树脂成形装置以及树脂成形品制造方法与流程

本发明涉及一种树脂成形装置以及树脂成形品制造方法。

背景技术：

为了保护电子零件不受光、热、湿气等环境的影响，电子零件通常由树脂密封而进行树脂成形。作为树脂成形法，通常使用压缩成形法或转移成形法等。在利用这些方法进行树脂成形的树脂成形装置中，使用具有第1模与第2模的成形模，所述第1模设置有腔室(cavity)，所述第2模与第1模相向配置，在与腔室相向的面上设置有保持成形对象物(例如，装配有电子零件的基板)的保持部。多数情况下，在保持部设置有抽吸空气的抽吸口，从抽吸口抽吸空气，由此将成形对象物保持于保持部。

当对保持于保持部的成形对象物进行树脂成形时，存在如下担忧：树脂渗出至成形对象物的外侧而附着在第2模。因此，在专利文献1及专利文献2记载的树脂成形装置中，通过在保持部及其周围的第2模的表面铺设脱模膜，来防止树脂附着在第2模的表面。但是，若脱模膜介隔存在于抽吸口与成形对象物之间，则无法利用抽吸口抽吸气体，从而无法保持成形对象物，因此在专利文献1及专利文献2中记载有利用针或销对所述脱模膜中的对应于抽吸口的部位进行穿孔。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2013-153146号公报

[专利文献2]日本专利特开2013-162041号公报

技术实现要素：

[发明所要解决的问题]

在专利文献1及专利文献2记载的树脂成形装置中，因在成形模的位置对脱模膜进行穿孔而导致成形模的结构复杂化，或为了不使成形模破损而要求精度等，会成为生产效率下降的要因。

本发明所要解决的课题在于提供一种能够实现树脂成形品的生产效率的提高的树脂成形装置以及树脂成形品制造方法。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述课题而成的本发明的树脂成形装置的第1实施方式是使用在彼此相向的第1模及第2模的至少一者上设置有腔室的成形模，将成形对象物保持于所述第1模来进行树脂成形，且所述树脂成形装置包括：

a)孔部形成部，设置于所述成形模的外部，且在脱模膜上形成孔部；

b)搬送部，将形成有所述孔部的所述脱模膜搬送至所述第1模与所述第2模之间；以及

c)保持部，通过经由所述脱模膜的所述孔部而从所述第1模型中所设置的抽吸口抽吸气体，来保持所述成形对象物。

本发明的树脂成形装置的第2实施方式是使用在彼此相向的第1模及第2模的至少一者上设置有腔室的成形模，将成形对象物保持于所述第1模来进行树脂成形，且所述树脂成形装置包括：

a)搬送部，将形成有孔部的所述脱模膜搬送至所述第1模与所述第2模之间；以及

b)保持部，通过经由所述脱模膜的所述孔部而从所述第1模中所设置的抽吸口抽吸气体，来保持所述成形对象物。

本发明的树脂成形品制造方法是使用在彼此相向的第1模及第2模的至少一者上设置有腔室的成形模，将成形对象物保持于所述第1模来进行树脂成形，且所述树脂成形品制造方法包括：

搬送工序，将形成有孔部的脱模膜搬送至所述第1模与所述第2模之间；

保持工序，通过经由所述脱模膜的所述孔部而从所述第1模中所设置的抽吸口抽吸气体，来保持所述成形对象物；以及

树脂成形工序，将所述第1模及所述第2模合模来对保持于所述第1模的所述成形对象物进行树脂成形。

[发明的效果]

根据本发明，能够实现树脂成形品的生产效率的提高。

附图说明

图1是本发明的树脂成形装置的概略构成图。

图2是说明本实施方式的树脂成形装置的动作的图，且是表示在上模及下模中铺设脱模膜的过程的图。

图3是表示形成有作为气体通过部的狭缝的脱模膜的一例的平面图。

图4是说明本实施方式的树脂成形装置的动作的图，且是表示将成形对象物保持于上模的保持部，将树脂材料供给至下模的腔室的状态的图。

图5是说明本实施方式的树脂成形装置的动作的图，且是表示进行合模的状态的图。

图6是说明本实施方式的树脂成形装置的动作的图，且是表示进行开模的状态的图。

图7是说明本实施方式的树脂成形装置的动作的图，且是表示将树脂成形品从保持部取下的状态的图。

图8是表示形成有作为气体通过部的孔的脱模膜的一例的平面图。

图9是表示使用等离子体照射装置作为气体通过部形成机构的树脂成形装置的例子的局部放大图。

图10(a)是表示设置有位置检测用标记的脱模膜的一例的平面图，及图10(b)是表示具有位置检测传感器的树脂成形装置的例子的局部放大图。

图11是表示具有本实施方式的树脂成形装置的树脂成形单元的构成的概略图。

符号的说明

10：树脂成形装置

15：成形模

16：保持部

17：搬送部(上模脱模膜铺设装置)

18：孔部形成部

18A：等离子体照射装置(孔部形成部)

19：位置检测传感器

50：树脂成形单元

51：成形对象物搬出搬入模块

52：成形模块

53：树脂材料供给模块

56：主搬送装置

57：副搬送装置

58：树脂材料转移托盘

111：衬底

112：系杆

113：曲柄连杆

121：可动台板

122：固定台板

141：加热器

142：隔热材

151：上模(第1模)

152：下模(第2模)

161：成形对象物接触面

162：抽吸口

163：气体抽吸管

165：预备抽吸系统

171：第1卷轴

172：第2卷轴

181：刀

182：刀移动机构

511：成形对象物接收部

512：树脂成形品保持部

531：树脂材料供给装置

1521：侧面构件

1522：底面构件

1523：弹性构件

C：腔室

FA：脱模膜

FD：下模脱模膜

FU：上模脱模膜(脱模膜)

H：孔部

HA：孔部形成区域

MK：位置检测用标记

P：树脂材料

PL：等离子体

PM：树脂成形品

S：成形对象物

T1、T2：扭矩

具体实施方式

在本发明的树脂成形装置以及树脂成形品制造方法中，将形成有孔部的脱模膜搬送至第1模与第2模之间。即，关于脱模膜，在搬送至第1模与第2模之间前，在成形模的外部形成孔部。通过经由所述孔部而从第1模中所设置的抽吸口抽吸气体，来将成形对象物保持于保持部。

关于在成形模的外部形成孔部的方法以及装置，可使用以下两个实施方式的任一者或两者。在第1实施方式中，在树脂成形装置内且为成形模的外部事先设置孔部形成部，利用所述孔部形成部在脱模膜上形成孔部。作为孔部形成部，可使用在脱模膜上用刀形成狭缝(细长孔、切口)者、或按压针等而对脱模膜进行穿孔者、通过对脱模膜照射等离子体来形成微小的孔者等。在第2实施方式中，(不在树脂成形装置中设置孔部形成部)使用预先在树脂成形装置的外部形成孔部的脱模膜。作为在树脂成形装置的外部形成孔部的脱模膜，可列举：利用与第1实施方式同样的方法在树脂成形装置的外部进行形成孔部的操作的脱模膜、或如多孔质膜或无纺布那样包含具有通气性的原材料的脱模膜。

孔部只要能够通过气体即可，形状及大小并无特别限定。可使用将脱模膜的材料的一部分去除而成的贯通孔、脱模膜的切缝、多孔质材料的孔、无纺布的纤维的间隙等作为孔部。

当将脱模膜搬送至第1模与第2模之间时，无需使保持部的抽吸口与形成在脱模膜的孔部的位置对准。即便这些抽吸口与孔部的位置不对准，也可从孔部经由保持部与脱模膜的间隙，在抽吸口抽吸气体。从抽吸口抽吸的气体，通常为空气，但在将氮气或氩气等惰性气体、或其他的空气以外的气体导入至成形模的周围的情况下，也可抽吸所述气体。

根据本发明的树脂成形装置以及树脂成形品制造方法，不存在因在成形模的位置对脱模膜进行穿孔而导致成形模的结构复杂化，或为了不使成形模破损而要求精度的情况，从而能够实现生产效率的提高。

另外，无需之前在将脱模膜搬送至第1模与第2模之间后进行的对脱模膜进行穿孔的工序，因此能够提高生产效率。

进而，由于不在成形模内对脱模膜进行穿孔，因此能够防止脱模膜的渣滓混入树脂中，从而提高树脂成形品的品质。

近年来，一直使用进行树脂成形直至比成形对象物更靠外侧为止的被称为二次成型(overmold)的方法。二次成型是当生产在比经树脂密封的芯片更靠外侧处也设置配线或输入输出端子的扇出型晶片级封装(Funout-Wafer Level Package，FO-WLP)或扇出型面板级封装(Funout-Panel LeveL Package，FO-PLP)等树脂成形品时等使用。若进行二次成型，则至成形对象物的外侧为止的区域有意地成为成形范围。根据本发明的树脂成形装置以及树脂成形品制造方法，成形对象物的周围的树脂不会附着在成形模上，能够以高生产效率及高品质生产使用二次成型的树脂成形品。

本发明的树脂成形装置可还包括位置检测传感器，所述位置检测传感器对设置于所述脱模膜的位置检测用标记的位置进行检测。另外，在本发明的树脂成形品制造方法中，可采取如下构成：对设置于所述脱模膜的位置检测用标记的位置进行检测，并基于所述位置检测用标记的位置，在所述搬送工序中使所述脱模膜的形成所述孔部的位置对准保持所述成形对象物的位置。由此，能够抑制在成型模中的保持成形对象物的位置以外的部分配置孔部，更不易产生树脂附着在成形模的情况。

在本发明的树脂成形装置以及树脂成形品制造方法中，可在与成形对象物接触的脱模膜的面上涂布有粘合剂。由此，成形对象物与脱模膜由粘合剂粘接，从而可将成形对象物保持于保持部。

以下，使用图1～图11对本发明的树脂成形装置以及树脂成形品制造方法的更具体的实施方式进行说明。

(1)本实施方式的树脂成形装置的构成

图1中表示本实施方式的树脂成形装置10。树脂成形装置10是进行压缩成形的装置，且包括：衬底111、直立设置于衬底111上的四根(图1中仅示出两根)系杆(tie bar)112、以能够进行上下移动的方式保持于系杆112的可动台板121、固定于系杆112的上端的固定台板122、以及设置于衬底111上的使可动台板121上下移动的曲柄连杆113。在可动台板121的上表面与固定台板122的下表面之间配置有具有上模(第1模)151和下模(第2模)152的成形模15。在上模151与固定台板122的下表面之间，在靠近上模151处设置有加热器141，在靠近固定台板122处设置有隔热材142。在下模152与可动台板121的上表面之间也同样，在靠近下模152处设置有加热器141，在靠近可动台板121处设置有隔热材142。

再者，可使用在衬底111上相向直立设置的一对板状构件即舱肋骨(hold frame)(注册商标)来代替系杆112(棒材)。

在上模151的下表面设置有保持成形对象物的保持部16。保持部16具有作为与成形对象物S接触的平面的成形对象物接触面161、以及设置于成形对象物接触面161的抽吸口162。抽吸口162经由气体抽吸管163而连接于第1抽吸机构(未图示)。作为第1抽吸机构，例如可使用真空泵。

另外，在上模151中设置有预备抽吸系统165。预备抽吸系统165与抽吸口162及气体抽吸管163独立设置，从设置于成形对象物接触面161的开口，利用与所述第1抽吸机构不同的第2抽吸机构(未图示)抽吸气体。作为第2抽吸机构，例如可使用真空排出器或(与第1抽吸机构独立设置的)真空泵。

下模152具有包含平面形状(俯视时)为长方形的框的侧面构件1521、装入至侧面构件1521的框内的呈长方体的底面构件1522、以及设置于侧面构件1521的下表面的弹性构件1523。由所述侧面构件1521及底面构件1522所包围的空间成为供给树脂材料的腔室C。再者，侧面构件1521及底面构件1522的平面形状可根据制造的树脂成形品的形状而设为长方形以外的圆形等形状。

在成形模15的外部的隔着上模151的两个侧方配置有将上模脱模膜FU(相当于所述脱模膜)搬送至上模151与下模152之间的搬送部17。搬送部17具有配置在所述两个侧方的一个侧方的第1卷轴171、配置在另一侧方的第2卷轴172、以及使所述卷轴旋转的旋转机构(未图示)。在搬送部17上安装有长条的上模脱模膜FU。上模脱模膜FU卷绕在第1卷轴171，从第1卷轴171抽出并通过保持部16的正下方，将与所述上模脱模膜FU的端部连接的空芯固定在第2卷轴172，由此安装在搬送部17。从图1所示的方向观察，旋转机构对第1卷轴171顺时针赋予扭矩T1，并且对第2卷轴172逆时针赋予扭矩T2。扭矩T2大于扭矩T1。由此，上模脱模膜FU在被赋予张力的状态下，逐渐缠绕在第2卷轴172，并且将未使用的部分从孔部形成部18朝保持部16的正下方抽出。上模脱模膜FU的输送量可基于第2卷轴172的旋转量、或使第2卷轴172旋转的旋转机构的旋转量来进行控制。

在从第1卷轴171抽出上模脱模膜FU的部位的正上方设置有在上模脱模膜FU上形成孔部(狭缝、细长的开口、切口)的孔部形成部(狭缝形成装置)18。孔部形成部18设置有朝向抽出上模脱模膜FU的方向的刀181，并且设置有使所述刀上下移动的刀移动机构182。

在下模152的侧方设置有下模脱模膜搬送部(省略图示)，所述下模脱模膜搬送部将匹配侧面构件1521及底面构件1522的腔室C内表面及侧面构件1521的上表面的大小来切断的脱模膜(下模脱模膜)搬送至所述下模152上。可从下模152的侧面构件1521与底面构件1522的间隙，利用第1抽吸机构来抽吸气体，通过所述气体的抽吸，侧面构件1521的内侧面及底面构件1522的上表面，即腔室C的内表面被下模脱模膜覆盖。再者，所述下模脱模膜与本发明的形成有孔部的脱模膜不同。

(2)本实施方式的树脂成形装置的动作以及本实施方式的树脂成形品制造方法

使用图2～图7对树脂成形装置10的动作以及本实施方式的树脂成形品制造方法进行说明。

首先，在使上模151与下模152上下分离的开模状态下，对搬送部17的第1卷轴171赋予顺时针的扭矩T1，并且对第2卷轴172赋予逆时针的扭矩T2(>T1)，由此在对上模脱模膜FU赋予张力的状态下，从第1卷轴171抽出上模脱模膜FU，并利用孔部形成部18在上模脱模膜FU上形成孔部H。继而，搬送部17将形成有孔部H的上模脱模膜FU搬送至上模151与下模152之间，并铺设在上模151的保持部16及其周围(图2)。关于孔部形成部18，在上模脱模膜FU中的铺设在保持部16时配置在所述保持部16的部分通过刀181的正下方的期间，利用刀移动机构182使刀181下降而与上模脱模膜FU接触，在所述部分通过后，利用刀移动机构182使刀181上升。由此，形成在抽出上模脱模膜FU的方向上延伸的狭缝状的孔部H(图3)。在图3中，示出通过在孔部形成部18设置三个刀181而形成三个(三根)孔部H的例子，但孔部H的个数并不限定于此。

在上模151铺设上模脱模膜FU，与此同时(再者，并非必须同时)，利用下模脱模膜搬送部将匹配侧面构件1521及底面构件1522的腔室C内表面及侧面构件1521的上表面的大小来切断的下模脱模膜FD搬送至下模152上。在所述状态下，从侧面构件1521与底面构件1522的间隙抽吸气体(空气)，由此，如图2所示，腔室C的内表面被下模脱模膜FD覆盖。

接着，关于成形对象物S，从成形模15的外侧使成形对象物S移动至保持部16的成形对象物接触面161，经由上模脱模膜FU而与成形对象物接触面161接触。此处，在本实施方式中，将成形对象物S设为使安装有多个电子零件的安装面朝向下侧的基板。在成形对象物S的移动过程中，使用使成形对象物S在横方向及上下方向上移动的成形对象物搬送机构(未图示)。在所述状态下，使用第1抽吸机构经由孔部H而从抽吸口162抽吸成形对象物S与上模脱模膜FU之间的气体(空气)，由此经由上模脱模膜FU而使成形对象物S保持于保持部16(图4)。与此同时，使用第2抽吸机构从预备抽吸系统165也抽吸气体。由此，即便第1抽吸机构与第2抽吸机构的任一者因故障等而停止，也可利用另一者继续抽吸气体，因此防止成形对象物S从保持部16落下。再者，当成形对象物S被保持部16保持时，上模脱模膜FU成为被搬送部17铺设的状态。

另外，将树脂材料搬送机构(未图示)配置在腔室C的正上方，将树脂材料P供给至腔室C内(图4)。或者，也可使用将成形对象物搬送机构与树脂材料搬送机构一体化而成者，同时进行成形对象物S对于保持部16的保持与下模脱模膜FD及树脂材料P向腔室C内的供给。

关于上模151及下模152，预先利用加热器141而进行加热。供给至腔室C内的树脂材料P因下模152的热而熔融或软化。

接着，利用曲柄连杆113使可动台板121上升。由此，首先，上模151与下模152抵接。进而，通过利用曲柄连杆113使可动台板121上升，下模152被强力按压至上模151而合模(图5)。在保持所述状态的期间，树脂材料P因热而硬化，从而形成树脂成形品(树脂密封品)PM。

其后，利用曲柄连杆113使可动台板121下降，由此使成形模15开模。由此，树脂成形品PM在被保持部16保持的状态下，从下模152脱模(图6)。此时，腔室C的内表面由下模脱模膜FD覆盖，由此能够顺利进行树脂成形品PM从下模152的脱模。

继而，停止从抽吸口162及预备抽吸系统165抽吸气体，将树脂成形品PM从保持部16取下。此处，如进行二次成型时那样，即便树脂成形品PM的树脂进行成形直至成形对象物(基板)S的外侧为止，由于在保持部16及其周围铺设有上模脱模膜FU，因此树脂不会附着在上模151，从而能够顺利地取出树脂成形品PM。通过以上操作，一个树脂成形品PM的制造完成。

根据本实施方式的树脂成形装置10以及树脂成形品制造方法，在将上模脱模膜FU搬送至上模151与下模152之间的操作中，通过在成形模15的外部在上模脱模膜FU上形成孔部H，而无需在铺设脱模膜后形成孔部H的工序，因此可提高生产效率。另外，通过在成形模15的外部形成孔部H，能够抑制上模脱模膜FU的渣滓落下至腔室C而混入树脂成形品PM中，从而提高树脂成形品PM的品质。

(3)变形例

在树脂成形装置10中，作为孔部形成部18，使用形成狭缝状的孔部H者，但也可使用在上模脱模膜FU上形成圆形的孔部H(参照图8)的孔部形成部来代替孔部形成部18。所述孔部形成部可设为如下者：设置针来代替刀181，设置使针上下移动的针移动机构来代替刀移动机构182。在上模脱模膜FU中的铺设在保持部16时成为配置在所述保持部16的部分通过针的正下方的期间，通过利用针移动机构重复进行针的上下移动，来制作具有多个孔部H的上模脱模膜FU。设置于孔部形成部的针的根数及形成在上模脱模膜FU的孔部H的个数并无特别限定。

已知如下的等离子体照射装置：通过对树脂制的膜照射等离子体，将所述膜改质成多孔质膜。例如，可通过从等离子体照射装置对作为氟树脂的聚四氟乙烯制的膜照射氩等离子体，来制作具有多个孔径为0.5μm～2μm程度的圆形小孔的能够用作气体透过膜的多孔质膜。在本发明中，可将此种等离子体照射装置用作孔部形成部。具体而言，在所述实施方式的树脂成形装置10中，配置此种等离子体照射装置(孔部形成部)18A(图9)来代替孔部形成部18。此外，当将上模脱模膜FU铺设在保持部16及其周围时，在上模脱模膜FU中的铺设在保持部16时成为配置在所述保持部16的部分通过等离子体照射装置18A的期间，通过从等离子体照射装置18A对上模脱模膜FU照射等离子体PL，可在所述部分形成多个孔。

或者，也可不在树脂成形装置内设置孔部形成部而使用在树脂成形装置的外部形成狭缝状或圆形形状等的孔部的脱模膜。或者，也可将例如如无纺布那样包含具有通气性的原材料的膜作为本发明中所使用的脱模膜。所述情况下，在如下方面与之前的树脂成形装置以及树脂成形品制造方法不同，即，树脂成形装置内，不仅在成形模15的外部，而且在成形模15内也不存在孔部形成部。

在使用预先在树脂成形装置的外部形成孔部的脱模膜的情况下，理想的是在利用成形模保持成形对象物S的区域以外未形成孔部。如此，在使用在吸附区域以外未形成孔部的脱模膜FA的情况下，若在与脱模膜FA中的形成孔部的孔部形成区域HA之间具有规定的位置关系的部位设置位置检测用标记MK(图10(a))，并在树脂成形装置中设置检测所述位置检测用标记MK的位置检测传感器19(图10(b))即可。根据此种构成，通过利用位置检测传感器19对位置检测用标记MK进行检测，树脂成形装置的控制部可识别脱模膜FA中的孔部形成区域HA的位置，从而以使孔部形成区域HA的位置对准利用成形模保持成形对象物S的区域的方式搬送脱模膜FA。

位置检测用标记MK的形状并无特别限定。另外，位置检测用标记MK的位置也(只要与孔部形成区域HA之间具有预定的位置关系)无特别限定，可处于孔部形成区域HA内，也可处于孔部形成区域HA外。位置检测传感器19的位置在图10(b)所示的例子中，配置在将脱模膜FA搬送至成形模15(在图10(b)中仅示出上模151)的近前即比成形模15更靠第1卷轴171处，但也可配置在比成形模15更靠第2卷轴172处。

位置检测传感器19例如可使用包含发光元件与接收从所述发光元件发出的光的光接收元件的光学传感器。作为此种光学传感器，可使用反射型光学传感器或透过型光学传感器，所述反射型光学传感器利用光接收元件接收从发光元件发出并经脱模膜反射的光，所述透过型光学传感器利用光接收元件接收从发光元件发出并透过脱模膜的光。

再者，可不使用所述位置检测传感器19，而基于搬送部17的动作来检测脱模膜FA的位置并且利用搬送控制部来控制搬送部17搬送的脱模膜FA的长度。具体而言，当将脱模膜FA安装在第1卷轴171及第2卷轴172时，在进行相对于成形模15的对位后，基于第2卷轴172的旋转量或旋转机构的旋转量，使用搬送控制部来进行脱模膜FA的输送量的检测及控制。由此，控制部可识别脱模膜FA的孔部形成区域HA的位置，从而以使孔部形成区域HA的位置对准利用成形模保持成形对象物S的区域的方式搬送脱模膜FA。

可在本实施方式的树脂成形装置10以及树脂成形品制造方法中所使用的上模脱模膜FU或脱模膜FA的与成形对象物S接触的面上涂布有粘合剂。由此，当经由上模脱模膜FU(或脱模膜FA)而使成形对象物S保持于保持部16时，上模脱模膜FU(同上)与成形对象物S被粘合剂粘接，从而使成形对象物S保持于保持部16。

在本实施方式的树脂成形装置10以及树脂成形品制造方法中，将卷绕在第1卷轴171的上模脱模膜FU从所述第1卷轴171抽出来使用，但也可代替所述上模脱模膜FU而使用在成形模15的外部预先将膜切断成匹配铺设在上模151的保持部16及其周围的范围的大小后，形成气体通过部的上模脱模膜；或将形成有气体通过部的膜或包含具有通气性的材质的膜切断成所述大小而成的上模脱模膜。此种情况下，在将已切断的上模脱模膜载置在成形对象物上的状态下，通过利用成形对象物搬送机构将成形对象物搬送至保持部16，并从抽吸口162抽吸气体，从而使上模脱模膜及成形对象物吸附于成形对象物接触面161，由此可经由上模脱模膜而使成形对象物保持于保持部16。此种情况下，可使用具有长方形以外的圆形等平面形状的上模脱模膜。

在本实施方式的树脂成形装置10中使用进行压缩成形的成形模15，但在进行转移成形的成形模中，也可使用与树脂成形装置10同样的具有保持部16的上模151、搬送部17及孔部形成部(包含等离子体照射装置18A)18。

图11中示出具有本实施方式的树脂成形装置的树脂成形单元50。树脂成形单元50具有一台成形对象物搬出搬入模块51、一台或多台成形模块52以及一台树脂材料供给模块53。成形对象物搬出搬入模块51是将成形对象物S从外部搬入，并且将树脂成形品PM搬出至外部的装置，且具有成形对象物接收部511及树脂成形品保持部512。关于成形模块52，每一个均具备一组所述树脂成形装置10。图11中示出了三台成形模块52，但在树脂成形单元50中可设置任意台数的成形模块52。另外，即便在已组成树脂成形单元50并开始使用后，也可增减成形模块52。树脂材料供给模块53具有树脂材料供给装置531，所述树脂材料供给装置531将用于树脂成形的树脂材料供给至用以从树脂材料供给模块53转移至成形模块52的树脂材料转移托盘58。

在树脂成形单元50中以贯穿成形对象物搬出搬入模块51、一台或多台成形模块52及树脂材料供给模块53的方式，设置有对成形对象物S、树脂材料转移托盘58及树脂成形品进行搬送的主搬送装置56。另外，在各模块内，在主搬送装置56与所述模块内的装置之间设置有对成形对象物S、树脂材料转移托盘58及树脂成形品PM进行搬送的副搬送装置57。

在使用搬送部17将上模脱模膜FU搬送至上模151与下模152之间的情况下，将长条的上模脱模膜FU配设在各成形模块52内所设置的上模脱模膜铺设装置17的第1卷轴171，并且将缠绕用的空芯配设在第2卷轴172，将已使用的上模脱模膜FU缠绕在第2卷轴172。另一方面，在将已切断的上模脱模膜搬送至上模151与下模152之间的情况下，使用主搬送装置56及副搬送装置57，将上模脱模膜从成形对象物搬出搬入模块51供给至各成形模块52，并且将已使用的上模脱模膜转移至树脂材料供给模块53。

此外，树脂成形单元50具有用以使所述各模块动作的电源及控制部(均未图示)。

以下，对树脂成形单元50的动作进行说明。成形对象物S由作业者保持于成形对象物搬出搬入模块51的成形对象物接收部511。另外，上模脱模膜FU由作业者以所述方式配设在上模脱模膜铺设装置17。

首先，在成形模块52中的一台模块上，利用树脂成形装置10的搬送部17将上模脱模膜FU搬送至上模151与下模152之间。另外，利用下模脱模膜FD覆盖腔室C的内表面。接着，利用主搬送装置56及副搬送装置57，将成形对象物S从成形对象物接收部511搬送至位于成形模块52中的一台模块中的树脂成形装置10，并配置在所述树脂成形装置10的保持部16的正下方。而且，如上所述使成形对象物S保持于保持部16。继而，将树脂材料从树脂材料供给装置531供给至树脂材料转移托盘58，利用主搬送装置56及副搬送装置57，使树脂材料转移托盘58移动至使成形对象物S保持于保持部16的成形模块52，并从树脂材料转移托盘58将树脂材料P供给至所述成形模块52的下模152的腔室C。

其后，在已将树脂材料P供给至腔室C的成形模块52中，将上模151与下模152合模来进行树脂成形。在所述树脂成形期间，对其他成形模块52进行脱模膜的铺设、成形对象物S的安装及树脂材料对于腔室C的供给，由此做好利用所述成形模块52进行树脂成形的准备。

在一台成形模块52的树脂成形装置10内，树脂材料P硬化后，将上模151与下模152开模，使树脂成形品PM从腔室C脱模。进而，将树脂成形品PM从保持部16取下，利用主搬送装置56及副搬送装置57，将树脂成形品PM搬送至成形对象物搬出搬入模块53的树脂成形品保持部512。作业者适当地将树脂成形品PM从树脂成形品保持部512取出。