抽取清洗残余废气的气嘴结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于激光应用领域，具体涉及一种采用激光进行物体表面污染物清洗时提供保护气及抽取清洗残余废气的气嘴结构。本发明主要用于激光清洗中的保护气提供及残余废气的抽取或其它激光加工应用领域的保护气提供及残余废气的抽取。
【背景技术】
[0002]激光清洗是近十年来飞速发展起来的新型高效、绿色清洗技术，由于其具有众多优点正逐步取代传统清洗工艺。相对于化学清洗，其不需任何化学药剂和清洗液；相对于机械清洗，其无研磨、无应力、无耗材，对基体损伤极小；可利用光纤传输导光，清洗不易达到的部位适用范围广；适用对象也比较广泛，除锈、除漆、除泥污、晶片表面处理。
[0003]在采用激光器进行物体表面污染物清洗的过程中，由于激光会与物体表面相互作用，尤其是在采用激光器进行热乳钢板表面氧化皮清洗的过程中，很容易使清洗后的钢板表面产生二次氧化，因此解决物体表面二次氧化污染是激光清洗遇到的主要问题之一。
[0004]激光清洗的基本原理是物体表面污染物吸收高功率激光的能量后瞬间爆破蒸发，脱离物体表面，激光清洗过程中清洗掉的污染物会以粉尘型式挥发到空气中，因此需要有效的实时将粉尘进行收集并进行处理，尤其在进行高精密机械部件的在线清洗及在特殊超净车间环境进行清洗时，可有效防止粉尘的二次污染。
[0005]目前激光清洗过程中通常在清洗头或清洗枪侧边安装有一抽气管或一惰性保护气输送管，这种形式结构复杂，在清洗过程中侧边管路很容易影响清洗的灵活性，尤其在狭小的空间进行清洗时。并且侧边抽气结构不能够将粉尘最大效率的抽取干净。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于，提供一种抽取清洗残余废气的气嘴结构，具有结构简单，使用方便的优点，尤其在狭小的空间进行清洗时，侧边抽气结构能够将粉尘最大效率的抽取干净。
[0007]本发明提供一种抽取清洗残余废气的气嘴结构，包括:
[0008]—外抽气罩，该外抽气罩为圆管形结构，一端为一喇叭形，该外抽气罩的侧壁上开有多个小孔；
[0009]—内吹气罩，位于外抽气罩内，该内吹气罩为圆柱形，在圆柱形的侧壁相对两侧斜向形成一平面，使其一端形成一矩形平面，在内吹气罩的另一端开有圆孔，该圆孔按照两侧斜向的角度收缩成一矩形开口；
[0010]其中该外抽气罩和内吹气罩同轴设置，该内吹气罩的矩形开口向外吹气，该气体与外抽气罩的多个小孔形成气体回路。
[0011]本发明的有益效果是，具有结构简单，使用方便的优点，尤其在狭小的空间进行清洗时，侧边抽气结构能够将粉尘最大效率的抽取干净。
【附图说明】
[0012]为进一步说明本发明的技术内容，以下结合附图对本发明作进一步阐述，其中:
[0013]图1为本发明中激光清洗用气嘴的三维结构示意图；
[0014]图2为本发明中激光清洗用气嘴内部结构及工作原理示意图；
[0015]图3为本发明中激光清洗用气嘴主要零件之一外抽气罩的结构示意图；
[0016]图4为本发明中激光清洗用气嘴主要零件之一内吹气罩的结构示意图；
【具体实施方式】
[0017]请参阅图1-图4所示，本发明提供一种抽取清洗残余废气的气嘴结构，包括:
[0018]—外抽气罩1，该外抽气罩I为圆管形结构，一端为有向外翻边的喇叭形，用于扩大抽气范围，该外抽气罩I的侧壁上开有多个小孔11，抽气孔11与外抽气罩I内部连通，抽气孔11可以为一个或多个，本实施例加工有4个抽气孔11。
[0019]—内吹气罩2，位于外抽气罩I内，该内吹气罩2为圆柱形，在圆柱形的侧壁相对两侧斜向形成一平面，使其一端形成一矩形平面，在内吹气罩2的另一端开有圆孔，该圆孔按照两侧斜向的角度收缩成一矩形开口 21:
[0020]其中该外抽气罩I和内吹气罩2同轴设置，该内吹气罩2的矩形开口 21向外吹气，该气体与外抽气罩I的多个小孔11形成气体回路。内吹气罩2的外部与外抽气罩I内部形成一抽气腔，内吹气罩2内部为一吹气腔。
[0021 ] 清洗用激光3为一聚焦锥状结构，清洗用激光3穿过内吹气罩2中间的内吹气腔，与内吹气罩2及外抽气罩I形成一同轴结构。清洗用激光3通过外部光学系统使其沿内吹气罩2 —端细长孔方向快速扫描形成清洗用线型扫描光斑。
[0022]内吹气罩2内部通有高压惰性气体4，通常为氮气或氩气，惰性气体4通过内吹气罩2 —端细长孔排出，覆盖清洗用线型扫描光斑焦点处，即锈蚀板6需要进行清洗的部位，形成一吹气保护气路。
[0023]外抽气罩I抽气孔11处安装有抽气装置，使外抽气罩I与内吹气罩2之间形成的抽气腔内部形成负压，这样内吹气罩2内部吹出的惰性气体4与外抽气罩I的排气系统将形成一气路循环系统，将内吹气罩2吹出的惰性气体4及清洗粉尘形成的粉尘混合物5及时的回收处理，防止环境污染。
[0024]应当说明的同，上述实施例只是本发明的一种【具体实施方式】，本领域技术人员可以对其中的器件结构及数量进行修改、替换或减小，或采用不同方式实现不同方式的吹气排气同轴一体循环系统。但均为本发明所涉及采用的方式，从而实现清洗物体表面的防氧化及粉尘回收同步处理。
[0025]以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种抽取清洗残余废气的气嘴结构，包括: 一外抽气罩，该外抽气罩为圆管形结构，一端为一喇叭形，该外抽气罩的侧壁上开有多个小孔； 一内吹气罩，位于外抽气罩内，该内吹气罩为圆柱形，在圆柱形的侧壁相对两侧斜向形成一平面，使其一端形成一矩形平面，在内吹气罩的另一端开有圆孔，该圆孔按照两侧斜向的角度收缩成一矩形开口； 其中该外抽气罩和内吹气罩同轴设置，该内吹气罩的矩形开口向外吹气，该气体与外抽气罩的多个小孔形成气体回路。
【专利摘要】一种抽取清洗残余废气的气嘴结构，包括：一外抽气罩，该外抽气罩为圆管形结构，一端为一喇叭形，该外抽气罩的侧壁上开有多个小孔；一内吹气罩，位于外抽气罩内，该内吹气罩为圆柱形，在圆柱形的侧壁相对两侧斜向形成一平面，使其一端形成一矩形平面，在内吹气罩的另一端开有圆孔，该圆孔按照两侧斜向的角度收缩成一矩形开口；其中该外抽气罩和内吹气罩同轴设置，该内吹气罩的矩形开口向外吹气，该气体与外抽气罩的多个小孔形成气体回路。本发明具有结构简单，使用方便的优点，尤其在狭小的空间进行清洗时，侧边抽气结构能够将粉尘最大效率的抽取干净。
【IPC分类】B08B7/00, B08B15/04, B21B45/06
【公开号】CN105215008
【申请号】CN201510628671
【发明人】张志研, 林学春, 王奕博, 于海娟, 刘燕楠, 梁浩, 高文焱, 林康
【申请人】中国科学院半导体研究所
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2015年9月28日