微通道与纳米棒阵列的复合结构的制作方法

文档序号:17927706发布日期:2019-06-15 00:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微通道与纳米棒阵列的复合结构,包括:

微通道结构,设置在基板上,用于提供高渗透率;以及

纳米棒阵列结构,设置在所述微通道结构的表面,用于提高所述微通道结构的毛细压力;

其中,所述微通道结构中的微通道包括N条,N条所述微通道并列设置,N≥1。

2.根据权利要求1所述的微通道与纳米棒阵列的复合结构,所述纳米棒阵列结构中:纳米棒的直径介于5nm至900nm之间,所述纳米棒的长度介于100nm至50μm之间。

3.根据权利要求1所述的微通道与纳米棒阵列的复合结构,所述微通道的横截面为矩形、梯形、三角形或圆弧形。

4.根据权利要求1所述的微通道与纳米棒阵列的复合结构,其中:

所述微通道的宽度介于10μm至950μm之间;

所述微通道的深度介于10μm至2000μm之间;

两相邻所述微通道的间距介于20μm至2000μm之间。

5.根据权利要求1所述的微通道与纳米棒阵列的复合结构,所述基板为铝、铝合金、铜、铜合金、半导体、陶瓷或氧化物中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的微通道与纳米棒阵列的复合结构,所述纳米棒阵列结构为铝纳米棒阵列结构、铝化合物纳米棒阵列结构、铜纳米棒阵列结构、铜化合物纳米棒阵列结构、半导体纳米棒阵列结构、陶瓷纳米棒阵列结构或氧化物纳米棒阵列结构中的至少一种。

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