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坩埚喷淋器的固定装置及坩埚喷淋器的制作方法
文档序号:12209170
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来源:国知局
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坩埚喷淋器的固定装置及坩埚喷淋器的制作方法
技术总结
一种坩埚喷淋器的固定装置,属于坩埚清洗设备领域,包括清洗台,清洗台上设有坩埚固定盘,坩埚固定盘中间设有清洗孔,清洗台上固定有转动台,转动台上设有环形滑轨,坩埚固定盘滑动配合在环形滑轨上,本方案的坩埚喷淋器的固定装置固定坩埚更加稳固,使得坩埚清洗更彻底。
技术研发人员:
徐晓军;朱国平;舒晓峰;季军
受保护的技术使用者:
江阴龙源石英制品有限公司
文档号码:
201620875323
技术研发日:
2016.08.12
技术公布日:
2017.02.22
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