挡辐射板及扩散炉的制作方法

本实用新型涉及涉及扩散炉制造领域，特别是涉及一种挡辐射板及扩散炉。

背景技术：

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

扩散炉包括炉腔、连接在炉腔端口的密封组件，通常还会在炉腔内设置挡辐射板。但是现有的挡辐射板存在以下问题：

1、在扩散炉通入腐蚀性气体时，会与气体反应，造成烘烤器件污染。

、采用石英材质的挡辐射板，使用时发现在烘烤时阻挡的辐射热太少，不能将加热丝散发出来的热量挡住，导致热量辐射到扩散炉的密封组件上，引起密封组件严重老化，对密封件造成影响达不到密封要求。

技术实现要素：

本实用新型的一个目的是提供一种挡辐射板。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种挡辐射板，包括挡辐射板本体，所述的挡辐射板本体上开设有贯穿其两面的主排气口，所述的挡辐射板本体包括填充层、包覆在所述的填充层外部的包覆层，所述的填充层的材质为石英棉。

优选地，所述的包覆层的材质为石英。

优选地，所述的包覆层表面开设有安全排气口。

优选地，所述的挡辐射板本体的两面均设置有凸出的支脚。

进一步优选地，所述的支脚的周面与所述的挡辐射板本体的周面位于同一个面，且位于两面所述的支脚对称设置。

进一步优选地，所述的支脚包括位于所述的主排气口上方的上支脚、位于所述的主排气口下方的下支脚，所述的上支脚、下支脚设置有多个。

优选地，所述的主排气口沿所述的挡辐射板本体的一面延伸有管部。

进一步优选地，所述的管部的材质为石英。

优选地，所述的主排气口开设在所述的挡辐射板本体的中心。

本实用新型的另一个目的是提供一种扩散炉。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种扩散炉，包括石英管、连接在所述的石英管至少一端的密封组件，所述的扩散炉还包括设置在所述的石英管内靠近所述的密封组件的挡辐射板。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型通过包覆石英棉的挡辐射板能够有效阻挡烤时的辐射热，延长了密封组件的使用寿命；同时挡辐射板不会与烘烤气体发生反应，保证了烘烤器件的质量。

附图说明

附图1为本实施例中防辐射板的立体图；

附图2为本实施例中防辐射板的主视图；

附图3为附图2中a-a剖视示意图；

附图4为本实施例中扩散炉的示意图。

其中：1、挡辐射板本体；10、填充层；11、包覆层；110、安全排气口；12、主排气口；120、管部；13、周面；2、支脚；20、周面；21、上支脚；22、下支脚；3、石英管；4、密封组件。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1-3所示的一种挡辐射板，包括挡辐射板本体1，挡辐射板本体1包括填充层10、包覆在填充层10外部的包覆层11，其中：填充层10的材质采用石英棉；包覆层11的材质采用石英。用石英棉的材质可以挡住辐射热，包覆层11表面开设有安全排气口110，防止在烘烤时，石英棉的填充层10因热胀冷缩而导致包覆层11的石英破裂。

挡辐射板本体1上开设有贯穿其两面的主排气口12，主排气口12开设在挡辐射板本体1的中心。在本实施例中：主排气口12沿挡辐射板本体1的一面延伸有管部120，管部的材质为石英。通过主排气口12可以流通烘烤气体。

挡辐射板本体1的两面均设置有凸出的支脚2，支脚2的周面20与挡辐射板本体1的周面13位于同一个面，且位于两面支脚2对称设置。在本实施例中：支脚2包括位于主排气口12上方的上支脚21、位于主排气口12下方的下支脚22，图示的上支脚21、下支脚22在挡辐射板本体1的每一面均设置有两个。支脚2可以防止挡辐射板本体1在腔体中倒下砸坏石英腔体。

如图4所示的一种扩散炉，包括石英管3、连接在石英管1至少一端的密封组件4，在石英管3的管腔内设置挡辐射板，挡辐射板靠近密封组件，从而阻挡腔体的热量向密封组件4进行扩散。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种挡辐射板，其特征在于：包括挡辐射板本体，所述的挡辐射板本体上开设有贯穿其两面的主排气口，所述的挡辐射板本体包括填充层、包覆在所述的填充层外部的包覆层，所述的填充层的材质为石英棉。

2.根据权利要求1所述的挡辐射板，其特征在于：所述的包覆层的材质为石英。

3.根据权利要求1所述的挡辐射板，其特征在于：所述的包覆层表面开设有安全排气口。

4.根据权利要求1所述的挡辐射板，其特征在于：所述的挡辐射板本体的两面均设置有凸出的支脚。

5.根据权利要求4所述的挡辐射板，其特征在于：所述的支脚的周面与所述的挡辐射板本体的周面位于同一个面，且位于两面所述的支脚对称设置。

6.根据权利要求4所述的挡辐射板，其特征在于：所述的支脚包括位于所述的主排气口上方的上支脚、位于所述的主排气口下方的下支脚，所述的上支脚、下支脚设置有多个。

7.根据权利要求1所述的挡辐射板，其特征在于：所述的主排气口沿所述的挡辐射板本体的一面延伸有管部。

8.根据权利要求7所述的挡辐射板，其特征在于：所述的管部的材质为石英。

9.根据权利要求1所述的挡辐射板，其特征在于：所述的主排气口开设在所述的挡辐射板本体的中心。

10.一种扩散炉，包括石英管、连接在所述的石英管至少一端的密封组件，其特征在于：所述的扩散炉还包括设置在所述的石英管内靠近所述的密封组件的挡辐射板，所述的挡辐射板为权利要求1至9中任意一项权利要求所述的挡辐射板。

技术总结
本实用新型涉及一种挡辐射板，包括挡辐射板本体，所述的挡辐射板本体上开设有贯穿其两面的主排气口，所述的挡辐射板本体包括填充层、包覆在所述的填充层外部的包覆层，所述的填充层的材质为石英棉。一种扩散炉，包括石英管、连接在所述的石英管至少一端的密封组件，所述的扩散炉还包括设置在所述的石英管内靠近所述的密封组件的挡辐射板。本实用新型通过包覆石英棉的挡辐射板能够有效阻挡烤时的辐射热，延长了密封组件的使用寿命；同时挡辐射板不会与烘烤气体发生反应，保证了烘烤器件的质量。

技术研发人员：曹文;朱廷刚;胡小龙
受保护的技术使用者：江苏能华微电子科技发展有限公司
技术研发日：2019.10.24
技术公布日：2020.05.22