一种ITO玻璃的清洗工艺的制作方法

文档序号:11118302阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种ITO玻璃的清洗工艺,其特征在于:包括以下步骤,1)通过欧姆表测试ITO玻璃,确定ITO玻璃的ITO面,将ITO面向上的装入篮子中;

2)将装有ITO玻璃的篮子放入第一超声清洗槽中,用超声波清洗3-5分钟,所述第一超声清洗槽中的清洗液为洗洁精清洗液;

3)将步骤2清洗完的玻璃放入第二超声清洗槽中,用超声波清洗2-3分钟,所述第二超声清洗槽中的清洗液为PH=8-10的氢氧化钠溶液;

4)将步骤3清洗完后的玻璃放入DI水中用超声波清洗1-2分钟;

5)将步骤4清洗完的玻璃放入纯净的异丙醇液中用超声波脱水2-3分钟;

6)干燥,将步骤5清洗后的玻璃表面的水或者溶液去除。

2.根据权利要求1所述的ITO玻璃的清洗工艺,其特征在于:所述步骤6为用烘箱烤干。

3.根据权利要求1所述的ITO玻璃的清洗工艺,其特征在于:所述步骤6为用纯净风吹干。

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