专利名称：无机酸气体的处理方法与装置的制作方法
技术领域：
本发明是关于一种气体处理方法与装置，尤指一种适用于无机酸气体的处理方法与装置。
背景技术：
半导体产业由于使用大量无机酸(主要为盐酸、氢氟酸、硫酸及硝酸)进行晶圆的酸洗或蚀刻，导致其制程所排放的废气与废水含有无机酸，易产生环境污染。传统上常使用填充式湿式洗涤塔进行无机酸气体的移除，气体洗涤过程中，大量洗涤液被循环喷洒于填充物上以产生气液接触移除无机酸气的效果。虽然一般于填充式洗涤塔皆设有除雾器以去除洗涤尾气的液滴，但仍难以避免有较微细的液滴随气流而被携出。利用除雾器虽可挡除部分上述尾气的液滴，但挡除的液滴易累积于除雾器上，长时间操作仍有微量无机酸蒸气易因洗涤液本身或挡除的液滴接近气液平衡而随尾气排出。
目前，半导体业者既设的无机酸湿式洗涤设备皆难以达到95％排放削减率的要求，因此在已有适用于湿式洗涤设备后高含水率排气的排放管道无机酸气检测方法后，半导体产业制程低浓度无机酸排气面临严峻的环保压力，也是其它高科技产业，如TFT-LCD液晶显示器产业必须克服的环保问题。
对于这类含无机酸的排气一般皆以添加碱液的水洗方式进行吸收或洗涤处理，虽然溶入液相中的气相污染物(无机酸气体)因迅速进行酸碱中和反应而形成离子态，不致构成气相至液相间质传的阻力(resistance ofmass transfer)。但由于半导体及光电制程排气的无机酸污染物浓度并不高，气相中质传驱动力(浓度差)并不明显，无法通过气相主体与气液界面间的浓度差产生较大的扩散质传效应，因此，传统上利用化学工程气体吸收双膜理论所设计的湿式洗涤塔，在处理低浓度(＜10ppmv，特别是＜5ppmv)的无机酸排气时效率较差。
对于上述低浓度无机酸气的处理目前并无较佳处理方式，检视已发展用以避免上述湿式洗涤塔缺点的一些技术，如利用潮湿的活性碳吸附热废气中的SO2与HCl，吸附于活性碳上的SO2将受其催化而转化成H2SO4，再利用水将之洗出，洗出的H2SO4水溶液经浓缩后再重新注入于活性碳床将被吸附的HCl置换赶出，并由后置的湿式洗涤塔及碱性水溶液将之吸收洗除；此外，亦可在活性碳上注入碱金属氢氧化物或碳酸盐，于高温下(120至160℃)烘干后使活性碳中的钾浓度达到5.9～9.4％，才能对SO2及HCN有吸收能力；另外亦有技术提及含20～30wt％钙的活性碳可去除煤气中的含氯或含硫成份的气体；然而，上述技术均未提及低浓度(＜10ppmv，特别是＜5ppmv)无机酸气体的处理方式，与吸附能力耗竭后活性碳的再生方式。
在吸附剂再生利用的相关技术中，有一处理污水场中硫化氢废气的设备，是利用浸渍氢氧化钠水溶液后的活性碳床做为吸附剂，吸附剂床的厚度3ft；然而，当活性碳床的吸附力耗竭时，需利用另一增设的备用活性碳床，轮流交替上线，同时以离线的方式进行活性碳床吸附力的再生；此必须离线才能进行再生的技术，不利于土地空间有限的地区使用，此外，由于该吸附剂床再生操作需费时五天至十五天，加上该处理方式的活性碳床仅能再生三至四次，再生次数有限，造成吸附剂的使用寿命短暂。
因此亟需提供一长期稳定的无机酸气处理方法及装置，以解决半导体、光电产业处理低浓度无机酸排气的困境。
发明内容
本发明是提供一种无机酸气体的再生性除酸装置，其装置包括一具有一进气口与一出气口的槽体；至少一含有一吸附剂的吸附剂床体，是位于槽体内；至少一碱液供应单元，位于槽体内，并提供至少一碱液于该至少一吸附剂床体；以及至少一清洗液提供单元，位于槽体内并提供清洗该至少一吸附剂用的液体；其中，碱液供应单元是位于吸附剂床体与该进气口之间。
本发明亦提供一种吸附剂的再生方法，包含以下步骤(a)以一清洗液清洗一吸附剂；以及(b)将一碱液雾化喷洒或浸泡吸附剂上。
本发明亦提供一种无机酸气体的处理方法，包含以下步骤(a)将无机酸气体与一雾化碱液形成一混合物，其中雾化碱液可连续性或间歇性产生；(b)将该混合物通过一具有吸附剂的床体，其中该吸附剂是经水清洗、碱液喷洒或浸泡处理；以及(c)排出处理过的气体。
本发明更提供一种无机酸气体的再生性除酸系统，是包括一具有复数个连接口的接管；以及复数个无机酸气体的再生性除酸装置。其中，每一再生性除酸装置是包含一具有一进气口与一出气口的槽体；至少一吸附剂床体，是位于槽体内并含有一吸附剂；至少一碱液供应单元，是位于槽体内并提供至少一碱液于该至少一吸附剂床体；以及至少一清洗液提供单元，是位于槽体内并提供清洗该至少一吸附剂用的液体；其中，碱液供应单元位于吸附剂床体与进气口之间；且每一槽体的进气口是与接管之一连接口相连接。
本发明无机酸气体的再生性除酸系统的应用领域不限，如现有的无机酸气处理领域皆可应用；其中，本系统的接管亦可与现有处理无机酸气的装置，如湿式洗涤塔中无机酸气体排放的管道相连结，以进一步进行低浓度无机酸气体的处理，且其湿式洗涤塔可为任何现有的洗涤塔；较佳为文氏塔、气液同向流、气液逆向流、气液交流的填充洗涤塔、喷雾塔或等效功能的洗涤塔。
本发明装置及方法可处理任何浓度的无机酸气体，甚至为低浓度的无机酸气体，其较佳处理无机酸气体的浓度低于约5ppmv以下，其处理效率高达95％以上。
本发明的再生性除酸系统可同时设置多组无机酸气体的再生性处理装置，所以吸附剂床可直接轮流在线再生，不需离线处理，而减少吸附剂耗竭更换的成本，及制程的整体作业时间与设备占用的空间。并可定时、分区喷洒、淋洒、浸泡清水或热水以洗除酸碱中和产生的盐类，如此更无需停俥更换耗竭的吸附剂，并可长时间维持稳定的整体压损，以及提供低浓度无机酸气的高处理效率，解决光电及半导体产业利用传统湿式洗涤塔无法有效处理无机酸排气的环保压力。
于本发明方法中适用的碱液可以是现有的任何一种碱液，较佳为氢氧化钾水溶液、氢氧化钠水溶液或其混合液；所使用的碱液浓度不限，其次佳的重量百分比浓度为5wt％以上，较佳为15wt％以上，更佳为25wt％以上，最佳为饱和浓度90％的碱液。其中，本发明碱液雾化而产生的微细液滴的直径约小于2厘米，较佳为直径小于500微米，更佳为直径小于100微米，最佳为直径小于50微米的液滴。
本发明中所使用的吸附剂床体可为现有的厚度，次佳吸附剂床体的厚度为1cm至60cm，较佳为2cm至45cm，最佳为2cm至30cm。
本发明可处理任何现有的无机酸排气，其较佳的无机酸排气为氢氟酸、氢氯酸、硝酸、硫酸、磷酸或前述两者以上的混合等无机酸气体。
本发明中适用于溶解盐类结晶的用水可为任何现有的水，较佳为温度在20℃以上的去离子水、逆渗透处理的纯水、蒸馏水或自来水或前述两者以上的混合溶液等。
本发明中所使用的吸附剂可为现有的吸附剂，较佳为选自圆柱状活性碳、颗粒状活性碳、破碎状活性碳、活性碳纤维布、沸石吸附剂中或前述两者以上的混合物等具有吸附性的物质。
本发明的再生性除酸装置可视需要增设复数个功能性单元，以改善其功能，较佳为每个进气口设有一闸门，于一清洗液单元清洗一吸附剂时关闭，避免污染。
本发明的吸附剂床体设置的方式不限，其较佳的设置为锯齿型方式、中空甜甜圈状圆柱体方式、或独立片状分离并联方式；另外，喷洒再生用碱液所需的碱液供应单元的配置可为任何现有的配置，较佳为其对应于每一组吸附剂床设置一组碱液供应单元为佳。
图1是本发明无机酸气体的再生性除酸装置的剖视图；图2是本发明无机酸气体的再生性除酸系统的系统架构图。
主要组件符号说明1碱液供应单元 7清洗液提供单元2吸附剂床体8出气口3进气口9连接口4清洗液、碱液排放阀10接管5槽体 20再生性除酸装置6闸门 30酸气排放来源具体实施方式
请参照图1所示，本发明无机酸气体的再生性除酸装置20包括含一进气口3与一出气口8的槽体5；此槽体5内包含有碱液供应单元1、吸附剂床体2(较佳为活性碳的吸附剂床体)、清洗液提供单元7、与清洗液、碱液排放阀4。此碱液供应单元1位于进气口3与吸附剂床体2之间，清洗液提供单元7可位于吸附剂床体2的上方、下方或侧边的任何位置，且碱液供应单元1与清洗液提供单元7可为同一装置；进气口3与出气口8可皆有一可开关式闸门6，或仅进气口3或出气口8设有该可开关式闸门6，或将可开关式闸门6设置于任何可阻断气流经过吸附床体2的位置，以控制气体进出之用。
本发明无机酸气体的处理方法的实施，是依下列步骤进行当一无机酸气体由进气口3进入后，碱液供应单元1将碱液雾化而产生微细液滴(碱液的供应可为连续性或间歇性产生)，其雾化液滴可随着无机酸气体一同带入中空甜甜圈状圆柱体的吸附剂床体2中，无机酸气体及其酸碱中和产生的盐类结晶会被吸附于吸附剂床体2中，并由出气口8排出已去除酸气的气体。
由于使用过一段时间的吸附剂床体2其上的碱液会被中和并带有许多酸碱中和后的盐类，久之将造成吸附效率下降，因此为使吸附剂床体2可延长其使用期限，可以水洗方式将吸附剂床体2的盐类溶出，再以碱液喷洒或浸泡清洗后的吸附剂床体2，以达吸附剂床体2的再生，其具体的实施方法略述如下。
首先，将设置于进气口3及该吸附剂床体2之间阻断气流的闸门6关闭，使该吸附剂床体2与其它无机酸气体的处理装置隔离；或直接利用清洗液提供单元7提供大量清洗用水，将欲进行盐类结晶洗除的吸附剂床体2完全淹没，如此可形成气流通过的阻力隔绝气流的通过，以避免废气进入。
当一特定吸附剂床体2进行盐类结晶的溶解洗除时，将清洗液注入淹没该特定吸附剂床体后，关闭清洗液提供单元，然后通过循环帮浦(图中未显示)于该吸附剂床体的两侧形成循环流动，于循环一段时间后(可为数分钟至数十分钟)汰换清洗液，而达到溶解洗除盐类结晶的作用(亦可于清洗液排放后再次注入清洗液进行循环洗除，以达到更佳的洗除效果)；或通过由清洗液的连续注入、流穿过吸附剂床体而达到溶解洗除盐类结晶的作用。在前后两次进行溶解洗除盐类结晶操作之间，至少以碱液供应单元1提供高浓度碱液的雾化液滴或以高浓度碱液直接浸泡吸附剂，以再生吸附剂一次。结束溶解洗除盐类的操作后，其溶解有离子的水溶液，可利用处理后的尾气将水溶液中的水份挥发带走；或将水溶液分布于阳光曝晒或其它方式加热的表面蒸发器，使该溶解有盐类离子的溶液因水份蒸发、浓缩，减少废水的排放量，或甚而析出盐类结晶，达到无废水排放的效果。
以上述方法洗除吸附剂床上的盐类结晶后将清洗的废水排出后，利用进气口3后装设的碱液供应单元1，定时定量将一高浓度的碱液雾化，提供于吸附剂床体2，使该吸附剂床体2进入吸附处理的状态，再重新开启阻断气流的闸门6，使含无机酸气的气体流鞥吸附剂床后，将处理完的气体由出气口8带出。
本发明的更一具体实施例为低浓度无机酸气体的除酸系统，参考图2所示，其中酸气排放来源30可为工厂排放酸气的管道、机械作动完所产生的酸气排放管或处理酸气的装置，于本实施例中为湿式洗涤塔。在湿式洗涤塔后连接一具有复数个连接口9的接管10，并且在每个连接口后，相连一组再生性除酸装置20，以过滤吸附湿式洗涤塔的尾气。并在吸附剂床体2前配置的碱液供应单元1，将碱液水溶液细雾化，使其随欲处理的洗涤塔尾气带入吸附剂床体2，以再生吸附剂，维持低浓度无机酸气的处理效率以下为本发明利用无机酸气体的再生性除酸系统进行测试的实施说明。
实施例1将重量约4.08kg、直径0.5cm、长度约1cm的圆柱状活性碳经完全浸泡于3N的KOH水溶液4小时后，取出沥除KOH水溶液并自然风干后，填充于活性碳吸附剂床体中，填充厚度约15cm，通以2m3/min含低浓度HCl的气体，开始进行无机酸气体处理系统的操作。
经持续操作48小时后，以环保署公告的『排放管道氢氟酸、盐酸、硝酸、磷酸及硫酸检测方法-等速吸引法』，进行处理前后废气浓度的采样分析，可得处理前后废气中HCl的浓度分别为27.0mg/Nm3(16.6ppm)及0.231mg/Nm3(0.142ppm)，低浓度HCl废气的处理效率可达99.1％。
实施例2将重量约4.08kg、直径0.5cm、长度约1cm的圆柱状活性碳经完全浸泡于3 N的KOH水溶液4小时后，取出沥除KOH水溶液并自然风干后，填充于活性碳吸附剂床体中，填充厚度约15cm，通以2m3/min含低浓度HCl的气体，开始进行无机酸气体处理系统的操作。经持续操作15小时后，以环保署公告的『排放管道氢氟酸、盐酸、硝酸、磷酸及硫酸检测方法-等速吸引法』，进行处理前后废气浓度的采样分析，可得处理前后废气中HCl的浓度分别为2.07mg/Nm3(1.271ppm)及0.0635mg/Nm3(O.039ppm)，低浓度HCl废气的处理效率可达96.9％。
实施例3将重量约4.08kg、直径0.5cm、长度约1cm的圆柱状活性碳经完全浸泡于3 N的KOH水溶液4小时后，取出沥除KOH水溶液并阴干后，填充于活性碳吸附剂床体中，填充厚度约15cm，通以4.5m3/min含低浓度HCl的气体，开始进行无机酸气体处理系统的操作。
经持续操作15小时后，以环保署公告的『排放管道氢氟酸、盐酸、硝酸、磷酸及硫酸检测方法-等速吸引法』，进行处理前后废气浓度的采样分析，可得处理前后废气中HCl的浓度分别为0.245mg/Nm3(150ppb)及0.0205mg/Nm3(13ppb)，低浓度HCl废气的处理效率可达91.6％。
实施例4将重量约3.40kg、直径0.5cm、长度约1cm的圆柱状活性碳经完全浸泡于3 N的KOH水溶液4小时后，取出沥除KOH水溶液并阴干后，填充于活性碳吸附剂床体中，填充厚度约12.5cm，通以4.5m3/min含低浓度HCl的气体，开始进行无机酸气体处理系统的操作。
经持续操作8小时后，以环保署公告的『排放管道氢氟酸、盐酸、硝酸、磷酸及硫酸检测方法-等速吸引法』，进行处理前后废气浓度的采样分析，可得处理前后废气中HCl的浓度分别为0.920mg/Nm3(565ppb)及0.0381mg/Nm3(23ppb)，低浓度HCl废气的处理效率可达95.9％。
实施例5将重量约3.40kg、直径0.5cm、长度约1cm的圆柱状活性碳经完全浸泡于6 N的KOH水溶液4小时后，取出沥除KOH水溶液并阴干后，填充于低浓度无机酸气处理的测试设备中，填充厚度约12.5cm，通以3.5m3/min含低浓度HCl的气体。
经持续操作13小时后，以环保署公告的『排放管道氢氟酸、盐酸、硝酸、磷酸及硫酸检测方法-等速吸引法』，进行处理前后废气浓度的采样分析，可得处理前后废气中HCl的浓度分别为0.715mg/Nm3(439 ppb)及0.021mg/Nm3(13ppb)，低浓度HCl废气的处理效率可达97.1％。
实施例6将重量约3.40kg、直径0.5cm、长度约1cm的圆柱状活性碳经完全浸泡于6 N的KOH水溶液4小时后，取出沥除KOH水溶液并阴干后，填充于活性碳吸附剂床体中，填充厚度约12.5cm，通以3.5m3/min含低浓度HCl的气体。
经持续操作4小时后，以环保署公告的『排放管道氢氟酸、盐酸、硝酸、磷酸及硫酸检测方法-等速吸引法』，进行处理前后废气浓度的采样分析，可得处理前后废气中HCl的浓度分别为8.550mg/Nm3(5,250ppb)及0.201mg/Nm3(123ppb)，低浓度HCl废气的处理效率可达97.6％。
实施例7将重量约120克、直径0.5cm、长度约1cm的圆柱状活性碳经完全浸泡于3 N的KOH水溶液4小时后，取出沥除KOH水溶液并自然风干后，分别填充于两组活性碳吸附剂床体中，填充厚度约2.5cm，通以300LPM含低浓度HCl的气体(经利用HCl检知管测得的浓度约2～3ppmv、标准抽气量为100mL)，利用刻度为1ppmv的HCl检知管，每隔0.25小时进行处理后废气中HCl浓度的量测，当同一检知管抽气五次(抽气量为500mL)，于检知管进气端发生颜色变化时，将其认定已贯穿，此时处理后废气中HCl浓度约为0.02ppmv。
贯穿后的活性碳经利用清水洗除吸附滤除的HCl后，再喷洒10～15mL、3 N的KOH水溶液于圆柱状活性碳床上，然后重新通以300LPM含低浓度HCl的气体，再以检知管持续每隔0.25小时进行处理后废气中HCl浓度的量测，直至活性碳床再次贯穿。如此反复进行(1)通气吸附滤除，(2)贯穿失效、洗除吸附的HCl，(3)喷洒碱液再生吸附能力，(4)重新通气滤除吸附等测试步骤，经反复六次的测试皆能于重新喷洒碱液后达到滤除废气中低浓度HCl的功用(测量结果整理于表1)。
贯穿后的活性碳分别以25℃去离子水进行持续1小时的循环洗涤，洗涤后水样经利用离子分析仪分析，可测得洗涤后水样中的氯离子浓度分别为1,040ppm(mg/L)、1,110ppm(mg/L)、1,210ppm(mg/L)、1,350ppm(mg/L)及1,640ppm(mg/L)，其中对第五次测试后的活性碳除采取洗涤1小时后的水样进行分析外，并持续循环洗涤2小时及3小时，经采样分析，其水中氯离子浓度分别为506ppm(mg/L)及164ppm(mg/L)。验证利用清水清洗及重新喷洒高浓度碱液确实可将吸附已贯穿的活性碳再生。
实施例8将重量约240克、直径0.5cm、长度约1cm的圆柱状活性碳经完全浸泡于3 N的KOH水溶液4小时后，取出沥除KOH水溶液并自然风干后，分别填充于两组活性碳吸附剂床体中，填充厚度约5.0cm，分别通以300LPM含低浓度HCl的气体(利用检知管测得的浓度约2～3ppmv、标准抽气量为100mL)。
重复两组各两次实验，并将贯穿后的活性碳分别以500mL的25℃及50℃的去离子水进行持续1小时的循环洗涤，洗涤后水样经利用离子分析仪分析，可测得利用25℃水洗涤后水样中氯离子浓度分别为1,880ppm(mg/L)及2,160ppm(mg/L)，而利用50℃水洗涤后水样中氯离子浓度分别为2,330ppm(mg/L)及3,360ppm(mg/L)，因此可知利用热水清洗可得到较佳的洗涤再生效果。
实施例9将重量约120克、直径0.5cm、长度约1cm的圆柱状活性碳经完全浸泡于6 N的KOH水溶液4小时后，取出沥除KOH水溶液并自然风干后，填充于两组活性碳吸附剂床体中，填充厚度各约2.5cm，分别通以300LPM含低浓度HCl的气体(经利用HCl检知管测得的浓度范围约在1.5～3.5ppmv、标准抽气量为100mL)，利用刻度为1ppmv的HCl检知管，每隔0.25小时进行处理后废气中HCl浓度的量测，当同一检知管抽气五次(抽气量为500mL)，于检知管进气端发生颜色变化时，将其认定已贯穿，此时处理后废气中HCl浓度估计约为0.02ppmv。
贯穿后的活性碳，重新喷洒25～30mL、6 N的KOH水溶液于圆柱状活性碳床上，然后再次通以300LPM含低浓度HCl的气体，以检知管持续每隔0.25小时进行处理后废气中HCl浓度的量测，直至活性碳床再次贯穿。如此反复进行(1)通气吸附滤除，(2)吸附贯穿失效，(3)喷洒碱液再生吸附能力，(4)重新通气滤除吸附等循环测试步骤，经反复五次(一个循环)的测试后，通入50℃热水浸泡活性碳床并循环洗涤1小时以洗除吸附滤除的HCl，排出洗涤液后于活性碳床中注入6 N的KOH水溶液，重新浸泡碱液再再次反复进行五次的(1)通气吸附滤除，(2)吸附贯穿失效，(3)喷洒碱液再生吸附能力，(4)重新通气滤除吸附等循环测试步骤，经过三个循环合计15次的再生测试后，皆能于在线经重新喷洒碱液(或经热水洗除吸附的HCl，并浸泡碱液)再生后达到滤除废气中低浓度HCl的功用(测量结果整理于表2)，且经多次反复再生后吸附能力并未有明显衰竭情形产生。验证利用50℃热水清洗及重新喷洒或浸泡高浓度碱液，配合多吸附剂床体的设计，确实可于在线将吸附已贯穿的活性碳再生而反复使用，达到稳定有效处理低浓度无机酸气的功效。
因此，利用本发明无机酸气处理设备进行此一无机酸气处理方式的测试验证，确认对于低浓度(＜5ppm)氢氯酸气体可达到良好的去除效果且在长时间的操作下亦可维持系统的稳定性。可有效解决传统湿式洗涤塔无法有效处理半导体业低浓度(特别是＜5ppmv)无机酸气的困境。
上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围自应以申请专利范围所述为准，而非仅限于上述实施例。
权利要求
1.一种无机酸气体的再生性除酸装置，其特征在于，装置包括一具有一进气口与一出气口的槽体；至少一吸附剂床体，是位于该槽体内并含有至少一吸附剂；至少一碱液供应单元，是位于该槽体内并提供一碱液于该至少一吸附剂床体；以及至少一清洗液提供单元，是位于该槽体内并提供清洗该至少一吸附剂用的液体；其中，该至少一碱液供应单元是位于该至少一吸附剂床体与该进气口之间。
2.如权利要求1所述的再生性除酸装置，其特征在于，所述该碱液为氢氧化钾水溶液、氢氧化钠水溶液或其混合液。
3.如权利要求1所述的再生性除酸装置，其特征在于，所述该至少一吸附剂为圆柱状活性碳、颗粒状活性碳、破碎状活性碳、活性碳纤维布、沸石吸附剂其中或前述两者以上的混合。
4.如权利要求1所述的再生性除酸装置，其特征在于，所述该至少一吸附剂床体的厚度以1cm至60cm为佳。
5.如权利要求1所述的再生性除酸装置，其特征在于，所述该清洗液提供装置是提供去离子水、逆渗透处理的纯水、蒸馏水、自来水或前述两者以上的混合液。
6.如权利要求1所述的再生性除酸装置，其特征在于，所述该进气口包含一闸门，是关闭于该清洗液单元清洗该吸附剂时。
7.如权利要求1所述的再生性除酸装置，其特征在于，更包含一位于该进气口与该吸附剂床体之间的闸门，以于该清洗液单元清洗该吸附剂时关闭。
8.一种无机酸气体的再生性除酸系统，其特征在于，是包括一具有复数个连接口的接管；以及复数个无机酸气体的再生性除酸装置，每一再生性除酸装置是包含一具有一进气口与一出气口的槽体；至少一吸附剂床体，是位于该槽体内并含有至少一吸附剂；至少一碱液供应单元，是位于该槽体内并提供一碱液于该至少一吸附剂床体；以及至少一清洗液提供单元，是位于该槽体内并提供清洗该至少一吸附剂用的液体；其中，该碱液供应单元是位于该至少一吸附剂床体与该进气口之间；且每一槽体的进气口与该接管的一连接口相连接。
9.如权利要求8所述的再生性除酸装置，其特征在于，所述该碱液为氢氧化钾水溶液、氢氧化钠水溶液或其混合液。
10.如权利要求8所述的再生性除酸装置，其特征在于，所述该至少一吸附剂为圆柱状活性碳、颗粒状活性碳、破碎状活性碳、活性碳纤维布、沸石吸附剂其中或前述两者以上的混合。
11.如权利要求8所述的再生性除酸装置，其特征在于，所述该进气口包含一闸门，是关闭于该清洗液单元清洗该吸附剂时。
12.一种无机酸气体的处理方法，其特征在于，包含以下步骤(a)将该无机酸气体与一雾化碱液形成一混合物，其中雾化碱液可连续性或间歇性产生；(b)将该混合物通过一具有吸附剂的床体，其中该吸附剂是经水清洗、碱液喷洒或浸泡处理；以及(c)排出处理过的气体。
13.如权利要求11所述的处理方法，其特征在于，还包括(d)重复步骤(b)将该混合物通过具有该吸附剂的该床体，其中该吸附剂是经水清洗、碱液喷洒或浸泡处理，与(c)排出处理过的气体；以及(e)以一清洗液清洗该吸附剂并且将一碱液雾化喷洒或浸泡该吸附剂上。
14.如权利要求11所述的处理方法，其特征在于，所述该无机酸气为氢氟酸、氢氯酸、硝酸、硫酸、磷酸或前述两者以上的混合。
15.如如权利要求11所述的处理方法，其特征在于，所述该碱液为氢氧化钾水溶液、氢氧化钠水溶液或其混合液。
16.如权利要求11所述的处理方法，其特征在于，所述该吸附剂为圆柱状活性碳、颗粒状活性碳、破碎状活性碳、活性碳纤维布、沸石吸附剂或前述两者以上的混合。
全文摘要
本发明是关于一种无机酸气体的处理方法与装置，其方法步骤包括(a)将无机酸气体与一雾化碱液形成一混合物，其中雾化碱液可连续性或间歇性产生；(b)将混合物通过一具有吸附剂的床体，其中吸附剂可经水清洗、碱液喷洒或浸泡处理；以及(c)排出处理过的气体；本发明的再生性除酸系统可同时设置多组无机酸气体的再生性处理装置，所以每组吸附剂床可直接线上再生，而减少吸附剂吸附耗竭更换的成本、制程作业时间与设备占用空间；本发明对无机酸气体处理进行测试，诸如氢氯酸气体可达到良好的去除效果，长时间操作亦可维持系统的稳定性。
文档编号B01D53/40GK101081354SQ20071013059
公开日2007年12月5日 申请日期2004年11月15日 优先权日2004年11月15日
发明者沈克鹏, 王丽婷 申请人:财团法人工业技术研究院