相对于保持面h移动。
尤其，当将工件w的尺寸大型化时，还可考虑到如下情况：若如图3的(a)、图3的(b)及图6的(a)、图6的(b)所示，利用多个夹持部1a在至少与一组对边wc相比中央部位we更下垂成曲面状的状态下保持工件w，则因工件w的重力而背面wb的中央部位we相对于保持面h并不会顺利接近。
于是，这种情况下，优选使多个夹持部1a向工件w的宽度方向(x方向)进行远离移动，而使工件w成为其一组对边wc和中央部位we绷紧成大致相同高度的状态。由此，能够使工件w的背面wb的中央部位we相对于保持面h强制性接近。
因此，即使卡盘机构13为真空吸附方式吸附卡盘等，也能够可靠地吸附保持工件w的背面wb的中央部位we。
所述夹持解除工序中，如图4的(a)、图4的(b)及图7的(a)、图7的(b)所示，在利用保持面h完成对工件w的保持之后，控制部3在移交位置p3使夹持部1a的驱动源1b动作，夹持部1a(可动部位1c)向与夹持方向相反的夹持解除方向移动。
因此，夹持部1a(可动部位1c)分别开放工件w的一组对边wc，工件w在绷紧的状态下移交到保持面h。
并且，作为所述夹持解除工序的后工序，控制部3使机械手驱动机构2的驱动部2a动作，多个机械手部件1从移交位置p3经由中间位置p2朝向接收位置p1而向y方向或x方向中的任一个或这两个方向等反向移动，从而返回初始状态。
本发明的实施方式所涉及的工件贴合方法作为主要工序包括：工件保持工序，将通过前述的工件传送方法传送的第一工件w1或第二工件w2保持于第一工作台11或第二工作台12的保持面h来进行移交；贴合工序，通过第一工作台11与第二工作台12的相对接近移动来使第一工件w1及第二工件w2重合；及对齐工序，通过第一工作台11与第二工作台12的相对调整移动来使第一工件w1及第二工件w2对位。
进而，优选包括通过前述的工件传送方法从第一工作台11或第二工作台12拆卸贴合完成的贴合器件d并移送的送出工序。
作为所述工件保持工序的具体例示于图2的(a)、图2的(b)～图7的(a)、图7的(b)的情况下，首先通过前述工件传送方法朝向第一工作台11的保持面h移送薄膜状第一工件w1之后，控制部3使由吸附卡盘、静电卡盘或粘合卡盘等构成的卡盘机构13的驱动源动作，以第一工件w1的背面wb无法相对于第一工作台11的保持面h移动的方式对其进行保持而进行移交。接着，朝向第二工作台12的保持面h通过前述工件传送方法移送薄膜状第二工件w2之后，利用卡盘机构13以第二工件w2的背面wb无法相对于第二工作台12的保持面h移动的方式对其进行保持而进行移交。
并且，作为其他例虽未图示，但还能够向第一工作台11或第二工作台12中的任一个保持面h移交通过前述工件传送方法移送的薄膜状第一工件w1或第二工件w2，向第一工作台11或第二工作台12中的另一保持面h，利用传送机器人等移交玻璃基板等板状工件。
所述贴合工序中，如图8的(a)、图8的(b)所示，控制部3使接近远离用驱动部21动作，第一工作台11或第二工作台12中的任一者或第一工作台11及第二工作台12这两者向z方向相对地进行接近移动。
因此，保持于第一工作台11的第一工件w1的表面wa和保持于第二工作台12的第二工件w2的表面wa隔着密封件(未图示)等而向z方向重合。
此时，第一工作台11及第二工作台12配设于真空腔30的内部的情况下，作为所述贴合工序的前工序而控制部3使开闭门32的驱动源32a动作，从而贴合空间s被封闭。除此以外，控制部3使真空腔30的减压用驱动源30a动作，贴合空间s从大气气氛减压，在达到规定真空度的减压气氛的时点进行第一工件w1及第二工件w2的重合。
并且，大致与该重合同时，即第一工件w1及第二工件w2的表面wa彼此的贴合就要完成之前进行所述对齐工序。
所述对齐工序中，控制部3使接近远离用驱动部21动作，第一工作台11或第二工作台12中的任一者相对于另一者向xy方向或xyθ方向相对调整移动。
因此，以高精度进行第一工件w1与第二工件w2的相对对位。该对位完成之后，以利用接近远离用驱动部21进行的第一工件w1与第二工件w2的重合完成的方式进行动作控制。
所述送出工序中，如图9的(a)、图9的(b)～图11的(a)、图11的(b)所示，利用前述工件传送方法移送贴合器件d，但以与前述的动作控制相反的方式利用控制部3进行接近远离用驱动部21等的动作控制。
首先，在所述贴合工序已完成的状态下，控制部3使设于上侧的第一工作台11的保持面h的卡盘机构13停止动作。
因此，能够从上侧的第一工作台11的保持面h剥离第一工件w1。
接着，如图9的(a)、图9的(b)所示，控制部3使接近远离用驱动部21向相反方向动作，第一工作台11或第二工作台12中的任一者或第一工作台11及第二工作台12这两者向z方向相对地进行远离移动。
因此，贴合器件d在载置于下侧的第二工作台12的状态下残留。
此时，第一工作台11及第二工作台12配设于真空腔30的内部的情况下，控制部3使开闭门32的驱动源32a开动，贴合空间s通过进出口31而对大气开放。
接着，以与前述的工件传送方法相同的方式，控制部3使机械手驱动机构2的驱动部2a动作，使多个机械手部件1从初始状态朝向第二工作台12上的贴合器件d向y方向或x方向中的任一个或这两个方向等移动。
此时，如图9的(a)所示，在贴合器件d中第一工件w1及第二工件w2重合的一组对边wc从第二工作台12分别突出而因自重向z方向垂下。因此，在多个机械手部件1中使夹持部1a的可动部位1c开动，使其前端越过第二工作台12的保持面h的延长平面而位于比对边wc的前端更靠里侧(下方)。
然后，如图10的(a)、图10的(b)所示，控制部3使夹持部1a的驱动源1b动作，夹持部1a的可动部位1c向夹持方向移动。
由此，由夹持部1a的可动部位1c分别夹持从第二工作台12的保持面h垂下的贴合器件d的一组对边wc而使其无法脱落。
接着，如图11的(a)、图11的(b)所示，控制部3使机械手驱动机构2的驱动部2a动作，多个机械手部件1以向z方向远离保持面h的方式移动。
由此，多个机械手部件1从第二工作台12接收贴合器件d，贴合器件d横跨多个夹持部1a而被保持。因此，之后，无论利用机械手驱动机构2的驱动部2a，使多个机械手部件1向y方向或x方向中的任一个或这两个方向等移动，贴合器件d也不会与第二工作台12的保持面h接触而能够朝向贴合器件d的回收位置送出。
本发明的实施方式所涉及的工件传送装置a并不仅限定于朝向工件贴合装置b供给薄膜状工件w，还能够使用于其以外的用途。
作为其一例，对将薄膜状工件w应用于工件储存器等储藏库c的情况进行说明。
作为储藏库c的具体例示于图12的(a)～图12的(c)的情况下，以与前述的工件传送方法相同的方式，朝向储藏库c的搁板c1移送薄膜状工件w并将其进行移交。
图12的(a)中，以与前述的工件传送方法的第一移送工序相同的方式，使多个机械手部件1从接收位置(未图示)朝向中间位置p2而向y方向或x方向中的任一个或这两个方向等移动。
由此，横跨多个夹持部1a而被保持的工件w的背面wb与作为传送目的地的搁板c1向z方向分开而相对。
图12的(b)中，以与前述的工件传送方法的第二移送工序相同的方式，使多个机械手部件1从中间位置p2朝向移交位置p3而向z方向移动。
因此，横跨多个夹持部1a而被保持的工件w中，从中间位置p2移送至移交位置p3的工件w的一组对边wc越过搁板c1的表面的延长平面而移送至比搁板c1更靠里侧。由此，在工件w的背面wb与搁板c1的表面接触的状态下进一步拉拽工件w的一组对边wc。
图12的(c)中，以与前述的工件传送方法的夹持解除工序相同的方式，使夹持部1a(可动部位1c)向与夹持方向相反的夹持解除方向移动。
因此，夹持部1a(可动部位1c)分别开放工件w的一组对边wc，工件w在绷紧的状态下移交到搁板c1。
并且，作为其他例虽未图示，但通过以与上述的图12的(a)～图12的(c)的顺序相反的顺序动作，能够由多个夹持部1a接收载置于储藏库c的搁板c1上的工件w，而朝向工件贴合装置b的第一工作台11或第二工作台12移动(送入)。
根据这种本发明的实施方式所涉及的工件传送装置a及工件传送方法，在接收位置p1通过多个夹持部1a的驱动源1b的动作，多个机械手部件1的多个夹持部1a分别向夹持方向移动，而以工件w的一组对边wc无法脱落的方式对其进行保持。
然后，通过机械手驱动机构2的动作而多个机械手部件1从接收位置p1移动至中间位置p2，以与被多个夹持部1a保持的工件w的背面wb与保持面h交叉的方向(z方向)相对的方式进行移送。
接着，通过机械手驱动机构2的动作而多个机械手部件1从中间位置p2移动至移交位置p3，以被多个夹持部1a保持的工件w的一组对边wc越过保持面h的延长平面的方式进行移送。
由此，工件w的一组对边wc被拉拽至比保持面h更靠里侧。因此，工件w的背面wb的中央部位we接近保持面h，沿保持面h而工件w整体成为绷紧的状态。在该状态下，利用卡盘机构13，工件w的背面wb的中央部位we保持于保持面h。
接着，在保持面h保持工件w之后，在移交位置p3通过多个夹持部1a的驱动源1b的动作，多个机械手部件1的多个夹持部1a分别向夹持解除方向移动，并开放工件w的一组对边wc。
由此，工件w直接在绷紧的状态下被向朝向下方的保持面h移交。
从而，能够与薄膜状工件w的尺寸无关地直接在功能部绷紧的状态下均匀地向朝向下方的保持面h移交工件w。
其结果，与使因气体的流入而鼓成凸状的片状薄膜从其中心部开始朝向外周吸附于上工作台的以往的工件相比，即使将薄膜状工件w大型化，在进行针对朝向下方的保持面h的移交时，在薄膜状工件w中也不会产生褶皱，而即使在表面wf例如形成tft图案或cf图案等，也不会向该功能部赋予不良影响，从而能够实现高质量的移交。
进而，无需设为完全封闭的结构，因此即使将薄膜状工件w大型化，包含多个夹持部1a的多个机械手部件1的重量也不会随之而明显变重，而无需将机械手驱动机构2也大型化。由此，能够简单制造大型化柔性显示器等亚微米精度的高精度贴合器件d。
尤其，优选卡盘机构13为吸附卡盘。
为大型尺寸的工件w的情况下，还可考虑到如下情况：随着工件w的大型化而重量增大，因此与小型尺寸的工件w相比，中央部位we的垂下量更大，导致进一步远离朝向下方的保持面h，仅通过工件w的拉拽则无法使中央部位we朝向保持面h顺利接近。
即使在这种状况下，在拉拽工件w的基础上从卡盘机构13的吸附卡盘进行抽吸，由此也能够使工件w的背面wb的中央部位we朝向保持面h靠近，而顺利进行吸附保持。
从而，即使为尤其大型尺寸的薄膜状工件w，在进行针对朝向下方的保持面h的移交时，薄膜状的工件w中也不会产生褶皱，而不会向表面wf的功能部赋予不良影响，从而能够实现高质量的移交。
并且，根据这种本发明的实施方式所涉及的工件贴合装置b及工件贴合方法，利用工件传送装置a移送的薄膜状第一工件w1或第二工件w2被向第一工作台11或第二工作台12的保持面h移交。尤其，第一工件w1直接在绷紧的状态下被向第一工作台11的朝向下方的保持面h移交。
从而，能够与尺寸无关地直接在功能部绷紧的状态下均匀地向朝向下方的保持面h移交薄膜状第一工件w1。
其结果，在进行针对朝向下方的保持面h的移交时，薄膜状第一工件w1中不会产生褶皱，而不会向表面wf的显示器功能部赋予不良影响，从而能够相对于需要微米级贴合的显示器用途实现高品质的工件贴合。尤其相对于要求亚微米精度的贴合，也能够在均匀的状态下贴合面内。因此，能够制造亚微米精度的高精度贴合器件d。
进而，优选保持面h形成为比第一工件w1的尺寸小的大致矩形，具有以使第一工件w1的表面wa朝向下方的方式装卸自如地保持背面wb的中央部位we的卡盘机构13，且卡盘机构13为吸附卡盘。
即使为大型尺寸的薄膜状第一工件w1，在进行针对朝向下方的保持面h的移交时，薄膜状第一工件w1中不会产生褶皱，而不会向表面wf的显示器功能部赋予不良影响，从而能够实现高质量的工件贴合。
此外，在前示实施方式中的图示例中，第一工件w1及第二工件w2这两者为薄膜状工件w，作为贴合器件d而生产柔性显示器的情况进行了说明，但并不限定于此，可以仅第一工件w1或第二工件w2中的任一者为薄膜状工件w。
该情况下，第一工件w1或第二工件w2中的另一者成为玻璃基板等板状工件，薄膜状工件w与板状工件贴合，由此能够生产平板显示器。
并且，利用多个夹持部1a，在至少与一组对边wc相比中央部位we更下垂成曲面状的状态下保持工件w，直接在该下垂状态下使其朝向保持面h而向z方向进行了移动，但并不限定于此，可以利用多个夹持部1a，在至少一组对边wc与中央部位we为大致相同高度的绷紧的状态下保持工件w，直接在该绷紧的状态下使其朝向保持面h而向z方向移动。
该情况下，若与针对保持面h的工件w的移送联动，工件w的背面wb的中央部位we与保持面h接触之后，通过所述第二移送工序而至少一组对边wc越过保持面h的延长平面而向比保持面h更靠里侧的移交位置p3移动，则于此联动而至少一组对边wc及多个夹持部1a的间隔向保持面h的宽度方向(x方向)彼此进行接近移动。因此，将工件w的背面wb的中央部位we压接于保持面h而工件w成为整体绷紧的状态，而能够以与前述的曲面状下垂状态相同的方式，直接在绷紧的状态下向保持面h移交工件w。