技术总结
本发明提供一种涂布装置，对被输送的基板进行涂布，通过简单的结构提高由传感器测量的喷嘴的宽度方向两端部的高度位置的测量精度，该涂布装置，包括：输送机构部（2），将基板（W）向水平的输送方向输送；涂布机构部（3），包括喷嘴（30），所述喷嘴在宽度方向上较长且与被输送的基板相对应；传感器（7），为了调节相对于水平面的喷嘴的姿势而测量该喷嘴的宽度方向两端部（35）的高度位置；其中，输送机构部包括：轨道（21），向输送方向延伸；基座部件（23），沿着该轨道移动；吸附机构（25），搭载于所述基座部件上，在输送基板时支撑基板的宽度方向两端部（E），传感器与吸附机构一同搭载于基座部件上。
技术研发人员：森俊裕;滨川健史
受保护的技术使用者：东丽工程株式会社
文档号码：201310066873
技术研发日：2013.03.04
技术公布日：2017.06.06