坩埚喷淋器的固定装置及坩埚喷淋器的制作方法

文档序号:12209170阅读:来源:国知局
技术总结
一种坩埚喷淋器的固定装置,属于坩埚清洗设备领域,包括清洗台,清洗台上设有坩埚固定盘,坩埚固定盘中间设有清洗孔,清洗台上固定有转动台,转动台上设有环形滑轨,坩埚固定盘滑动配合在环形滑轨上,本方案的坩埚喷淋器的固定装置固定坩埚更加稳固,使得坩埚清洗更彻底。

技术研发人员:徐晓军;朱国平;舒晓峰;季军
受保护的技术使用者:江阴龙源石英制品有限公司
文档号码:201620875323
技术研发日:2016.08.12
技术公布日:2017.02.22

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