技术特征：
技术总结
本发明公开一种超纯纳米电子级气体过滤装置，包括筒体、封头、以及若干个金属烧结滤芯，所述封头安装在所述筒体的两端，位于出气口一端的所述筒体上设置有花盘，所述金属烧结滤芯安装在所述花盘上，所述花盘将筒体与封头封闭形成的空间分隔成第一空间和第二空间，待过滤气体的传送发生在第一空间，已过滤气体的传送发生在第二空间，与第一空间相通的封头上设置有进气接头，与第二空间相通的封头上设置有出气接头。本发明中的气体过滤装置过滤精度及过滤效率高、结构强度高、使用寿命长。
技术研发人员：徐小明;苏林杰;樊丽琴
受保护的技术使用者：上海闰铭精密技术有限公司
技术研发日：2017.08.11
技术公布日：2017.10.20