废水过滤装置及其控制电路的制作方法

文档序号:4996903阅读:167来源:国知局
专利名称:废水过滤装置及其控制电路的制作方法
技术领域
本发明是有关于一种废水过滤装置及其控制电路,且特别是有关于一种将沙滤塔置于取样泵浦与过滤器之间的废水过滤装置及其控制电路。
背景技术
在目前的半导体工厂中,通常会使用废水过滤装置,将半导体制程中所产生的废水加以过滤,以符合环保的需求。接下来请参照图1,其为公知的一种废水过滤装置10的示意图。由图1可知,废水过滤装置10包括取样泵浦102、管路104、手动阀106、过滤器108(例如是滤网或5μm的回收滤纸)、以及氟离子浓度检测器110。其中,取样泵浦102的作用为可由废水放流口中,将废水抽出取样。手动阀106可开启或关闭,以控制废水是否可经由管路104而流到过滤器108。过滤器108用以过滤废水中的悬浮粒子。而氟离子浓度检测器110系用以检测废水中的悬浮粒子的浓度。
如图1所示,在废水过滤装置10中,废水放流口所排出的废水会直接以取样泵浦102抽出,接着会经由管路104而流到过滤器108,在过滤器108将废水中的悬浮粒子过滤后,最后会送到氟离子浓度检测器110中而检测出废水中的悬浮粒子的浓度。然而,因为氟离子浓度检测器110的取样管很小,并且在工厂所排出来的废水中,通常会含有大量的悬浮粒子,所以为了要过滤这些悬浮粒子,就必须时常更换过滤器108(例如,时常更换滤网或5μm的回收滤纸),否则氟离子浓度检测器110的取样管就会很容易因此而堵塞,因而造成氟离子浓度检测器110的损坏。

发明内容
有鉴于此,本发明提出一种废水过滤装置及其控制电路。本发明是通过将沙滤塔放置于原来的废水过滤装置中的过滤器(例如是滤网或滤纸)与取样泵浦之间,使废水先经由沙滤塔过滤而将废水中的大部分的悬浮粒子过滤后,再送入过滤器过滤,这样就可以大大降低过滤器的用量而避免因为检测装置的取样管堵塞所造成的检测装置损坏问题。
为达成上述及其它目的,本发明提出一种废水过滤装置。此废水过滤装置包括取样泵浦、进水口、沙滤塔、出水口、过滤器、正常过滤管路、以及清洗管路。其中,取样泵浦是用以将废水取样。正常过滤管路是使来自取样泵浦的废水经正常过滤管路中的一部分而流到沙滤塔,然后使沙滤塔中的废水经正常过滤管路中的另一部分而流到过滤器。而清洗管路是使来自进水口的清洗水经清洗管路中的一部分而流到沙滤塔,然后使沙滤塔中的清洗水经清洗管路中的另一部分而流到出水口。
在本发明的较佳实施例中,正常过滤管路包括数个控制阀,这些控制阀的开启及关闭是由控制电路来控制,而这些控制阀可为电动阀或电磁阀。
在本发明的较佳实施例中,清洗管路包括数个控制阀,这些控制阀的开启及关闭是由控制电路来控制,而这些控制阀可为电动阀或电磁阀。
在本发明的较佳实施例中,过滤器可为滤纸或滤网。
在本发明的较佳实施例中,此废水过滤装置更包括检测装置。此检测装置耦接于过滤器,用以检测废水中的悬浮粒子的浓度。而此检测装置可为氟离子浓度检测器。
本发明还提出一种废水过滤装置的控制电路。此废水过滤装置包括取样泵浦、进水口、沙滤塔、出水口、过滤器、正常过滤管路、以及清洗管路。其中,取样泵浦用以将废水取样。正常过滤管路使来自取样泵浦的废水经正常过滤管路中的一部分而流到沙滤塔,然后使沙滤塔中的废水经正常过滤管路中的另一部分而流到过滤器,而清洗管路会使来自进水口的清洗水经清洗管路中的一部分而流到沙滤塔,然后使沙滤塔中的清洗水经清洗管路中的另一部分而流到出水口。此控制电路包括定时器、数个第一继电器、以及数个第二继电器。其中,在经过第一时间周期之后,此定时器会激活且持续第二时间周期。当此定时器激活时,这些第一继电器会关闭,而当此定时器停止时,这些第一继电器会导通。而当此定时器激活时,这些第二继电器会导通,而当此定时器停止时,这些第二继电器会关闭。再者,当这些第一继电器导通时,这些第一继电器用来控制正常过滤管路上的控制阀,以使废水能流经正常过滤管路,而当这些第二继电器导通时,这些第二继电器用来控制清洗管路上的控制阀,以使清洗水能流经清洗管路。
在本发明的较佳实施例中,第一时间周期及第二时间周期可以调整。
在本发明的较佳实施例中,在第一时间周期时,定时器会停止。
在本发明的较佳实施例中,此控制电路更包括第一灯号及第二灯号。其中,在第一时间周期时,第一灯号会发亮,而在第二时间周期时,第一灯号会熄灭。而在第二时间周期时,第二灯号会发亮,而在第一时间周期时,该第二灯号会熄灭。
在本发明的较佳实施例中,正常过滤管路上的控制阀可为电动阀或电磁阀。
在本发明的较佳实施例中,清洗管路上的控制阀可为电动阀或电磁阀。
综上所述,本发明通过将沙滤塔放置于原来的废水过滤装置中的过滤器(例如是滤网或滤纸)与取样泵浦之间,使废水先经由沙滤塔过滤而将废水中的大部分的悬浮粒子过滤后,再送入过滤器过滤,这样就可以大大降低过滤器的用量而避免因为检测装置的取样管堵塞所造成的检测装置损坏问题。同时,本发明能以自动控制的方式,在一定时间之后,自动清洗沙滤塔,以延长沙滤塔的使用期限。


图1为公知的一种废水过滤装置的示意图;图2为根据本发明一较佳实施例的废水过滤装置的示意图;图3为根据本发明一较佳实施例的废水过滤装置的控制电路的电路图;图4为根据本发明另一较佳实施例的废水过滤装置的控制电路的电路图;以及图5为根据本发明又一较佳实施例的废水过滤装置的控制电路的电路图。
10,20废水过滤装置102,202取样泵浦104管路106、222、224、226、228手动阀108,206过滤器110氟离子浓度检测器204沙滤塔208检测装置210进水口212出水口214、216、218、220控制阀302定时器304、306、308、310、312、314、316、318、320、408、410、412继电器
402第一灯号404第二灯号406开关具体实施方式
请参照图2,其为根据本发明一较佳实施例的废水过滤装置20的示意图。由图2可知,废水过滤装置20包括取样泵浦202、沙滤塔204、过滤器206(例如是滤网或5μm的回收滤纸)、检测装置208(例如是氟离子浓度检测器)、进水口210、出水口212、多个控制阀(214-220)、以及多个手动阀(222-228)。其中,取样泵浦202的作用为可由废水放流口中,将废水抽出取样。沙滤塔204可例如包含金刚砂230及砾石232,用以过滤废水中的大部分的悬浮粒子。过滤器206用以再过滤废水中的悬浮粒子。检测装置208用以检测废水中的悬浮粒子的浓度。而控制阀(214-220)可例如为电动阀或电磁阀。此外,对于熟习此技艺者而言,应该注意的是,本发明的控制阀及手动阀的数目可依其需要而调整,并不局限于此实施例。
接下来将说明废水过滤装置20的运作方法。此运作方法可分成正常过滤废水及清洗沙滤塔204两方面来说明。
在正常过滤废水时(此时为正常过滤管路),手动阀224为关闭状态,手动阀(222、226、以及228)为开启状态,控制阀(214及216)为开启状态,而控制阀(218及220)为关闭状态,此时废水会经由取样泵浦202、手动阀226、以及控制阀214而流到沙滤塔204中。接着,沙滤塔204中的金刚砂230及砾石232会过滤废水中的大部分的悬浮粒子。接下来,沙滤塔204中的废水会经由控制阀216及手动阀218而流到过滤器206中。在过滤器206再过滤废水中的悬浮粒子之后,废水会送到检测装置208中,而由检测装置208来检测废水中的悬浮粒子的浓度。
而在清洗沙滤塔204时(此时为清洗管路),手动阀224为关闭状态,手动阀(222、226、以及228)为开启状态,控制阀(218及220)为开启状态,而控制阀(214及216)为关闭状态,此时清洗水(例如是自来水或RO-1浓缩水)会经由进水口210、手动阀222、以及控制阀218而流到沙滤塔204中。在清洗一段时间后,沙滤塔204中的清洗水会经由控制阀220而由出水口212排出。其中,清洗沙滤塔204的时间长短系取决于废水中的悬浮粒子的浓度。
接下来将说明如何以自动控制方式的控制电路来控制控制阀(214-220)的开启与关闭,以切换正常过滤废水及清洗沙滤塔204的状态。而在说明实施例之前必须注意的是,在以下的实施例中,虽然为了方便起见仅以三种不同的实施例来说明,但本领域技术人员当知,在不脱离本发明的保护范围之下,只要能达成正常过滤废水及清洗沙滤塔204的切换的控制电路,都包含于本发明之中。
接下来请参照图3,其为根据本发明一较佳实施例的废水过滤装置20的控制电路30的电路图。由图3可知,控制电路30包括定时器T1(302)及多个继电器(304-320)。其中,定时器T1(302)在第一时间周期时,处于停止计时状态,在经过第一时间周期后,定时器T1(302)会激活且持续第二时间周期,而第一时间周期及第二时间周期可以调整。举例而言,定时器T1(302)每经过11分钟后,会激活且持续1分钟,而在1分钟后,定时器T1(302)会停止。在此,并且假设当定时器T1(302)停止时,定时器T1(302)的电位为低准位,而当定时器T1(302)激活时,定时器T1(302)的电位为高准位。另外,当定时器T1(302)停止时,继电器(304、306、310、316、以及320)(连接于a接点)会关闭,而继电器(308、312、314、以及318)(连接于b接点)会导通。而当定时器T1(302)激活时,继电器(304、306、310、316、以及320)会导通,而继电器(308、312、314、以及318)会关闭。接下来将说明控制电路30的运作方法。在第一时间周期时,定时器T1(302)系处于停止计时状态,此时定时器T1(302)的电位为低电位,所以继电器304会关闭而使信号M2(如图3所示)处于低准位。接着,由于信号M2处于低电位,所以继电器(306、310、316、以及320)会关闭,而继电器(308、312、314、以及318)会导通。因此,控制阀(214-216)会开启而控制阀(218-220)会关闭,于是使废水过滤装置20处于正常过滤废水的状态。而在第二时间周期时,定时器T1(302)会激活,此时定时器T1(302)的电位为高电位,所以继电器304会导通而使信号M2处于高准位。接着,由于信号M2处于高电位,所以继电器(306、310、316、以及320)会导通,而继电器(308、312、314、以及318)会关闭。因此,控制阀(214-216)会关闭而控制阀(218-220)会开启,于是使废水过滤装置20处于清洗沙滤塔204的状态。
接下来请参照图4,其为根据本发明另一较佳实施例的废水过滤装置20的控制电路40的电路图。其中,控制电路40与控制电路30之中的相同部分,请参考以上所述,在此不再赘述。而控制电路40与控制电路30的不同处在于增加了第一灯号(例如是绿灯)402、第二灯号(例如是红灯)404、开关406、以及继电器(408、410、以及412)。其中,开关406可切换为自动模式(亦即由定时器T1(302)来控制)、手动模式(由信号M1(如图4所示)来控制)、以及关闭模式。另外,当定时器T1(302)停止或信号M1处于低电位时时,继电器(408或410)(连接于b接点)会导通,而继电器412(连接于a接点)会关闭,所以第一灯号402会发亮而第二灯号404会熄灭,以表示目前的废水过滤装置20处于正常过滤废水的状态。而当定时器T1(302)激活或信号M1处于高电位时时,继电器(408或410)会关闭,而继电器412会导通,所以第二灯号404会发亮而第一灯号402会熄灭,以表示目前的废水过滤装置20处于清洗沙滤塔204的状态。
接下来请参照图5,其为根据本发明另一较佳实施例的废水过滤装置20的控制电路50的电路图。其中,控制电路50与控制电路40之中的相同部分,请参考以上所述,在此不再赘述。而控制电路50与控制电路40的不同处在于定时器T1(302)是以二个定时器来取代。其中一个为定时器T1(502)用来控制一天之中清洗沙滤塔204的次数,而定时器T2(504)用来控制每次清洗的时间。举例而言,定时器T1(502)可控制24小时动作8次,1次12分钟,而定时器T2(504)可控制在12分钟内,清洗沙滤塔204且持续1分钟。由于控制电路50的运作原理与控制电路40几乎相同,因此接下来将只略述控制电路50的动作原理。当处于自动模式且定时器T1(502)停止时(此时定时器T2(504)亦停止)时,第一灯号(402)会发亮,表示目前的废水过滤装置20系处于正常过滤废水的状态。当处于自动模式且定时器T1(502)激活时(此时定时器T2(504)亦激活),第二灯号(404)会发亮,表示目前的废水过滤装置20处于清洗沙滤塔204的状态。而当处于手动模式时,第二灯号(404)会发亮,表示目前的废水过滤装置20处于清洗沙滤塔204的状态,并且定时器T2(504)会激活,直到定时器T2(504)停止,才会跳回自动模式。
综上所述,本发明通过将沙滤塔放置于原来的废水过滤装置中的过滤器(例如是滤网或滤纸)与取样泵浦之间,使废水先经由沙滤塔过滤而将废水中的大部分的悬浮粒子过滤后,再送入过滤器过滤,这样就可以大大降低过滤器的用量而避免因为检测装置的取样管堵塞所造成的检测装置损坏问题。同时,本发明能以自动控制的方式,在一定时间之后,自动清洗沙滤塔,以延长沙滤塔的使用期限。
权利要求
1.一种废水过滤装置,其特征是,该装置包括一取样泵浦,其将废水取样;一进水口;一沙滤塔;一出水口;一过滤器;一正常过滤管路,使来自该取样泵浦的废水经该正常过滤管路中的一部分而流到该沙滤塔,然后使该沙滤塔中的废水经该正常过滤管路中的另一部分而流到该过滤器;以及一清洗管路,使来自该进水口的清洗水经该清洗管路中的一部分而流到该沙滤塔,然后使该沙滤塔中的清洗水经该清洗管路中的另一部分而流到该出水口。
2.如权利要求1所述的废水过滤装置,其特征是,该正常过滤管路包括多个控制阀,该些控制阀的开启及关闭是由一控制电路来控制。
3.如权利要求2所述的废水过滤装置,其特征是,该些控制阀为电动阀。
4.如权利要求2所述的废水过滤装置,其特征是,该些控制阀为电磁阀。
5.如权利要求1所述的废水过滤装置,其特征是,该清洗管路包括多个控制阀,该些控制阀的开启及关闭是由一控制电路来控制。
6.如权利要求5所述的废水过滤装置,其特征是,该些控制阀为电动阀。
7.如权利要求5所述的废水过滤装置,其特征是,该些控制阀为电磁阀。
8.如权利要求1所述的废水过滤装置,其特征是,该过滤器为一滤纸。
9.如权利要求1所述的废水过滤装置,其特征是,该过滤器为一滤网。
10.如权利要求1所述的废水过滤装置,其特征是,更包括一检测装置,耦接于该过滤器,用以检测废水中的悬浮粒子的浓度。
11.如权利要求10所述的废水过滤装置,其特征是,该检测装置为一氟离子浓度检测器。
12.一种废水过滤装置的控制电路,该废水过滤装置包括一取样泵浦、一进水口、一沙滤塔、一出水口、一过滤器、一正常过滤管路、以及一清洗管路,其中该取样泵浦用以将废水取样,该正常过滤管路使来自该取样泵浦的废水经该正常过滤管路中的一部分而流到该沙滤塔,然后使该沙滤塔中的废水经该正常过滤管路中的另一部分而流到该过滤器,而该清洗管路系使来自该进水口的清洗水经该清洗管路中的一部分而流到该沙滤塔,然后使该沙滤塔中的清洗水经该清洗管路中的另一部分而流到该出水口,其特征是,该控制电路包括一定时器,在经过一第一时间周期之后,该定时器会激活且持续一第二时间周期;多个第一继电器,当该定时器激活时,该些第一继电器会关闭,而当该定时器停止时,该些第一继电器会导通;以及多个第二继电器,当该定时器激活时,该些第二继电器会导通,而当该定时器停止时,该些第二继电器会关闭;其中,当该些第一继电器导通时,该些第一继电器用来控制该正常过滤管路上的控制阀,以使废水能流经该正常过滤管路,而当该些第二继电器导通时,该些第二继电器用来控制该清洗管路上的控制阀,以使清洗水能流经该清洗管路。
13.如权利要求12所述的废水过滤装置的控制电路,其特征是,该第一时间周期可以调整。
14.如权利要求12所述的废水过滤装置的控制电路,其特征是,该第二时间周期可以调整。
15.如权利要求12所述的废水过滤装置的控制电路,其特征是,在该第一时间周期时,该定时器停止。
16.如权利要求12所述的废水过滤装置的控制电路,更包括一第一灯号,在该第一时间周期时,该第一灯号会发亮,而在该第二时间周期时,该第一灯号会熄灭;以及一第二灯号,在该第二时间周期时,该第二灯号会发亮,而在该第一时间周期时,该第二灯号会熄灭。
17.如权利要求12所述的废水过滤装置的控制电路,其特征是,该正常过滤管路上的控制阀为电动阀。
18.如权利要求12所述的废水过滤装置的控制电路,其特征是,该正常过滤管路上的控制阀为电磁阀。
19.如权利要求12所述的废水过滤装置的控制电路,其特征是,该清洗管路上的控制阀为电动阀。
20.如权利要求12所述的废水过滤装置的控制电路,其特征是,该清洗管路上的控制阀为电磁阀。
全文摘要
一种废水过滤装置及其控制电路。本发明通过将沙滤塔放置于原来的废水过滤装置中的过滤器(例如是滤网或滤纸)与取样泵浦之间,使废水先经由沙滤塔过滤而将废水中的大部分的悬浮粒子过滤后,再送入过滤器过滤,这样就可以大大降低过滤器的用量而避免因为检测装置的取样管堵塞所造成的检测装置损坏问题。同时,本发明能以自动控制的方式,在一定时间之后,自动清洗沙滤塔,以延长沙滤塔的使用期限。
文档编号B01D36/00GK1537664SQ0312211
公开日2004年10月20日 申请日期2003年4月18日 优先权日2003年4月18日
发明者李建平, 林宗良, 刘肇鹏, 郑家清 申请人:旺宏电子股份有限公司
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