一种用于铸管退火炉的冷却装置的制作方法

本实用新型涉及铸管退火炉技术领域，具体为一种用于铸管退火炉的冷却装置。

背景技术：

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

一般用于退火炉的冷却装置结构比较简单，只是将外界的冷空气注入到退火炉的内部，以此来降低退火炉内部的温度，但是此种方法冷却效果较差，达不到冷却的效果。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于铸管退火炉的冷却装置，以解决上述背景技术中提出的目前市场上退火炉的冷却装置结构比较简单，只是将外界的冷空气注入到退火炉的内部，以此来降低退火炉内部的温度，但是此种方法冷却效果较差，达不到冷却的效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于铸管退火炉的冷却装置，包括防护壳，所述防护壳内部安装有固定架，且防护壳顶端连接有出气管，所述固定架内侧固定有第一风机，且第一风机右侧连接有冷凝箱，所述冷凝箱下端固定有第二连接管，且冷凝箱右侧安装有连接件，所述出气管内部固定有第二风机，且出气管下端连接有连接管，所述连接管外部固定有进气管，且进气管外部设置有退火炉体，所述第二连接管下端连接有水泵，且水泵左侧固定有第一连接管，所述连接件右侧安装有导气管。

优选的，所述冷凝箱包括冷凝箱主体、出液管、导气道和进液管，且冷凝箱主体左侧固定有出液管，冷凝箱主体内部安装有导气道，冷凝箱主体右侧设置有进液管。

优选的，所述冷凝箱主体远进液管端为棱台形凹槽结构，且导气道均匀分布在冷凝箱主体的内部，并且冷凝箱主体内部为中空结构。

优选的，所述进气管外部为棱台形结构，且其近连接管端面积小于远连接管端面积，并且连接管外部形状为“L”型。

优选的，所述导气管内部为六边形状穿孔结构，且其中心点与连接件的中心线处于同一条直线上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该用于铸管退火炉的冷却装置设有导气结构，可以有效的将退火炉内部的高温气体导出，提高冷却的效果，而且该装置可以有效的对进入到退火炉内部的空气进行降温，使空气的温度处于比较低的状态，提高该装置的冷却效果。该装置的冷凝箱可以对空气进行降温，使空气的温度处于比较低的状态，这样低温的空气在进入到退火炉体内部后，可以有效的对退火炉体内部进行降温的工作，而且进气管远连接管端面积比较大，这样可以快速的将退火炉体内部的热空气导入到连接管的内部，而连接管会将热空气通过出气管排出，使退火炉体内部的热空气可以快速减少，提高该装置的冷却效果。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型连接件与导气管连接结构示意图；

图3为本实用新型冷凝箱结构示意图。

图中：1、防护壳，2、固定架，3、第一风机，4、冷凝箱，401、冷凝箱主体，402、出液管，403、导气道，404、进液管，5、出气管，6、第二风机，7、连接管，8、进气管，9、退火炉体，10、第一连接管，11、水泵，12、第二连接管，13、连接件，14、导气管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于铸管退火炉的冷却装置，包括防护壳1，防护壳1内部安装有固定架2，且防护壳1顶端连接有出气管5，固定架2内侧固定有第一风机3，且第一风机3右侧连接有冷凝箱4，冷凝箱4下端固定有第二连接管12，且冷凝箱4右侧安装有连接件13，冷凝箱4包括冷凝箱主体401、出液管402、导气道403和进液管404，且冷凝箱主体401左侧固定有出液管402，冷凝箱主体401内部安装有导气道403，冷凝箱主体401右侧设置有进液管404，此结构的冷凝箱4可以对进入到退火炉体9内部的空气进行降温，使空气的温度处于比较低的状态，提高该装置的冷却效果，冷凝箱主体401远进液管404端为棱台形凹槽结构，且导气道403均匀分布在冷凝箱主体401的内部，并且冷凝箱主体401内部为中空结构，此结构的冷凝箱主体401上的凹槽结构可以容纳更多的空气，这样空气会更多的进入到导气道403的内部，空气在导气道403内部接触到冷凝箱主体401，冷凝箱主体401内部的冷却水会吸收空气的热量，将空气的温度降低，提高该装置的冷却效果，出气管5内部固定有第二风机6，且出气管5下端连接有连接管7，连接管7外部固定有进气管8，且进气管8外部设置有退火炉体9，进气管8外部为棱台形结构，且其近连接管7端面积小于远连接管7端面积，并且连接管7外部形状为“L”型，此结构的进气管8可以将退火炉体9内部的热空气导入到连接管7的内部，而“L”型的连接管7可以将热空气朝上排出，防止热空气在排出时将工作人员灼伤，提高安全性，第二连接管12下端连接有水泵11，且水泵11左侧固定有第一连接管10，连接件13右侧安装有导气管14，导气管14内部为六边形状穿孔结构，且其中心点与连接件13的中心线处于同一条直线上，此结构的导气管14结构比较牢固，可以稳定的伸入到退火炉体9的内部，可以快速的将空气导入到退火炉体9的内部，以此来提高冷却效果。

工作原理：在使用该用于铸管退火炉的冷却装置时，先打开退火炉体9，然后移动防护壳1，使防护壳1上的进气管8和导气管14进入到退火炉体9的内部，之后再启动第一风机3、第二风机6和水泵11，水泵11通过第一连接管10将外界的冷却水吸入，然后水泵11再将吸入的冷却水通过第二连接管12导入到进液管404的内部，这样将冷却水导入到冷凝箱主体401的内部，这样冷却水会将冷凝箱主体401上的热量吸收掉，使冷凝箱主体401处于温度比较低的状态，然后冷凝箱主体401内部的冷却水再通过出液管402排出，同时第一风机3会将外界的空气导入到冷凝箱4内部，然后空气会进入到导气道403内，这样温度比较低的冷凝箱主体401会将导气道403内部空气的热量吸收掉，对导气道403内部的空气进行降温，然后温度比较低的空气再通过冷凝箱4进入到连接件13的内部，再从连接件13进入到导气管14的内部，最后通过导气管14上的穿孔进入到退火炉体9的内部，对退火炉体9进行冷却，而第二风机6在工作的过程中，会加快出气管5的排气效果，这样通过连接管7和进气管8快速的将退火炉体9内部的热空气排出，通过热空气的排出和冷空气的导入，提高该装置的冷却效果，使退火炉体9内部的温度可以快速降低下来，方便后续的其他工作，从而完成一系列的工作。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。