一种物料真空生产系统的制作方法

文档序号:11909890阅读:379来源:国知局

本发明涉及一种真空热压烧结炉,特别是一种物料真空生产系统。



背景技术:

随着微电子技术的进步,微加工工艺的特征线宽已达亚微米级,一块陶瓷基片上可以集成106~109个以上元件,电路工作的速度越来越快、频率越来越高,这对陶瓷基片材料的性能提出了更高的要求。作为混合集成电路(HIC)和多芯片组件(MCM)的关键材料之一,陶瓷基片占其总成本的60%左右。陶瓷基片发展的总方向是低介电常数、高热导率和低成本化。

目前我国生产陶瓷基片一般工艺流程依次为:球磨、真空除泡、流延成型、排胶、烧结。作为生产陶瓷基片的关键设备,真空热压烧结机是必不可少的。

我国的真空热压烧结炉的结构均单室结构,因此不能实现连续烧结。在每次烧结完毕后就必须充气来实现加热室的快速降温,这样方可取出工件,这样冷却时需消耗大量氮气,所以这样做一方面是浪费氮气,另一方面是冷却时间的延长,不利于大批量生产。再有就是每台真空热压烧结机上都必须装有冷却系统,这种结构不仅比较复杂,操作起来不方便,还增加了设备的制造成本,使得设备自身价格昂贵,降低了设备自身的市场竞争力。



技术实现要素:

本发明要解决的技术问题是提供一种结构简单、操作方便的物料真空生产系统。

为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:一种物料真空生产系统,主要包括炉体,炉体内有烧结室,其创新点在于:所述烧结室可移出烧结炉炉体,烧结室外壳上有接口于炉体控制系统连接。

在此基础上:所述烧结室内装有加热系统。

在此基础上:所述加热系统采用电阻式加热方式。

在此基础上:所述烧结室外壳上有观察窗。

在此基础上:所述烧结室内有温控装置。

在此基础上:所述烧结室的四个角上装有万向轮,轮子上自带制动装置。

本发明的有益效果是:

1)结构简单、操作方便,提高了生产率。

2)省去了冷却装置,降低了能耗。

3)降低了设备制造成本,提高了市场竞争力。

附图说明

图1为本发明物料真空生产系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明的技术方案作详细说明。

如图1所示的,一种物料真空生产系统,主要包括炉体1,炉体通过接线口7与烧结室2相连,进而达到控制烧结室2的目的,这种分体式布局,方便烧结室2的拆装,当产品烧制好后,可以把该烧结室拆掉,快速换成另外一烧结室,继续生产,不用对烧制好的产品进行冷却,这就有效的保证了生产产品的连续性,大大提高了企业的生产能力。把烧制好的产品不用冷却装置进行冷却,以免由于骤冷使产品出现开裂等现象,通过自然冷却,保证了产品的质量。烧结室2内装有加热管3和热电偶6,来对烧结室2进行加热和温度控制,有效的保证了烧结室2的温度不会出现大的波动。烧结室2的外壳上有接线口7,还有观察窗4,便于观察室内的情况。烧结室2的四个角都装有自带制动装置的万向轮5,这样方便烧结室2移动。

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