一种双腔室石英管结构的制作方法

本实用新型涉及半导体和光伏行业对晶片做低压扩散工艺技术领域，具体为一种双腔室石英管结构。

背景技术：

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。

行业中常规使用的工艺管都是石英工艺管结构形式的单直径工艺管，在工艺过程中的气体反应物会因管口为简单密封方式，同时此处温度高等多种原因，经常是密封不佳，因漏气空气中的氧在管口处产生反应，生成反应物存留，从而造成炉门和管口密封处因为反应物而粘连，更加影响密封效果，且炉口下部堆积大量反应物造成进出晶片不畅，还可以造成对后续晶片的工艺过程因炉口反应物的存留多而污染。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种双腔室石英管结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种双腔室石英管结构，包括石英工艺管、炉门石英腔室、环形法兰、工艺气体进气管、尾排管、炉门腔室进气管和内外双密封炉门，所述石英工艺管的左端设置有炉门石英腔室，所述石英工艺管的左端设置有环形法兰，所述石英工艺管的内部固定安装有工艺气体进气管，所述石英工艺管的右端固定安装有尾排管，所述炉门石英腔室的顶部固定安装有炉门腔室进气管，所述炉门石英腔室的左侧设置有内外双密封炉门。

优选的，所述炉门石英腔室通过环形法兰与石英工艺管的外径通过焊接固定安装。

优选的，所述炉门石英腔室的环形端口进行磨平加工，且与环形法兰平行。

优选的，所述石英工艺管的尾端开设有与工艺气体进气管相适配的安装孔并焊接。

优选的，所述石英工艺管与尾排管连为一体，且相互连通。

优选的，所述炉门石英腔室配套使用设置有保温材料和石英包的内外双密封炉门。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该双腔室石英管结构，通过对常用的工艺管的结构进行改进，使用时通过进气管6对炉门石英腔室内充入惰性气体，压力微高于工艺管1内部的压力，由于压差工艺管1内部工艺气体不能外泄，同时也避免此处氧含量的存在，从而使得该石英管保证在工艺过程中的气体反应物不在管口处存留，炉口清洁，容易与内外双密封炉门的密封状态保持良好，且其结构简单，易于实现，具有广阔的发展空间以及较高的推广价值。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型图1中a处放大图；

图中：1、石英工艺管；2、炉门石英腔室；3、环形法兰；4、工艺气体进气管；5、尾排管；6、炉门腔室进气管；7、内外双密封炉门。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供的一种实施例：一种双腔室石英管结构，包括石英工艺管1、炉门石英腔室2、环形法兰3、工艺气体进气管4、尾排管5、炉门腔室进气管6和内外双密封炉门7，石英工艺管1的左端设置有炉门石英腔室2，炉门石英腔室2与石英工艺管1之间配套使用设置有保温材料和石英包的内外双密封炉门，炉门石英腔室2的环形端口进行磨平加工，且与环形法兰3平行，石英工艺管1的左端设置有环形法兰3，石英工艺管1的内部固定安装有工艺气体进气管4，石英工艺管1的尾端开设有与工艺气体进气管4相适配的安装孔并焊接，石英工艺管1的右端固定安装有尾排管5，石英工艺管1与尾排管5连为一体，且相互连通，炉门石英腔室2的顶部固定安装有炉门腔室进气管6，炉门石英腔室2通过环形法兰3与石英工艺管1的外径通过焊接固定安装，炉门石英腔室2的左侧设置有内外双密封炉门7，该通过对常用的工艺管的结构进行改进，使用时通过进气管6对炉门石英腔室内充入惰性气体，压力微高于工艺管1内部的压力，由于压差工艺管1内部工艺气体不能外泄，同时也避免此处氧含量的存在，使得该石英管保证在工艺过程中的气体反应物不在管口处存留，炉口清洁，容易与内外双密封炉门7的密封状态保持良好，且其结构简单，易于实现，具有广阔的发展空间以及较高的推广价值。

工作原理：炉门石英腔室2其炉口密封面和环形法兰3的炉门腔室内密封面分别与内外双密阀炉门7的密封面很好贴合，则炉门石英腔室2与内外双密封炉门7形成了一个独立的炉门石英腔室2，其通过炉门腔室进气管6(带阀门)通入保护气体，压力微高于石英工艺管1内的工艺气体压力，同时尾排管5(带阀门)一直与抽气系统连接，废气从前向后移动从石英工艺管腔室1排出，由于炉门石英腔室2压力微高于石英工艺管1，同时允许炉门石英腔室2的气体因压力微高于石英工艺管1内应力，而从环形法兰3的炉门腔室内密封面处微泄漏向石英工艺管1微量溢出，则确保工艺过程中的反应物不会向炉口移动，因尾排管5的抽气作用只能向炉尾移动排出，从而保持炉口清洁，无反应物积存。

对于本领域技术人员而言，本实用新型不限于上述示例性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或范围的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，本实用新型的实施例是示例性的，而且是非限制性的。本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

技术特征：

1.一种双腔室石英管结构，包括石英工艺管(1)、炉门石英腔室(2)、环形法兰(3)、工艺气体进气管(4)、尾排管(5)、炉门腔室进气管(6)和内外双密封炉门(7)，其特征在于：所述石英工艺管(1)的左端设置有炉门石英腔室(2)，所述石英工艺管(1)的左端设置有环形法兰(3)，所述石英工艺管(1)的内部固定安装有工艺气体进气管(4)，所述石英工艺管(1)的右端固定安装有尾排管(5)，所述炉门石英腔室(2)的顶部固定安装有炉门腔室进气管(6)，所述炉门石英腔室(2)的左侧设置有内外双密封炉门(7)。

2.根据权利要求1所述的一种双腔室石英管结构，其特征在于：所述炉门石英腔室(2)通过环形法兰(3)与石英工艺管(1)的外径通过焊接固定安装。

3.根据权利要求1所述的一种双腔室石英管结构，其特征在于：所述炉门石英腔室(2)的环形端口进行磨平加工，且与环形法兰(3)平行。

4.根据权利要求1所述的一种双腔室石英管结构，其特征在于：所述石英工艺管(1)的尾端开设有与工艺气体进气管(4)相适配的安装孔并焊接。

5.根据权利要求1所述的一种双腔室石英管结构，其特征在于：所述石英工艺管(1)与尾排管(5)连为一体，且相互连通。

6.根据权利要求1所述的一种双腔室石英管结构，其特征在于：所述炉门石英腔室(2)与石英工艺管(1)之间配套使用设置有保温材料和石英包的内外双密封炉门。

技术总结
本实用新型公开了一种双腔室石英管结构，包括石英工艺管、炉门石英腔室、环形法兰、工艺气体进气管、尾排管、炉门腔室进气管和内外双密封炉门，所述石英工艺管的左端设置有炉门石英腔室，所述石英工艺管的左端设置有环形法兰，所述石英工艺管的内部固定安装有工艺气体进气管，所述石英工艺管的右端固定安装有尾排管，所述炉门石英腔室的顶部固定安装有炉门腔室进气管，所述炉门石英腔室的左侧设置有内外双密封炉门。本实用新型通过对常用的工艺管的结构进行改进使得该石英管保证在工艺过程中的气体反应物不在管口处存留，炉口清洁，容易与内外双密封炉门的密封状态保持良好，且其结构简单，具有广阔的发展空间以及较高的推广价值。

技术研发人员：张海林;滕玉朋
受保护的技术使用者：青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
技术研发日：2020.06.01
技术公布日：2020.12.29