1.一种坩埚喷淋器的固定装置,包括清洗台(1),所述清洗台(1)上设有坩埚固定盘(3),所述坩埚固定盘(3)中间设有清洗孔(4),其特征是:所述清洗台(1)上固定有转动台(11),所述转动台(11)上设有环形滑轨(12),所述坩埚固定盘(3)滑动配合在所述环形滑轨(12)上。
2.根据权利要求1所述的坩埚喷淋器的固定装置,其特征是:所述坩埚固定盘(3)底部设有若干滑轮(13),所述滑轮(13)配合设置在所述环形滑轨(12)上。
3.根据权利要求1所述的坩埚喷淋器的固定装置,其特征是:所述转动台(11)与所述清洗台(1)位于不同水平面上,且所述转动台(11)通过螺栓(14)与螺母(15)固定在所述清洗台(1)上,所述转动台(11)中间设有正对清洗孔(4)的排水孔(16)。
4.根据权利要求3所述的坩埚喷淋器的固定装置,其特征是:所述清洗台(1)上设有集水挡缘(17),所述集水挡缘(17)沿清洗台(1)边缘环绕并围成闭合的集水区(18)。
5.根据权利要求2所述的坩埚喷淋器的固定装置,其特征是:所述坩埚固定盘(3)底部设有固定板(19),所述固定板(19)上垂直伸出有轮轴(20),所述滑轮(13)套设在所述轮轴(20)上,所述滑轮(13)与轮轴(20)之间设有轴承(21)。
6.根据权利要求5所述的坩埚喷淋器的固定装置,其特征是:所述清洗台(1)上设有限定杆(24),限定杆(24)顶部设有限定凸缘(23),所述限定凸缘(23)凸出所述限定杆(24),且位于坩埚固定盘(3)上方,所述限定杆(24)为若干个,且均匀分布在坩埚固定盘(3)周围。
7.根据权利要求6所述的坩埚喷淋器的固定装置,其特征是:所述限定杆(24)为螺栓杆,所述限定杆(24)被螺母(15)固定在限定底座(25)上,所述限定底座(25)固定在所述清洗台(1)上,所述限定杆(24)由限定底座(25)底部穿入,并由限定底座(25)顶部穿出。
8.根据权利要求7所述的坩埚喷淋器的固定装置,其特征是:所述限定杆(24)上设有限定凸缘(23)的一端可拆卸连接有限定块(26),所述限定凸缘(23)位于所述限定块(26)上。
9.根据权利要求8所述的坩埚喷淋器的固定装置,其特征是:所述坩埚固定盘(3)上设有用于放置坩埚的垫块(27),所述垫块(27)均匀分布在坩埚固定盘(3)上。
10.一种坩埚喷淋器,包括权利要求1~9任意一项所述的坩埚喷淋器的固定装置。