专利名称：废液过滤方法
技术领域：
本发明涉及一种废液处理，特别涉及ー种能够过滤掉废液中绝大多数固含物或不纯物质的废液过滤方法。
背景技术：
在一般エ业エ艺的过程中，常常会产生含有固含物的废液，例如光电业半导体エ艺中切削硅晶块的程序，会使用线型刀片并搭配混有钻石或碳化硅(俗称金刚砂)磨粒的切削液，在刀片高速旋转下将硅晶块切割成硅芯片，而在切割硅晶块的过程中所产生的破片和碎屑，就会混杂在切削液中并逐渐累积，导致切削液固含物含量太高无法继续利用而成为废液，最終只能丢弃，不仅不环保且不符合经济效益。 虽然有业者将前述废液通过滤布，尝试去除废液中的固含物，但因固含物会阻塞滤布，导致过滤效果不显著，过滤后的废液仍旧无法达到重复使用的经济效益。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种能够有效去除废液中固含物的过滤方法。本发明的另一目的在于提供ー种废液过滤方法，能有效将废液纯化，避免污染环境或可回收使用。为达到上述目的，本发明所提供的废液过滤方法，包括有下列步骤(a)将含有助滤材的液体通过ー滤布,使助滤材堆栈覆盖于该滤布表面并形成一助滤层，以及(b)将欲过滤的废液通过堆栈覆盖有该助滤材的滤布。上述的废液过滤方法，其中，于步骤(a)中该助滤材为硅藻土、活性碳、蛇纹石粉、离子交换树脂、石英砂、锰砂或其混合物。上述的废液过滤方法，其中，于步骤(a)中该助滤材包含有至少50wt%的活性碳粉末。上述的废液过滤方法，其中，至少80wt%的该活性碳粉末的粒径介于50 200 μ m。上述的废液过滤方法，其中，至少80wt%的该活性碳粉末的粒径介于61 165 μ m0上述的废液过滤方法，其中，该活性碳粉末的碘值介于O 500mg/g。上述的废液过滤方法，其中，该助滤层的厚度不小于O. 8_。上述的废液过滤方法，其中，该活性碳为煤质活性碳。上述的废液过滤方法，其中，该废液包含有固含物，且至少80wt%以上的该固含物的粒径介于I 15 μ m，于步骤(b)之后获得固含物低于O. 5wt%的回收液。上述的废液过滤方法，其中，于步骤(a)中该滤布的透气度介于O. I lc. c. /cm2 · min0藉此，废液中的固含物能有效地被堆栈的助滤材所阻挡，因此能有效地去除废液中的固含物，可避免污染环境且可回收使用。以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。
图I为本发明一较佳实施例所使用的装置的示意图；以及图2为本发明该较佳实施例的过滤方法的示意图。其中，附图标记· 10装置20助滤材容置桶 21助滤材23液体 30助滤材注入管路31废液管路 33回收液管路35回流管路 40板框式压滤机41滤布 43助滤层50废液容置捅 51固含物53废液60回收液储存桶61回收液
具体实施例方式为了更了解本发明的特征，以下列举ー较佳实施例并配合
于后。请參阅图1，本发明该较佳实施例的废液过滤方法所使用的装置10，主要包括有一助滤材容置桶20，其内盛装包含有助滤材21的液体23如硅晶块切削液，该助滤材容置桶20经由一助滤材注入管路30连接于ー设置有滤布41的板框式压滤机40的入口，此外，一废液容置桶50经由ー废液管路31而连接于该设置有滤布41的板框式压滤机40的入口，该废液容置桶50内盛装包含有固含物51的废液53，该板框式压滤机40的出口则分别与一回收液管路33以及一回流管路35相连接，该回收液管路33连通于一回收液储存桶60，而该回流管路35连通于该助滤材容置桶20。在以下实施例中，是以光电业半导体エ艺所使用的硅晶块切削液举例说明，然而实际上并不局限于此。本发明的废液过滤方法，如图I与图2所示，主要是先将含有助滤材21的液体23通过ー滤布41，使助滤材21堆栈覆盖于该滤布41表面并形成一助滤层43，之后再将欲过滤的废液53通过堆栈覆盖有该助滤层43的滤布41，通过该助滤层43阻挡废液53中的固含物51，以获得回收液61。本发明的废液过滤方法中所使用的助滤材21可为硅藻土、活性碳、蛇纹石粉、离子交换树脂、石英砂、锰砂或其混合物。并且，若欲过滤的废液为硅晶块切削液时，则该助滤材21宜为活性碳。其次,本实施例中，该助滤材21中宜包含有至少50wt%的活性碳粉末。再者，该活性碳粉末中，宜至少有80wt%的活性碳粉末具有50 200 μ m的粒径，最好具有61 165 μ m的粒径。若活性碳粉末的粒径较小，如小于50 μ m,就需搭配透气度更低但价格昂贵的滤布41，不符经济效益；若活性碳粉末的粒径较大，如大于200 μ m,则需要形成更厚的助滤层才能有较佳的过滤效果，同样不符经济效益。另外，于本实施例中该活性碳为碘值约200mg/g的煤质活性碳,该活性碳粉末的碘值介于O 500mg/g亦可。若活性碳粉末的碘值高于500mg/g，则可能会改变回收液61中的离子成分，使回收液61失去原本的功能。本发明的废液过滤方法中所使用的滤布41,最好具有O. I lc. c. /cm2 *min的透气度。若滤布41的透气度低于O. lc. c. /cm2 ·π η，则价格昂贵且液体通过时的摩擦力较大，过滤效率差；若滤布41的透气度高于lc. c. /cm2 · min,则助滤材21会穿过滤布41而无法堆栈附着于滤布41，导致无法形成助滤层43，于本实施例中是采用O. 8c. c. /cm2 · min的滤布。 另外，于本实施例中，该废液53为包含有硅(Si)与碳化硅(SiC)粒子等固含物51的硅晶圆(硅片)切削液，硅晶块切削液中固含物的含量约为40wt%，且至少有80wt%以上的固含物51具有I 15 μ m的粒径。接着请再參照图I与图2，开始过滤前，先使添加有助滤材21的干净切削液23经由该助滤材注入管路30注入设置有该滤布41的板框式压滤机40，使切削液23通过滤布41并经由该回流管路35而流回该助滤材容置桶20，经多次循环后，该切削液23中的助滤材21会逐渐堆栈覆盖于该滤布41表面，形成厚度不小于O. 8mm的助滤层43，本实施例中所形成的助滤层43厚度即约为O. 8_，当由回流管路35回流的液体逐渐变为澄清液体后，即可停止前述循环，并开始进行步骤(b)。过滤时，使含有固含物51的废硅晶块切削液53，经由该废液管路31注入堆栈覆盖有助滤层43的滤布41，通过助滤层43阻挡固含物51，以有效地过滤废液53中的固含物51，需特别说明的是，本实施例中作为助滤材21的活性碳粉末本身即具有多数孔隙，因此，不仅各活性碳粉末之间的缝隙可拦截废液53中粒径较大的固含物51，各活性碳粉末本身的孔隙亦可拦截粒径较小的固含物51，最后，获得的固含物51含量低于O. 5wt%的回收液61会经由该回收液管路33而流至该回收液储存桶60。综上所述，由于本发明的过滤方法能够利用堆栈于滤布表面的助滤材来阻挡废液中的固含物，因此能够有效率地去除掉废液中绝大多数的固含物，且不会造成滤布阻塞，使回收液能够重复再利用，因此极具经济效益且兼具环保优势。利用本发明的过滤方法，如选用不同颗粒大小或不同成分的助滤材，可达到不同的过滤效果，例如选用离子交换树脂或碘值高于500mg/g的活性碳作为助滤材，可将废液中特定的离子予以移除，即改变废液的化学成分或将废液纯化，以达避免污染环境或可回收使用的功效。当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
权利要求
1.ー种废液过滤方法，其特征在于，包含有以下步骤 (a)将含有助滤材的液体通过ー滤布,使助滤材堆栈覆盖于该滤布表面并形成一助滤层；以及 (b)将欲过滤的废液通过堆栈覆盖有该助滤层的滤布。
2.根据权利要求I所述的废液过滤方法，其特征在干，于步骤(a)中该助滤材为硅藻土、活性碳、蛇纹石粉、离子交换树脂、石英砂、锰砂或其混合物。
3.根据权利要求I所述的废液过滤方法，其特征在干，于步骤(a)中该助滤材包含有至少50wt%的活性碳粉末。
4.根据权利要求3所述的废液过滤方法，其特征在于，至少SOwt%的该活性碳粉末的粒径介于50 200 u m。
5.根据权利要求3所述的废液过滤方法，其特征在于，至少SOwt%的该活性碳粉末的粒径介于61 165 u m。
6.根据权利要求3至5中任意ー项所述的废液过滤方法，其特征在于，该活性碳粉末的碘值介于0 500mg/g。
7.根据权利要求I至5中任意ー项所述的废液过滤方法，其特征在于，该助滤层的厚度不小于0. 8mm。
8.根据权利要求2至5中任意ー项所述的废液过滤方法，其特征在于，该活性碳为煤质活性碳。
9.根据权利要求3至5中任意ー项所述的废液过滤方法，其特征在于，该废液包含有固含物，且至少80wt%以上的该固含物的粒径介于I 15 ym，于步骤(b)之后获得固含物低于0. 5wt%的回收液。
10.根据权利要求I至5中任意ー项所述的废液过滤方法，其特征在干，于步骤(a)中该滤布的透气度介于0. I lc. c. /cm2 min。
全文摘要
一种废液过滤方法，先将包含有助滤材的液体通过一滤布，使助滤材堆栈覆盖于该滤布表面以形成一助滤层，之后再使欲过滤的废液通过堆栈覆盖有该助滤层的滤布，以过滤该废液。藉此，可有效过滤掉废液中绝大多数的固含物或不纯物质，使过滤后的回收液能够循环再利用，极富经济效益。
文档编号B01D37/02GK102847373SQ201110189249
公开日2013年1月2日 申请日期2011年6月30日 优先权日2011年6月30日
发明者张琼文, 林家嘉 申请人:张琼文, 林家嘉