1.一种钽阳极块正压烧结装置,所述的装置包括烧结炉体、真空系统、温控系统、冷却水循环系统,其特征在于,还含有氩气保护系统;
所述的氩气保护系统含有位于烧结炉体上的氩气进气口和氩气排气口;
所述的冷却水循环系统包含内水冷保护系统和外水冷保护系统;所述的外水冷保护系统位于烧结炉体外,内水冷保护系统位于烧结炉体内;
所述烧结炉体上方为烧结炉盖,烧结炉盖下方为真空炉内室,真空炉内室下方为机架;
所述烧结炉盖通过夹紧装置固定在真空炉内室上;
所述烧结炉内室从外到里依次含有内水冷保护系统、内壳钽隔热屏、钽加热框和吊篮;
所述的机架上设置有流量计。
2.根据权利要求1所述的烧结装置,所述的氩气保护系统还含有负压缓冲装置,所述的负压缓冲装置与氩气排气口连通;所述的负压缓冲装置含有密闭缓冲空瓶和与密闭缓冲瓶相连的敞口瓶;进一步地,密闭缓冲空瓶容积≥自来水敞口瓶容积。
3.根据权利要求1所述的烧结装置,其特征在于,所述的真空系统含有位于烧结炉体的真空炉内室下方的真空抽空管,以及位于真空抽空管上的真空规管、气压双压表。
4.根据权利要求3所述的烧结装置,其特征在于,所述的氩气进气口位于真空抽空管上。
5.根据权利要求1所述的烧结装置,其特征在于,所述的氩气排气口位于烧结炉体进出料口法兰下方50mm处。
6.根据权利要求3所述的烧结装置,其特征在于,所述温控系统含有热电偶接头、热电偶。
7.根据权利要求6所述的烧结装置,其特征在于,所述的热电偶接头位于真空抽空管上方;
所述的热电偶的探头穿过钽加热框侧面,置于距离环形钽加热框内壁约1cm处。
8.根据权利要求1所述的烧结装置,其特征在于还含有配电系统和控制柜。
9.一种钽阳极块正压烧结的方法,其特征在于包括以下步骤:
(1)将压坯成形的钽阳极块置入烧结炉体内;
(2)采用真空泵对烧结炉体进行抽真空置换;
(3)对烧结炉体通高纯氩气;
(4)将钽阳极块在预设定的温度下进行高温烧结;
(5)在流动高纯氩气下降温至35℃或以下出炉。
10.根据权利要9所述的钽阳极块正压烧结的方法,其特征在于:
步骤(1)中钽阳极块所用钽粉比容为17000μFV/g~70000μFV/g;
步骤(2)中真空度≤5.0×10-2Pa;
步骤(3)中炉内压力在+0.01Mpa~+0.03Mpa;
步骤(4)中温度为1100℃~1600℃;
步骤(4)中烧结时间为5min~30min;
高纯氩气的纯度为99.999%。