残余物料回收装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及化工设备技术领域，具体地，涉及一种残余物料回收装置。
【背景技术】
[0002]M0源即高纯金属有机化合物，是采用金属有机化学气相沉积(M0CVD)技术进行外延生长时的支撑材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半导体超薄型膜材料，可用来生产LED外延片、HEMT器件、半导体激光器、太阳能电池等；是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。M0源具有非常活泼的化学性质，对空气和水汽极为敏感，在空气中会瞬间自燃，遇水则发生猛烈爆炸。因此，M0源的灌装需要在密闭且无02、无H20的环境下进行，并且在使用完之后，仍然需要在密闭且无02、无H20的环境下进行残余物料的回收，以使得存储M0源的钢瓶能够再利用。
[0003]现有技术中，较为常用的M0源残余物料回收的方式是在无氧无水惰性气氛的手套箱内将剩有残余M0源的钢瓶倒入固定的回收钢瓶中，回收钢瓶收集满之后再进行处理。然而，这种回收方式存在诸多缺陷，例如，在倾倒时由于M0源极易挥发并具有较强的腐蚀性，因此非常容易损坏手套箱设备。尤其是，随着市场经济的快速发展、电子技术应用领域的日益扩大，M0源的市场需求量大幅度增加，用于灌装M0源的钢瓶的规格也随之不断放大，由最初的500g，1000g放大到8kg，16kg甚至更大，因此，钢瓶的体积也相应地较大，这非常不利于倾倒操作。并且，在通过倾倒的方式处理M0源钢瓶残余物料时，钢瓶内的残余物料非常不容易处理干净，这为后续开口处理钢瓶时埋下了非常大的隐患。如果钢瓶内的残余物料没有处理干净，那么当打开钢瓶的开口时，基于M0源的物理特性和化学特性，易出现冒烟冒火等情况，并伴有大量刺鼻有害烟雾，对环境造成较大的污染，同时危害周围人的健康。
[0004]由此可以得出，传统的用于回收M0源钢瓶中的残余物料的方式不仅对操作环境要求较高且不便于操作，而且还存在较大的安全隐患。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的是提供一种残余物料回收装置，该残余物料回收装置能够在普通空气环境中作业，不仅操作方便，而且具有较高的安全系数。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型提供一种残余物料回收装置，其中，所述残余物料回收装置包括残余物料容器、缓冲罐、第一管路和抽真空装置，所述第一管路将所述容器与所述缓冲罐连接，所述抽真空装置通过第二管路连接于所述缓冲罐，所述残余物料容器中的残余物料能够通过所述第一管路进入到所述缓冲罐。
[0007]优选地，所述第一管路和/或所述第二管路上连接有检漏装置。
[0008]优选地，所述缓冲罐容纳在冷却装置中。
[0009]优选地，所述冷却装置为冷阱。
[0010]优选地，所述残余物料回收装置还包括连接于所述第一管路和/或所述第二管路的置换气体源。
[0011 ] 优选地，所述第一管路上设置有第一阀门。
[0012]所述第二管路上设置有第二阀门。
[0013]优选地，所述第一管路上连接有压力表。
[0014]优选地，所述容器通过金属软管连接于所述第一管路。
[0015]优选地，所述残余物料为M0源。
[0016]通过上述技术方案，本实用新型提供的残余物料回收装置为待回收的残余物料提供密闭的环境，能够为待回收的残余物料提供特定的气体氛围，具有较高的安全性，因此，残余物料的回收操作不再局限于附加设备，能够在普通空气环境下进行残余物料的回收工作。并且本实用新型提供的残余物料回收装置通过抽真空装置，能够将残余物料容器中的残余物料经第一管路抽入缓冲罐中，以达到回收的目的，操作简单方便快捷。
[0017]本实用新型的其它特征和优点将在随后的【具体实施方式】部分予以详细说明。
【附图说明】
[0018]附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
[0019]图1是根据本实用新型提供的【具体实施方式】的残余物料回收装置的简略示意图。
[0020]附图标记说明
[0021]1残余物料容器(或钢瓶);2缓冲罐；3第一管路；31第一阀门；4抽真空装置；5第二管路；51第二阀门；6检漏装置；61第三阀门；7冷却装置；8置换气体源；81第四阀门；9压力表；91第五阀门。
【具体实施方式】
[0022]以下结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。
[0023]根据本实用新型提供的【具体实施方式】，提供一种残余物料回收装置，其中，所述残余物料回收装置包括残余物料容器1、缓冲罐2、第一管路3和抽真空装置4，所述第一管路3将所述容器1与所述缓冲罐2连接，所述抽真空装置4通过第二管路5连接于所述缓冲罐2，所述残余物料容器1中的残余物料能够通过第一管路3进入到所述缓冲罐2。
[0024]通过打开抽真空装置4，能够将残余物料容器1中的残余物料经第一管路3抽到缓冲罐2中，实现残余物料的回收，结构简单，操作安全方便。在回收残余物料容器1中的残余物料的整个过程中，由于残余物料是在密闭环境中从残余物料容器1通过第一管路3进入缓冲罐2，残余物料并不与外界环境接触，因此整个回收作业能够在普通环境中进行，由此可见，本实用新型提供的残余物料回收装置尤其适用于在普通空气环境下容易发生化学反应(例如与氧气或水蒸气)的物料，例如【背景技术】中提到的M0源，当使用本实用新型提供的残余物料回收装置回收这类物料时，只需要在连通残余物料容器1与第一管路3之前，通过抽真空装置4将第一管路3、缓冲罐2以及第二管路5抽真空即可为这类物料提供避免发生化学反应的安全的气体氛围(下面会描述通过另一种方式达到为这类物料提供安全的气体氛围的目的)。在这种情况下，当将第一管路3、缓冲罐2以及第二管路5抽真空之后，关闭抽真空装置4，接着打开残余物料容器1，其中的残余物料在负压的作用下即可被抽入缓冲罐2中。
[0025]下面将结合图1详细描述本实用新型的【具体实施方式】。在下面的描述中，为了便于理解，上述物料指【背景技术】中提到的M0源，相应地，残余物料容器1指用于存储M0源的钢瓶。
[0026]由于M0源对H20以及02非常敏感，因此，在回收钢瓶中的残余M0源之前，需要确保由钢瓶、第一管路3、缓冲罐2、第二管路5以及抽真空装置4之间的连接处不漏气。因此，优选地，在本实用新型提供的残余物料回收装置，所述第一管路3和/或所述第二管路5上连接有检漏装置6，以检查各连接处和各管路是否漏气。之后在漏气量满足一定要求时才能进行钢瓶中残余M0源的回收作业。
[0027]为了将回收到缓冲罐2中的残余M0源尽可能地留在其中，优选地，缓冲罐2能够对M0源进行冷却，可以通过多种方式，例如:所述缓冲罐2可以容纳在冷却装置7中，该冷却装置7可以为冷阱，在打开钢瓶的开关之前，可以先向冷阱中通入液氮以对缓冲罐2进行冷却。当钢瓶中的残余M0源被回收到缓冲罐2中之后，冷凝成固体留在缓冲罐2中，从而能够避免气态的M0源进入抽真空装置4。
[0028]此外，在根据本实用新型提供的【具体实施方式】中，可以通过将第一管路3、缓冲罐3和第二管路5中的空气替换为不与M0源发生反应的气体(例如惰性气体、氮气等)的方式为M0源提供安全的气体氛围。这种方式可以通过多种结构实现，优选地，所述残余物料回收装置还包括连接于所述第一管路3和/或所述第二管路5的置换气体源8，例如惰性气体源或氮气源。在这种【具体实施方式】中，在打开钢瓶的开关之前，开启抽真空装置4将第一管路3、缓冲罐2以及第二管路5抽真空，之后打开置换气体源8，向第一管路3、缓冲罐2以及第二管路5中通入置换气体，之后关闭置换气体源8，再次打开抽真空装置4将第一管路3、缓冲罐2以及第二管路5抽真空，……多次循环抽真空一通入置换气体的操作，例如至少三次，将第一管路3、缓冲罐2以及第二管路