本实用新型涉及涂层技术领域，特别涉及一种涂层设备的内置引弧装置。
背景技术：
涂层步骤是整个工艺的关键步骤，一旦引弧失败将导致整个涂层工艺的失败，严重的甚至将造成被涂层工件的报废。目前的真空涂层设备采用的为外置引弧针引弧装置，传统的外置引弧装置容易受到腔体内金属涂层的污染及粘附，导致引弧的可靠性大大降低，使整个涂层工艺的失败率提高。另外，目前的引弧方式是采用真空波纹管动作的引弧方式，但是真空波纹管动作容易引起机械磨损，从而造成腔体真空泄露。
技术实现要素：
为解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种涂层设备的内置引弧装置，可以避免真空腔室内金属涂层对引弧装置的污染及粘附，也可以保障真空密封性，提高工作可靠性。
为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：一种涂层设备的内置引弧装置，包括靶材、罩体、引弧针和气动装置，该罩体设置于真空腔室内，该靶材设置于罩体内，靶材的右方设有磁铁，所述罩体的左侧设有灭弧圈，所述气动装置包括气动装置本体和摇摆气缸，所述摇摆气缸设置于气动装置本体内，该气动装置本体的外侧连接有压缩空气管，气动装置本体内设有气路，压缩空气管通过气路与摇摆气缸连接，该摇摆气缸连接有连杆，连杆与引弧针连接，引弧针的针尖与靶材接触，靶材与阴极电缆连接。
进一步的，所述真空腔室连接有冷却水管。
本实用新型的有益效果是：本实用新型中的引弧针、靶材和磁铁均内置于罩体内，来避免真空腔室内金属涂层对引弧装置的污染及粘附，以此保障涂层工艺的顺利运行，控制涂层工艺中由引弧装置不可靠工作引起的引弧失败，同时也提高了工作效率，且由于避免了金属涂层的污染，从而大大降低了维护成本及维护时间。本实用新型中的摇摆气缸可以带动连杆左右移动，从而带动引弧针摆动，从而实现引弧针的针尖与靶材之间的接触与脱离，实现放电引弧，通过这种引弧方式替代传统的真空波纹管动作的引弧方式，避免机械摩擦，保证真空密封性，提高工作可靠性。
附图说明
图1为本实用新型的一种涂层设备的内置引弧装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
如图1所示，一种涂层设备的内置引弧装置，包括靶材1、罩体2、引弧针3和气动装置，该罩体2设置于真空腔室12内，该靶材1设置于罩体2内，靶材1的右方设有磁铁4，所述罩体2的左侧设有灭弧圈5，所述气动装置包括气动装置本体6和摇摆气缸7，所述摇摆气缸7设置于气动装置本体6内，该气动装置本体6的外侧连接有压缩空气管8，气动装置本体6内设有气路，压缩空气管8通过气路与摇摆气缸7连接，该摇摆气缸7连接有连杆9，连杆9与引弧针3连接，引弧针3的针尖与靶材1接触，靶材1与阴极电缆10连接。
进一步说，所述真空腔室12连接有冷却水管11，冷却水管11可以实现对真空腔室的冷却。
工作时，压缩空气通过压缩空气管8进入气动装置本体6，压缩空气通过气动装置本体6中的气路进入摇摆气缸7，摇摆气缸7通过气体的作用带动连杆9左右移动，连杆9又带动引弧针3摆动，使得引弧针3的针尖接触或脱离靶材1。当引弧针3的针尖与靶材1接触时，产生放电。
本实用新型具有以下优点：本实用新型中的引弧针3、靶材1和磁铁4均内置于罩体2内，来避免真空腔室内金属涂层对引弧装置的污染及粘附，以此保障涂层工艺的顺利运行，控制涂层工艺中由引弧装置不可靠工作引起的引弧失败，同时也提高了工作效率，且由于避免了金属涂层的污染，从而大大降低了维护成本及维护时间。本实用新型中的摇摆气缸7可以带动连杆9左右移动，从而带动引弧针3摆动，从而实现引弧针3的针尖与靶材1之间的接触与脱离，实现放电引弧，通过这种引弧方式替代传统的真空波纹管动作的引弧方式，避免机械摩擦，保证真空密封性，提高工作可靠性。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。