涂布装置的制作方法

技术特征：
1.一种涂布装置，其特征在于，包括：输送机构部，将基板向水平的输送方向输送；涂布机构部，包括喷嘴和升降驱动部，相对于所述基板从所述喷嘴排出涂布液，其中，所述喷嘴在与所述输送方向呈垂直的水平的宽度方向上长长地设置，且相对于被输送的基板具有高度方向的间隙而相对应，所述升降驱动部使所述喷嘴在高度方向上升降；传感器，为了调节相对于水平面的所述喷嘴的姿势，测量所述喷嘴的宽度方向两端部的高度位置，其中，所述输送机构部包括：轨道，设置在被输送的基板的宽度方向两侧上，并向所述输送方向延伸；基座部件，沿着所述轨道移动；支撑部，被搭载于所述基座部件上，当输送所述基板时，支撑所述基板的宽度方向两端部，所述传感器与所述支撑部一同搭载于所述基座部件上，所述基座部件包括相对于所述轨道的上表面使所述基座部件悬浮的悬浮机构部，通过该悬浮机构部，所述基座部件相对于所述轨道以悬浮的状态移动，在通过所述传感器测量所述喷嘴的宽度方向两端部的高度位置时，在搭载于所述基座部件的所述传感器位于所述喷嘴的正下方的状态下，解除通过所述悬浮机构部的所述基座部件的悬浮，由此使所述基座部件坐落于所述轨道上。2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述悬浮机构部由喷射部构成，通过所述喷射部相对于所述轨道的上表面喷射气体来使所述基座部件悬浮。3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，在将所述基座部件坐落于所述轨道上时，使残留于所述喷射部的气体向外排放的流路连接在所述喷射部上。