一种槽盖热风循环烘箱的制作方法

本实用新型涉及光伏用硅片加工技术领域，尤其涉及一种槽盖热风循环烘箱。

背景技术：

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

在硅片的烘干作业中，由于硅片又脆又薄，原有的热风循环烘箱内各个地方出风不均匀，使得吹向硅片的风不均匀，有的地方风力大有的地方风力小，导致有的硅片烘不干，有的硅片被循环风吹碎。

技术实现要素：

本实用新型实施例的目的在于提供一种槽盖热风循环烘箱，旨在解决背景技术中提出的技术问题。

本实用新型实施例是这样实现的，一种槽盖热风循环烘箱，包括：

烘箱外壳，其内设有隔板，将所述烘箱外壳分隔成烘干腔和风道，烘箱外壳上设有与所述风道连通的槽盖，所述风道内安装有加热装置，槽盖上设有若干出风口，所述出风口与所述烘干腔位置相对；

硅片定位装置，设置在所述烘箱外壳的烘干腔内，用于对硅片进行装夹定位；以及

风循环装置，用于使热风在所述烘干腔和风道之间循环运动。

作为本实用新型进一步的方案：所述硅片定位装置上设有万向夹装件，所述万向夹装件用于插放所述硅片，且调节所述硅片，使得硅片所在平面与热风出风方向保持平行。

作为本实用新型再进一步的方案：所述万向夹装件包括底座、万向球座和万向球，所述万向球座通过底座安装在所述硅片定位装置上，万向球与所述万向球座活动配合，所述万向球上开设有定位槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述硅片定位装置固定在所述放置板上，所述放置板上设有若干开孔，放置板与所述烘箱外壳抽拉配合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述放置板的出风端处连接有回风滤网，所述回风滤网稳定风场，使进入到所述风循环装置的风力保持稳定。

作为本实用新型再进一步的方案：所述风循环装置包括扇叶和电机，所述扇叶处于风道与所述烘干腔的连接处，所述扇叶由电机驱动转动。

作为本实用新型再进一步的方案：所述隔板在靠近所述槽盖的位置还开设有若干副出风口，所述副出风口的出风量小于所述出风口的出风量。

作为本实用新型再进一步的方案：还包括控制装置，所述控制装置与加热装置和风循环装置连接，用于控制所述加热装置和所述风循环装置连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：空气经过加热装置的加热之后进入到槽盖内，热风从槽盖上设置的出风口均匀的进入到烘干腔内，并且热风的出风方向与硅片的所在平面保持平行，且能根据气流角度对硅片的角度进行调整，不易造成硅片被吹碎的情况，热风将硅片上的水分烘干后，再经过风循环装置进入到风道内被加热装置所加热，硅片烘干效率高，碎片率低。

附图说明

图1为一种槽盖热风循环烘箱的结构示意图。

图2为一种槽盖热风循环烘箱中万向夹装件的结构示意图。

附图中：1-烘箱外壳、2-烘干腔、3-槽盖、4-隔板、5-扇叶、6-电机、7-风道、8-加热装置、9-放置板、10-硅片定位装置（花篮）、11-万向夹装件、111-底座、112-万向球座、113-万向球、114-定位槽、12-硅片、13-出风口、14-回风滤网。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

以下结合具体实施例对本实用新型的具体实现进行详细描述。

如图1所示，为本实用新型一个实施例提供的一种槽盖热风循环烘箱的结构图，包括烘箱外壳1、硅片定位装置10和风循环装置，所述烘箱外壳1内设有隔板4，将所述烘箱外壳1分隔成烘干腔2和风道7，烘箱外壳1上设有与所述风道7连通的槽盖3，所述风道7内安装有加热装置8，槽盖3上设有若干出风口13，所述出风口13与所述烘干腔2位置相对，即出风方向与硅片12的所在平面平行；所述硅片定位装置10设置在所述烘箱外壳1的烘干腔2内，用于对硅片12进行装夹定位；所述风循环装置，用于使热风在所述烘干腔2和风道7之间循环运动。

在实际应用时，空气经过加热装置8的加热之后进入到槽盖3内，此处，所述的加热装置8可以为加热管、电热丝等，在此不进行具体的限定，热风从槽盖3上设置的出风口13均匀的进入到烘干腔2内，并且，热风的出风方向与硅片12的所在平面保持平行，不易造成硅片12被吹碎的情况，热风将硅片12上的水分烘干后，再经过风循环装置进入到风道7内被加热装置8所加热。

如图1～2所示，作为本实用新型一个优选的实施例，所述硅片定位装置10上设有万向夹装件11，所述万向夹装件11用于插放所述硅片12，且调节所述硅片12，使得硅片12所在平面与热风出风方向保持平行。

由于在正常情况在，热风气流易出现紊乱的状况，导致硅片12和气流之间易存在相对角度，而通过设置的万向夹装件11，其能根据气流角度对硅片12的角度进行调整，避免硅片12出现被吹碎的问题。

如图1～2所示，作为本实用新型另一个优选的实施例，所述万向夹装件11包括底座111、万向球座112和万向球113，所述万向球座112通过底座111安装在所述硅片定位装置10上，万向球113与所述万向球座112活动配合，所述万向球113上开设有定位槽114。

一般情况来说，一个硅片12的两侧均设有若干万向夹装件11，因为硅片12发生运动时，硅片12与万向球113的接触处易发生破碎，所以，万向球113优选使用相对柔软、具有弹性的塑料制成。

如图1所示，作为本实用新型另一个优选的实施例，所述硅片定位装置10固定在所述放置板9上，所述放置板9上设有若干开孔，放置板9与所述烘箱外壳1抽拉配合。

放置板9与所述烘箱外壳1采用抽拉配合的方式，使得放置板9与硅片定位装置10能较为方便的从烘箱外壳1抽出，便于更换新的硅片12，当然，烘箱外壳1的对应位置处是设有开口或者箱门的；放置板9上的开孔是为了方便热风顺利的再次进入到风道7内。

如图1所示，作为本实用新型另一个优选的实施例，所述放置板9的出风端处连接有回风滤网14，所述回风滤网14稳定风场，使进入到所述风循环装置的风力保持稳定。

回风滤网14由网孔板焊接而成，回风滤网可以有效避免风循环装置回风的风场紊乱，使吹向硅片12的风更均匀，同时也能对空气进行过滤。

如图1所示，作为本实用新型另一个优选的实施例，所述风循环装置包括扇叶5和电机6，所述扇叶5处于风道7与所述烘干腔2的连接处，所述扇叶5由电机驱动转动。

扇叶5的主要作用是将烘干腔2内的热风（回风）吹入到风道7内进行再次加热，以实现空气的循环流动。

如图1所示，作为本实用新型另一个优选的实施例，所述隔板4在靠近所述槽盖3的位置还开设有若干副出风口，所述副出风口的出风量小于所述出风口13的出风量。即：热风进入到烘干腔2内时，是以出风口13为主，副出风口为辅的。

如图1所示，作为本实用新型另一个优选的实施例，还包括控制装置，所述控制装置与加热装置8和风循环装置连接，用于控制所述加热装置8和所述风循环装置连接。

控制装置可以控制加热装置8和风循环装置的启停，同时也可以控制加热装置8的发热温度和风循环装置中电机的转速。

本实用新型上述实施例提供了一种槽盖热风循环烘箱，空气经过加热装置8的加热之后进入到槽盖3内，热风从槽盖3上设置的出风口13均匀的进入到烘干腔2内，并且热风的出风方向与硅片12的所在平面保持平行，且能根据气流角度对硅片12的角度进行调整，不易造成硅片12被吹碎的情况，热风将硅片12上的水分烘干后，再经过风循环装置进入到风道7内被加热装置8所加热，硅片烘干效率高，碎片率低。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。