过滤器的制作方法

本发明涉及一种过滤器，在用于对半导体元件、精密材料等进行干燥、烧成等的清洁烤箱中使用。

背景技术

以往，如专利文献1所示，在清洁烤箱中，设置有去除细小的灰尘(颗粒)的hepa过滤器。

在此，如专利文献2所示，由于hepa过滤器由玻璃纤维、陶瓷纤维而制成滤材，因此，会因温度变化而产生灰尘，从而存在向清洁烤箱的热处理室带入颗粒这样的技术问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2005-156089号公报

专利文献2：日本专利特开平5-208112号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

此外，在专利文献2中，公开了为了抑制温度变化，设置专用的加热器。但是，存在设备大规模、成本增加这样的技术问题。

因此，本发明的目的在于提供一种能抑制成本增加并使带入热处理室内的颗粒量降低、应用于清洁烤箱的过滤器。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明是一种金属制的过滤器，设于使气体循环并对工件进行热处理的清洁烤箱，其特征在于，包括：

顶部，上述顶部朝供被热处理的工件配置的热处理室侧突出；以及

侧部，上述侧部与上述顶部连续形成。

根据上述结构，通过采用金属制的过滤器，从而能抑制过滤器产生灰尘，能降低带入热处理室内的颗粒量。此外，若欲利用金属制的过滤器来提高颗粒的捕集效率，则会因过滤器使压力损失增大，但过滤器包括顶部以及与顶部连续形成的侧部，从而能增加气体的流通面积，因此能采用捕集效率提高了的金属制过滤器。其结果是，无需对设有专利文献2所示的加热器等这样的设备进行大规模地改变，能提供一种抑制成本增加的清洁烤箱。

此外，较为理想的是，本发明还包括以下结构。

(1)上述顶部和上述侧部各自包括金属制的过滤构件和金属制的框架构件，具有板状，

上述框架构件通过焊接安装于上述过滤构件的外周。

(2)上述侧部从上述顶部的外周整体连续形成。

(3)在上述侧部的端部形成有凸缘部。

(4)上述顶部具有板状的过滤构件沿气流方向翻折的翻折形状。

根据上述结构(1)，顶部和侧部具有板状，作为板便于安装，从而便于滤器的组装。此外，由于过滤构件和框架构件均由金属构成，因此，能抑制由热膨胀差引起的过滤构件的松弛。此外，更为理想的是，过滤构件和框架构件是相同材质(例如是不锈钢)，热膨胀率相同。此外，过滤构件由金属形成，通过焊接安装有框架构件，因此，能防止过滤构件与框架构件之间的连结部处发生泄漏、产生灰尘。

根据上述结构(2)，侧部从顶部的外周部整体连续形成，其结果是，利用顶部和侧部形成立体形状，从而能容易地对过滤器进行操作、安装。

根据上述结构(3)，由于在侧部形成有凸缘部，因此，能容易地将侧部安装于清洁烤箱的内部框架。

根据上述结构(4)，顶部具有翻折形状，从而能进一步增加气体的流通面积，能采用捕集效率提高了的金属制过滤器。

发明效果

总之，本发明能提供一种可以抑制成本增加并使带入热处理室内的颗粒量降低、应用于清洁烤箱的过滤器。

附图说明

图1是本发明实施方式的清洁烤箱的示意结构图。

图2是过滤器的示意立体图。

图3a是顶部的示意图。

图3b是图3a的iii-iii线剖视图。

图4是表示过滤器的变形例的示意立体图。

图5是表示过滤器的变形例的示意立体图。

图6是表示过滤器的变形例的示意立体图。

图7是表示过滤器的变形例的清洁烤箱的示意立体图。

图8是图7的过滤器的立体图。

图9是图8的ix向视透视图。

图10是图8的x向视透视图。

图11是表示过滤器的变形例的示意立体图。

图12是设置有金属制的过滤器和hepa过滤器这两种过滤器的清洁烤箱的示意结构图。

具体实施方式

(整体结构)

图1是本发明实施方式的清洁烤箱10的示意结构图。如图1所示，清洁烤箱10包括：热处理室2，上述热处理室2供热处理的工件w配置，具有供气体流入的气体入口21和供气体流出的气体出口22；过滤器4，上述过滤器4通过焊接安装于形成气体入口21的内部框架23；过滤器前空间5，上述过滤器前空间5供通过过滤器4前的气体积存；以及循环流路6，上述循环流路6将从气体出口22流出的气体送至过滤器前空间5。在图1中，气体的流动由空心箭头示出。

图2是过滤器4的示意立体图。如图1和图2所示，过滤器4包括：顶部41，上述顶部41朝热处理室2侧突出；以及侧部42～45，上述侧部42～45从顶部41的外周部整体连续形成。

图3a是顶部41的示意图。如图3a所示，顶部41具有矩形板状，包括金属制的过滤构件41a和金属制的框架构件41b。如图3b所示，框架构件41b通过焊接安装于过滤构件41a的外周。

侧部42～45与顶部41相同，均具有矩形板状，包括金属制的过滤构件以及通过焊接安装于过滤构件的外周的框架构件。另外，侧部42～45从顶部41的框架构件41b连续形成。在此，所谓连续，也包括通过焊接、紧固构件接合并一体化的情况。此外，过滤器4整体具有长方体形状。

清洁烤箱10进行下述动作。

首先，打开并关闭清洁烤箱10的门(未图示)，将工件w配置于热处理室2内的规定位置。接着，使加热器和风扇(未图示)运转，利用风扇使经过加热器加热的气体通过过滤器4并净化，然后使经过加热器加热的气体穿过气体入口21，送至热处理室2。另外，气体是填充于清洁烤箱10内的气体，可以是空气、氮气等任意气体。此外，在此，作为工件w，是由示意图示出的平放于架状的盒的玻璃基板，但可以是任意构件。另外，在图1中，气体的流动由空心箭头示出。

在热处理室2中，经过加热的气体对配置的工件w进行加热。在气体出口22中，对工件w进行了加热的气体在循环流路6流动。循环流路6内的气体向过滤器前空间5流动，再次通过过滤器4并被净化，然后穿过气体入口21而流入热处理室2。

根据上述结构的清洁烤箱10，能起到下述效果。

(1)由于过滤器4是金属制的过滤器，因此，即使温度变化也不会像hepa过滤器那样产生灰尘，能使带入热处理室内的颗粒量降低。

(2)若欲利用金属制的过滤器4提高颗粒的捕集效率，则会因过滤器使压力损失增大，但过滤器4包括顶部41以及与顶部41连续形成的侧部42～45，从而能增加气体的流通面积，能采用捕集效率提高了的金属制过滤器4。其结果是，无需对设有专利文献2所示的加热器等这样的设备进行大规模地改变，能提供一种抑制成本增加的清洁烤箱10。

(3)顶部41和侧部42～45具有板状，作为板便于安装，从而便于滤器4的组装。此外，由于过滤构件41a和框架构件41b均由金属形成，因此，能抑制由热膨胀差引起的过滤构件41a的松弛。此外，过滤构件41a由金属形成，通过焊接安装有框架构件41b，因此，能防止过滤构件41a与框架构件41b之间的连结部处发生泄漏、产生灰尘。

(4)侧部42～45从顶部41的外周部整体连续形成，其结果是，通过顶部41和侧部42～45形成立体形状，从而能容易地对过滤器4进行操作、安装。

在上述实施方式中，过滤器4的顶部41和侧部42～45是矩形，过滤器4整体具有长方体形状，如图4所示，也可以是：过滤器4的顶部411是圆板形状，侧部412从顶部411的外周部整体连续形成并具有圆弧形状，过滤器4整体具有圆柱形状。

在上述实施方式中，过滤器4的侧部42～45具有矩形板状，如图5所示，也可以在侧部42～45的端部形成凸缘部42c～45c。由于具有上述结构，因此，利用凸缘部42c～45c能容易地将侧部42～45安装于清洁烤箱10的内部框架23。此外，在不是通过焊接将凸缘部安装于内部框架的情况下，通过在凸缘部与内部框架之间夹设密封垫，从而能提高凸缘部与内部框架之间的密封性。

另外，凸缘部42c～45c从侧部42～45的端部朝外侧突出而形成，但凸缘部也可以从侧部的端部朝内侧突出而形成。此外，如图6所示，凸缘部也可以应用于过滤器4整体具有圆柱形状的情况，凸缘部412c从侧部412的端部朝外侧突出而形成。此外，形成为圆柱形状的过滤器4的凸缘部也可以与长方体形状的情况相同，从侧部412的端部朝内侧突出而形成。

此外，图7是表示过滤器4的变形例的清洁烤箱的示意结构图。图8是图7的过滤器4的立体图，图9是图8的ix向透视图，图10是图8的x向透视图。如图7～图10所示，顶部413具有板状的过滤构件沿气流方向翻折的翻折形状。顶部413具有翻折形状，从而能进一步增加气体的流通面积，能采用捕集效率提高了的金属制过滤器。

另外，在与顶部413的翻折形状正交的位置相对的两个侧部431、451可以不是过滤构件，而由金属制的板材构成，其它的相对的两个侧部421、441构成为与顶部413连续。此外，顶部413与侧部431、451由焊接接合。

侧部431、451由板材构成，即便将顶部413形成为翻折形状也能利用侧部431、451对顶部413进行支承，能提高过滤器4的结构强度。此外，对顶部413与侧部431、451进行焊接，从而能防止顶部413与侧部431、451之间的泄漏，此外，能防止从顶部413与侧部431、451之间的接合部产生颗粒。此外，如图11所示，为了增加气体的流通面积，可以对板进行加工，使顶部41和/或侧部42～45的过滤构件41a的表面形成凹凸状。

在上述实施方式中，作为过滤器，清洁烤箱10仅具有金属制的过滤器，但也可以具有金属制的过滤器和hepa过滤器这两种过滤器。图12是设置有金属制的过滤器和hepa过滤器这两种过滤器的清洁烤箱的示意结构图。

如图12所示，在金属制的过滤器4的气流的上游侧，配置作为hepa过滤器的过滤器9。过滤器9通过密封构件3固定于清洁烤箱10的内部框架24。在清洁烤箱10的内部空间中，密封构件3比过滤器4与内部框架23的焊接部4a靠内方侧。内部框架24位于内部框架23的气流的上游侧，比内部框架23朝内方侧突出。密封构件3例如是由丁氰橡胶、硅橡胶、氟橡胶等橡胶构件形成的o形环、密封构件(密封垫)。由过滤器9的灰尘产生的颗粒被过滤器4捕集。这样，在设置有金属制的过滤器4和hepa过滤器的过滤器9这两种过滤器的情况下，为了能捕集来自hepa过滤器的颗粒，较为理想的是将过滤器4配置于过滤器9的气流的下游侧。

在不脱离权利要求书所记载的本发明的精神和范围的前提下，能进行各种变形及变更。

工业上的可利用性

在本发明中，能提供一种可以抑制成本增加并使带入热处理室内的颗粒量降低、应用于清洁烤箱的过滤器，因此，在工业上的利用价值很大。

符号说明

2热处理室

21气体入口22气体出口23内部框架24内部框架

3密封构件

4过滤器4a焊接部

41顶部42～45侧部

41a过滤构件41b框架构件

411顶部412侧部413顶部

421侧部431侧部441侧部451侧部

42c～45c凸缘部

412c凸缘部

5过滤器前空间

6循环流路

9过滤器

10清洁烤箱

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